【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及高精密测量的传输，尤其涉及一种传输电路。
技术介绍
1、随着半导体技术和加工工艺的发展，特别是为了满足纳米级制程的要求，对半导体元件的测量的系统需要具备更高的精度，以实现fa级别的电流测量。然而，现有技术在高精度测量中面临诸多挑战，例如，在采样信号的测量系统中，一般采用电缆作为测量系统中的传输元件，电缆在信号传输过程中会出现漏流，这种漏流会随着测量系统中的电缆的加长和测量系统中的电流增加而加剧，最终影响测量精度。这些漏流可能达到pa甚至na级别，严重时会导致对半导体测试的失败。
2、目前的高精度测量中通常推荐使用三同轴电缆传输技术以降低漏流，三同轴电缆通过其多层屏蔽和高绝缘电阻设计，能够在一定程度上减少漏流。然而，这种方法并不能完全消除漏流问题，尤其在要求更高精度的应用中，其效果有限。在极高精度测量场景中，即使微小的漏流也会对测量结果产生显著影响，导致测量误差。
3、需要说明的是，上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本专利技术的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
1、针对现有技术中的问题，本专利技术的目的在于提供一种传输电路，以有效降低漏流，提高测量精度。现有技术中，芯线上的电信号与内屏蔽层的保护信号之间存在电压差，导致芯线和内屏蔽层之间产生漏流。这种漏流会随着测试电缆长度的增加和传输至包含电缆的测量系统中电流的增大而显著加剧，也会影响最终测量的精度。此外，由于芯线本身的电阻，随着电流增加会
2、本专利技术实施例提供一种传输电路，与外部源电路、负载电路相连，包括：
3、第一信号驱动模块，第一信号驱动模块包括第一信号驱动模块输入端与第一信号驱动模块输出端，
4、第一电缆，第一电缆包括第一芯线，第一内屏蔽层以及第一外屏蔽层，第一内屏蔽层围绕第一芯线设置，且第一内屏蔽层与第一芯线之间设置有第一绝缘层，第一外屏蔽层围绕第一内屏蔽层设置，
5、第二信号驱动模块，第二信号驱动模块包括第二信号驱动模块输入端与第二信号驱动模块输出端，
6、外部源电路与第一信号驱动模块输入端相连，外部源电路与第一芯线的第一端相连，第一芯线的第二端与负载电路的第一端相连，负载电路的第一端与第二信号驱动模块输入端相连，第一信号驱动模块输出端与第一内屏蔽层的第一端相连，第二信号驱动模块输出端与第一内屏蔽层的第二端相连，第一外屏蔽层与接地信号相连；
7、第一芯线的第一端通过外部源电路接入第一主信号，第一主信号通过第一芯线传输至负载电路的第一端得到第二主信号，通过第一信号驱动模块生成第一电压信号，并向第一内屏蔽层的第一端提供第一电压信号；
8、将负载电路的第一端的且与第二主信号的电压相等的信号作为远端采样信号，通过第二信号驱动模块根据远端采样信号生成第二电压信号，并将第二电压信号提供至第一内屏蔽层的第二端，第一电压信号与第一主信号的电压相等，第二电压信号与第二主信号的电压相等。
9、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本申请。
10、本专利技术的传输电路具有如下有益效果：解决了高精密测量系统中的电流传输过程中的漏流问题。通过本专利技术的技术方案，可以显著降低传输电路中的漏流。这样的改进不仅有效减少了电缆中芯线与内屏蔽层之间的压差导致的漏流，还缓解了电缆中由于芯线的电阻存在，造成当包含传输电路的测量系统中传输的信号的电流增加而引起的漏流加剧现象。这些技术改进极大地提升了高精密电子测量的性能，确保了测量的准确性和稳定性。因此，本专利技术的传输电路可以广泛应用于源测单元(smu)、晶圆测试(wat)、自动测试设备(ate)、科学研究和物理研究等高精密测量场景，满足这些领域对超高精度测量的需求。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种传输电路，其特征在于，所述传输电路与外部源电路、负载电路相连，包括：
2.根据权利要求1所述的传输电路，其特征在于，所述传输电路还与测量模块相连，所述传输电路还包括：
3.根据权利要求2所述的传输电路，其特征在于，所述传输电路还包括：
4.根据权利要求3所述的传输电路，其特征在于，所述第二电缆还包括第二内屏蔽层，所述第二内屏蔽层围绕所述第二芯线，且设置于所述第二芯线和所述第二外屏蔽层之间，且所述第二内屏蔽层与所述第二芯线之间设置有第二绝缘层，所述第二内屏蔽层的第二端与所述第四信号驱动模块输出端连接；
5.根据权利要求4中所述的传输电路，其特征在于，所述第一信号驱动模块至所述第四信号驱动模块，分别实时跟踪对应接收到的信号的电压，使得所述第一信号驱动模块至所述第四信号驱动模块输出的电压信号相比于各自输入的电压信号在误差范围内。
6.根据权利要求2所述的传输电路，其特征在于，所述传输电路还包括：
7.根据权利要求6所述的传输电路，其特征在于，所述第二电缆还包括第二内屏蔽层，所述第二内屏蔽层围绕所述第二芯线，
8.根据权利要求6中所述的传输电路，其特征在于，所述第一信号驱动模块至所述第三信号驱动模块、以及所述第五信号驱动模块，分别实时跟踪对应接收到的信号的电压，使得所述第一信号驱动模块至所述第三信号驱动模块、以及所述第五信号驱动模块输出的电压信号相比于各自输入的电压信号在误差范围内。
9.根据权利要求4或6所述的传输电路，其特征在于，所述第一电缆或所述第二电缆为三同轴电缆。
10.根据权利要求1至6中任一项所述的传输电路，其特征在于，所述第一信号驱动模块集成在所述外部源电路中，或者，所述第一信号驱动模块与所述外部源电路分离设置。
...【技术特征摘要】
1.一种传输电路，其特征在于，所述传输电路与外部源电路、负载电路相连，包括：
2.根据权利要求1所述的传输电路，其特征在于，所述传输电路还与测量模块相连，所述传输电路还包括：
3.根据权利要求2所述的传输电路，其特征在于，所述传输电路还包括：
4.根据权利要求3所述的传输电路，其特征在于，所述第二电缆还包括第二内屏蔽层，所述第二内屏蔽层围绕所述第二芯线，且设置于所述第二芯线和所述第二外屏蔽层之间，且所述第二内屏蔽层与所述第二芯线之间设置有第二绝缘层，所述第二内屏蔽层的第二端与所述第四信号驱动模块输出端连接；
5.根据权利要求4中所述的传输电路，其特征在于，所述第一信号驱动模块至所述第四信号驱动模块，分别实时跟踪对应接收到的信号的电压，使得所述第一信号驱动模块至所述第四信号驱动模块输出的电压信号相比于各自输入的电压信号在误差范围内。
6.根据权利要求2所述的传输电路，其特征在于，所述传输电...
【专利技术属性】
技术研发人员：周代彬，李根柱，余振洪，余乐，
申请(专利权)人：上海精积微半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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