【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种氟硅废气处理系统，具体地说是一种基于直燃焚烧和余热利用的氟硅废气综合治理系统，属于有机废气治理。
技术介绍
1、氟硅材料广泛应用于军工、航空航天、石油化工、机械、建筑、电子信息、电力电器、汽车、轻纺、医药、农业、环保、食品和新能源与战略性新兴产业等工业领域和高新
，是重要的化工新材料。
2、氟硅生产的废气成分复杂，包括有机废气和无机废气；现有技术中通常采用单一的治理技术对废气进行处理，不但难以达到治理效果，而且处理成本高，十分不经济，其存在以下几点问题：
3、（1）废气燃烧处理时放热量大、温升高，现有的处理系统造成了大量的热量浪费，设备运行能耗也高；
4、（2）硅烷燃烧生成大量粉尘颗粒物，直接排放会造成二次污染；
5、（3）废气燃烧后生成酸性物质，容易对设备堵塞以及具有腐蚀性，导致设备难以长期运行。
技术实现思路
1、本技术要解决的技术问题是提供一种能够通过余热回收以及多级后处理来解决设备运行能耗大、易堵塞腐蚀等问题的氟硅废气处理系统。
2、为了解决上述技术问题，本技术的氟硅废气处理系统，包括to直燃炉、汽水换热器、空气预热器、消白换热器以及急冷塔、碱洗塔和水洗塔，to直燃炉的出口与汽水换热器的热源入口相连，汽水换热器的汽水换热器热源出口连接空气预热器的空气预热器热源入口，空气预热器的空气预热器热源出口与消白换热器的消白换热器热源入口相连，所述消白换热器的消白换热器热源出口依次经过所述急冷塔、碱洗塔和水
3、所述to直燃炉的进口还连接有阻火器，所述阻火器的进口连接有入口开关阀，所述入口开关阀的前端还设置有入口旁通阀，所述入口旁通阀的出口与应急火炬连接。
4、所述汽水换热器的汽水换热器冷源入口连接有热水进管道，所述汽水换热器的汽水换热器冷源出口连接有热水出管道。
5、所述空气预热器的冷源入口连接有送风机，所述空气预热器的冷源出口与to直燃炉相连。
6、所述碱洗塔上连接有自动加药系统。
7、所述to直燃炉上安装有泄爆片、窥火口以及排渣检修门。
8、与现有技术相比，本技术具有如下的有益效果：
9、（1）通过设置的汽水换热器和空气预热器，由此利用to直燃炉出口高温热气分别加热循环水以及对炉膛助燃风进行预热，实现了对余热的回收利用，减少了热量浪费，节省了设备能耗。
10、（2）通过设置的消白换热器，利用经汽水换热器和空气预热器后的余热，对排放气体进行预热升温，降低排放气体的相对湿度，消除了湿烟羽。
11、（3）在急冷塔和水洗塔之间设置有碱洗塔，通过酸碱中和反应去除高温燃烧后生成的酸性腐蚀成分，保证了设备能够长期运行，同时还可通过自动加药系统实现自动补充碱液，实现自动运行。
12、（4）通过设置的入口旁通阀、入口开关阀，可以保证在设备紧急状态下切断废气源，保证废气装置的安全。
13、（5）在水洗塔后设置有湿电除尘器，利用电场作用将颗粒物捕捉在收集器上，可有效降低排放气体中颗粒物含量，有效解决了二次污染的问题。
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1.一种氟硅废气处理系统，其特征在于：包括TO直燃炉（4）、汽水换热器（5）、空气预热器（6）、消白换热器（10）以及急冷塔（11）、碱洗塔（12）和水洗塔（14），所述TO直燃炉（4）的出口与汽水换热器（5）的汽水换热器热源入口（501）相连，所述汽水换热器（5）的汽水换热器热源出口（502）连接所述空气预热器（6）的空气预热器热源入口（601），所述空气预热器（6）的空气预热器热源出口（602）与所述消白换热器（10）的消白换热器热源入口（1001）相连，所述消白换热器（10）的消白换热器热源出口（1002）依次经过所述急冷塔（11）、碱洗塔（12）和水洗塔（14）后连接有湿电除尘器（15），所述湿电除尘器（15）与消白换热器（10）的消白换热器冷源入口（1003）相连，所述消白换热器（10）的消白换热器冷源出口（1004）经过一台排风机（9）后连接有烟囱（8）。
2.按照权利要求1所述的氟硅废气处理系统，其特征在于：所述TO直燃炉（4）的进口还连接有阻火器（1），所述阻火器（1）的进口连接有入口开关阀（2），所述入口开关阀（2）的前端还设置有入口旁通阀（3），所
3.按照权利要求1或2所述的氟硅废气处理系统，其特征在于：所述汽水换热器（5）的汽水换热器冷源入口（504）连接有热水进管道，所述汽水换热器（5）的汽水换热器冷源出口（503）连接有热水出管道。
4.按照权利要求3所述的氟硅废气处理系统，其特征在于：所述空气预热器（6）的空气预热器冷源入口（604）连接有送风机（7），所述空气预热器（6）的空气预热器冷源出口（603）与TO直燃炉（4）相连。
5.按照权利要求1所述的氟硅废气处理系统，其特征在于：所述碱洗塔（12）上连接有自动加药系统（13）。
6.按照权利要求1所述的氟硅废气处理系统，其特征在于：所述TO直燃炉（4）上安装有泄爆片（16）、窥火口（17）以及排渣检修门（18）。
...【技术特征摘要】
1.一种氟硅废气处理系统，其特征在于：包括to直燃炉（4）、汽水换热器（5）、空气预热器（6）、消白换热器（10）以及急冷塔（11）、碱洗塔（12）和水洗塔（14），所述to直燃炉（4）的出口与汽水换热器（5）的汽水换热器热源入口（501）相连，所述汽水换热器（5）的汽水换热器热源出口（502）连接所述空气预热器（6）的空气预热器热源入口（601），所述空气预热器（6）的空气预热器热源出口（602）与所述消白换热器（10）的消白换热器热源入口（1001）相连，所述消白换热器（10）的消白换热器热源出口（1002）依次经过所述急冷塔（11）、碱洗塔（12）和水洗塔（14）后连接有湿电除尘器（15），所述湿电除尘器（15）与消白换热器（10）的消白换热器冷源入口（1003）相连，所述消白换热器（10）的消白换热器冷源出口（1004）经过一台排风机（9）后连接有烟囱（8）。
2.按照权利要求1所述的氟硅废气处理系统，其特征在于：所述to直燃炉...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩金运，王正，陈扬，李治波，
申请(专利权)人：镇江华东电力设备制造厂有限公司，
类型：新型
国别省市：
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