【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶制造，尤其是涉及一种污氩气排放联锁控制系统及氩气回收装置。
技术介绍
1、氩气回收装置用于回收单晶车间的粗氩气，氩气回收装置对粗氩气进行除尘、压缩、除碳、除氧、吸附co2后送入精馏塔中，进入精馏塔的粗氩气主要以n2、ar、h2为主，通过气体露点的不同进行精馏分离，在精馏塔底部得到合格的液氩，液氩送入上部的冷凝蒸发器，在冷凝蒸发器内吸收热量后得到蒸发氩气，蒸发氩气作为产品气送出精馏塔提供给用户使用；在精馏塔的顶部得到污氩气。
2、目前，dcs操作人员通过观测冷凝蒸发器内温度是否在下降，色谱分析仪（为10分钟/次采样分析）检测n2、h2是否在下降，粗氩气内氧含量是否在下降，判断精馏塔内工况是否正常，进而手动调整污氩气放空调节阀的开度、控制污氩气的排放量，从而确保精馏塔内分离出的n2、h2等不滞留在装置中，保证液氩和产品气的纯度。
3、由于粗氩气内o2、n2、h2等的含量不是稳定的，受单晶车间实际生产情况影响而不断的波动，精馏塔内的工况也不停波动，上述操作方法受dcs操作人员工作经验和技能水平影响，容易出现污氩气过多排放，或在出现粗氩气异常波动时未及时调整污氩气排放量，造成精馏塔内液氩污染，使产品气不合格，此外，排放的污氩气成分为n2占45%、h2占10%、ar占40%，这部分污氩气中ar的占比很大，污氩气过多排放时造成了大量氩气浪费。
4、公开于该
技术介绍
部分的信息仅仅旨在加深对本技术总体
技术介绍
的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成本领域技术人员所公知的现有技术。p>
技术实现思路
1、针对上述情况，本技术提供一种污氩气排放联锁控制系统及氩气回收装置，旨在解决传统方式不能及时调整污氩气排放量，以及污氩气过多排放时造成了大量氩气浪费的技术问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
3、第一方面，本技术提供一种污氩气排放联锁控制系统，其包括在线分析设备、污氩气放空调节阀和dcs控制系统，在线分析设备的输出端电性连接dcs控制系统的输入端，dcs控制系统的输出端电性连接污氩气放空调节阀的控制端；
4、在线分析设备包括粗氩气氧含量分析仪、污氩气氮氢含量分析仪、污氩气排放压力检测器、冷凝蒸发器温度检测器和冷凝蒸发器氮含量分析仪；
5、污氩气放空调节阀与精馏塔的顶部连接，用于排放污氩气；精馏塔包括冷凝蒸发器；
6、dcs控制系统用于根据在线分析设备反馈的数据，自动地调节污氩气放空调节阀的开度。
7、在本技术的一些实施例中，在线分析设备的分析精度为1%。
8、在本技术的一些实施例中，在线分析设备的飘移量为1%/月。
9、在本技术的一些实施例中，在线分析设备的分析时间为1分钟。
10、在本技术的一些实施例中，粗氩气氧含量分析仪用于检测经过除尘、压缩、除碳、除氧和吸附co2后粗氩气中的氧含量。
11、第二方面，本技术提供一种氩气回收装置，其主要可以包括：
12、预处理装置，用于对粗氩气进行除尘、压缩、除碳、除氧和吸附co2；
13、精馏塔，用于对经过预处理装置处理后的粗氩气进行精馏分离；
14、污氩气排放联锁控制系统。
15、本技术实施例至少具有如下优点或有益效果：
16、通过自动、及时调节污氩气放空调节阀的开度，有效保证了液氩和产品气的纯度，通过自动控制污氩气的排放量，提高了氩气回收装置对粗氩气中ar的回收率。
17、本技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得明显，或者通过实施本技术而了解。
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1.一种污氩气排放联锁控制系统，其特征在于，包括在线分析设备、污氩气放空调节阀和DCS控制系统，所述在线分析设备的输出端电性连接所述DCS控制系统的输入端，所述DCS控制系统的输出端电性连接所述污氩气放空调节阀的控制端；
2.根据权利要求1所述的污氩气排放联锁控制系统，其特征在于，所述在线分析设备的分析精度为1%。
3.根据权利要求1所述的污氩气排放联锁控制系统，其特征在于，所述在线分析设备的飘移量为1%/月。
4.根据权利要求1所述的污氩气排放联锁控制系统，其特征在于，所述在线分析设备的分析时间为1分钟。
5.根据权利要求1～4任一项所述的污氩气排放联锁控制系统，其特征在于，所述粗氩气氧含量分析仪用于检测经过除尘、压缩、除碳、除氧和吸附CO2后粗氩气中的氧含量。
6.一种氩气回收装置，其特征在于，包括：
【技术特征摘要】
1.一种污氩气排放联锁控制系统，其特征在于，包括在线分析设备、污氩气放空调节阀和dcs控制系统，所述在线分析设备的输出端电性连接所述dcs控制系统的输入端，所述dcs控制系统的输出端电性连接所述污氩气放空调节阀的控制端；
2.根据权利要求1所述的污氩气排放联锁控制系统，其特征在于，所述在线分析设备的分析精度为1%。
3.根据权利要求1所述的污氩气排放联锁控制系统...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐凌海，贺利强，童斌，郭文奇，陈杜秋，高强，侯光廷，胡楚汉，周洪富，
申请(专利权)人：四川永祥光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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