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在低温下制作的带应力释放膜的电容式麦克风及其制作方法技术

技术编号:4357606 阅读:288 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种在低温下制作的带应力释放膜的电容式麦克风及其制作方法,电容式麦克风包括一块基板,该基板上至少有一个谐振腔;一块隔膜,其设于谐振腔上部并与基板相连接;所述隔膜被声压波激发时实现机械振动;一块背板,其设于隔膜上部,该背板上设有多个穿孔;其中,在背板与隔膜之间具有气隙;所述隔膜、气隙和背板构成一个电容器。方法包括:在基板上形成至少一个谐振腔;在谐振腔上部形成隔膜,该隔膜与基板连接;在隔膜上部设置背板,该背板上有多个穿孔;在背板与隔膜之间形成气隙。本发明专利技术是一种完全低温工艺加工的MEMS电容式麦克风。它可作为后IC电路加工工艺与其兼容。这种电容式麦克风的振动膜的结构采用应力释放的结构,同时也降低了寄生电容。与传统的初始应力释放薄膜相比较,更有效地提高了麦克风的灵敏度。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种电容式麦克风,其特征在于,它包括: 一块基板,该基板上至少有一个谐振腔; 一块隔膜,其设于谐振腔上部并与基板相连接;所述隔膜被声压波激发时实现机械振动; 一块背板,其设于隔膜上部,该背板上设有多个穿孔; 其中,在 背板与隔膜之间具有气隙; 所述隔膜、气隙和背板构成一个电容器。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:王文朱睿卿王俊
申请(专利权)人:王文朱睿卿
类型:发明
国别省市:11[中国|北京]

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