三轴机器人与阀门安全互锁装置和机器人制造方法及图纸

本技术实施例提供的一种三轴机器人与阀门安全互锁装置和机器人，安全互锁装置包括限位传感器、继电器和三轴机器人控制器；三轴机器人控制器控制三轴机器人做送/取片运动；阀门位于送/取片运动路径上；限位传感器在阀门处于关闭状态时向继电器电源端供电或断电，以使继电器开关端断开控制器的控制回路；上述技术方案通过设置限位传感器在阀门关闭时控制继电器断开控制器的控制回路，从而使三轴机器人不能在阀门关闭时执行送/取片运动，解决了仅依靠软件程序，在软件出错时会导致三轴机器人与阀门碰撞的问题，提升了设备的运动安全质量。

【技术实现步骤摘要】

本技术实施例涉及工业自动化及半导体设备，尤其涉及一种三轴机器人与阀门安全互锁装置和机器人。

技术介绍

1、现有半导体设备中，被测晶圆传输技术大多采用三轴机器人实现传片。设备开始测量时，三轴机器人先从晶圆盒中按指令取出需要测试的晶圆，再传输至测量模块进行各类测试。由于测试项目、类别不同部分设备在传动部门和测试部分之间会有升降阀门，当晶圆需要在无光环境下测试时，则三轴机器人将片放置在测试模块退出后，阀门需关闭。而开始送片和测试完成取片时，阀门需要打开。

2、此技术过程除了需要精准的控制外，三轴机器人在进测量模块的时机和升降阀门的开关之间，也需要有严格的逻辑控制，目前主流控制基本都是通断上位机软件对阀门状态进行判断，当阀门处于打开状态时，程序才会允许三轴机器人执行送片和取片的动作。三轴机器人在执行动作前，逻辑也会加入升降阀门状态的判断。其中，升降阀门是通过两边的气压传感器和限位传感器进行阀门上下2个位置进行检测，从而实现判断。虽然此方法在逻辑上，可以避免三轴机器人撞击阀门的事故，但是不排除程序出现错误或者其他意外情况。

技术实现思路

1、本技术提供一种三轴机器人与阀门安全互锁装置和机器人，通过设置限位传感器在阀门关闭时控制继电器断开控制器的控制回路，从而使三轴机器人不能在阀门关闭时执行送/取片运动。

2、第一方面，本技术实施例提供了一种三轴机器人与阀门安全互锁装置，包括限位传感器、继电器和三轴机器人控制器；所述三轴机器人控制器控制所述三轴机器人做送/取片运动；所述阀门位于所述三轴机器人的送/取片运动路径上；所述继电器包括电源端和开关端，所述限位传感器与所述继电器电源端连接；所述继电器开关端位于所述三轴机器人控制器的控制回路中；所述限位传感器在所述阀门处于关闭状态时向所述继电器电源端供电或断电，以使所述继电器开关端断开所述三轴机器人控制器的控制回路。

3、可选地，所述继电器为触点常闭式或常开式继电器。

4、可选地，所述电源端的正极端与所述限位传感器的输出端连接；所述电源端的负极端接地；所述限位传感器的输入端与外部电源连接。

5、可选地，所述三轴机器人控制器包括第一引脚，所述第一引脚为定义所述三轴机器人朝向所述阀门运动方向的引脚，所述第一引脚与所述继电器开关端的第一端连接，所述继电器开关端的第二端接地；所述第一引脚、所述继电器开关端和接地端构成所述控制回路；所述第一引脚作为所述控制回路的正极端；所述接地端作为所述控制回路的负极端。

6、可选地，所述三轴机器人控制器还包括第二引脚、第三引脚、第四引脚、第五引脚和第六引脚；所述第二引脚、第三引脚、第四引脚、第五引脚和第六引脚均接地。

7、可选地，还包括主控板和上位机；所述主控板的电源端作为所述外部电源与所述限位传感器的输入端连接，所述限位传感器的输出端分别与所述主控板的输入端和所述继电器电源端的正极端连接；所述主控板的输出端与所述上位机的输入端连接，所述上位机的输出端与所述三轴机器人控制器连接；

8、所述限位传感器在所述阀门关闭时向所述主控板输出电位信号；所述主控板根据所述电位信号向所述上位机发送控制信号；所述上位机根据所述控制信号向所述三轴机器人控制器发送控制指令，所述三轴机器人控制器根据所述控制指令控制三轴机器人禁止朝向所述阀门运动。

9、可选地，还包括气压柱，所述气压柱位于所述阀门在第一方向的一侧且与阀门固定连接，所述限位传感器和所述气压柱位于所述阀门在所述第一方向的同一侧；所述第一方向与所述阀门的升降方向垂直且与所述阀门处于同一平面；

10、所述气压柱沿所述阀门升降方向移动以带动所述阀门升降；在所述阀门关闭时，所述气压柱进入所述限位传感器的触发范围；所述限位传感器向所述继电器供电或断电，以使所述继电器断开所述三轴机器人控制器的控制回路。

11、第二方面，本技术实施例还提供了一种机器人，包括如第一方面任一项所述的三轴机器人与阀门安全互锁装置。

12、本技术实施例提供的一种三轴机器人与阀门安全互锁装置和机器人，安全互锁装置包括限位传感器、继电器和三轴机器人控制器；三轴机器人控制器控制三轴机器人做送/取片运动；阀门位于三轴机器人的送/取片运动路径上；继电器包括电源端和开关端，限位传感器与继电器电源端连接；继电器开关端位于三轴机器人控制器的控制回路中；限位传感器在阀门处于关闭状态时向继电器电源端供电或断电，以使继电器开关端断开三轴机器人控制器的控制回路；上述技术方案通过设置限位传感器在阀门关闭时控制继电器断开三轴机器人控制器的控制回路，从而使三轴机器人不能在阀门关闭时执行送/取片运动，解决了仅依靠软件程序控制三轴机器人，在软件出错时会导致三轴机器人与阀门碰撞的问题，提升了设备的运动安全质量。

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【技术保护点】

1.一种三轴机器人与阀门安全互锁装置，其特征在于，包括限位传感器、继电器和三轴机器人控制器；所述三轴机器人控制器控制所述三轴机器人做送/取片运动；所述阀门位于所述三轴机器人的送/取片运动路径上；

2.根据权利要求1所述的三轴机器人与阀门安全互锁装置，其特征在于，所述继电器为触点常闭式或常开式继电器。

3.根据权利要求1所述的三轴机器人与阀门安全互锁装置，其特征在于，所述电源端的正极端与所述限位传感器的输出端连接；所述电源端的负极端接地；所述限位传感器的输入端与外部电源连接。

4.根据权利要求1所述的三轴机器人与阀门安全互锁装置，其特征在于，还包括气压柱，所述气压柱位于所述阀门在第一方向的一侧且与阀门固定连接，所述限位传感器和所述气压柱位于所述阀门在所述第一方向的同一侧；所述第一方向为与所述阀门的升降方向垂直且与所述阀门处于同一平面的方向；

5.根据权利要求3所述的三轴机器人与阀门安全互锁装置，其特征在于，所述三轴机器人控制器包括第一引脚，所述第一引脚为定义所述三轴机器人朝向所述阀门运动方向的引脚，所述第一引脚与所述继电器开关端的第一端连接，所述继电器开关端的第二端接地；所述第一引脚、所述继电器开关端和接地端构成所述控制回路；所述第一引脚作为所述控制回路的正极端；所述接地端作为所述控制回路的负极端。

6.根据权利要求5所述的三轴机器人与阀门安全互锁装置，其特征在于，所述三轴机器人控制器还包括第二引脚、第三引脚、第四引脚、第五引脚和第六引脚；所述第二引脚、第三引脚、第四引脚、第五引脚和第六引脚均接地。

7.根据权利要求3所述的三轴机器人与阀门安全互锁装置，其特征在于，还包括主控板和上位机；

8.一种机器人，其特征在于，包括如权利要求1-7任一项所述的三轴机器人与阀门安全互锁装置。

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【技术特征摘要】

1.一种三轴机器人与阀门安全互锁装置，其特征在于，包括限位传感器、继电器和三轴机器人控制器；所述三轴机器人控制器控制所述三轴机器人做送/取片运动；所述阀门位于所述三轴机器人的送/取片运动路径上；

2.根据权利要求1所述的三轴机器人与阀门安全互锁装置，其特征在于，所述继电器为触点常闭式或常开式继电器。

3.根据权利要求1所述的三轴机器人与阀门安全互锁装置，其特征在于，所述电源端的正极端与所述限位传感器的输出端连接；所述电源端的负极端接地；所述限位传感器的输入端与外部电源连接。

4.根据权利要求1所述的三轴机器人与阀门安全互锁装置，其特征在于，还包括气压柱，所述气压柱位于所述阀门在第一方向的一侧且与阀门固定连接，所述限位传感器和所述气压柱位于所述阀门在所述第一方向的同一侧；所述第一方向为与所述阀门的升降方向垂直且与所述阀门处于同一平面的方向；

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【专利技术属性】
技术研发人员：苏恒中，相宇阳，俞胜武，陈剑，
申请(专利权)人：无锡卓海科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：