【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及准分子激光器，具体为基于modbus的准分子激光器控制系统。
技术介绍
1、modbus准分子激光器是一种基于串行通信的开放式网络协议，广泛应用于工业自动化系统中。该协议由准分子激光器modicon（现为准分子激光schneneider准分子激光器electric）在准分子激光器1979准分子激光器年推出，用于连接电子控制器和传感器/执行器等设备，modbus准分子激光器支持多种传输媒介，如双绞线、光纤或无线电，以及准分子激光器tcp/ip准分子激光器和准分子激光器rtu准分子激光器等多种数据格式。
2、准分子激光器是一种利用准分子态原子或分子之间的能量跃迁来产生激光辐射的设备。准分子激光器的工作原理基于准分子激发态的形成和退激发过程。这类激光器通常使用稀有气体和卤素气体的混合物作为工作气体，通过高压放电产生等离子体态，随后气体混合物中的能级跃迁导致处于激发态的原子或分子与激发态的原子或分子相互作用，形成准分子激发态。在准分子激发态的作用下，反应性气体分子经历了电化学反应，形成活化的原子或分子，并且激发态的原子或分子获得了高度激发的态。当能级激发达到足够高的时候，原子或分子之间的能量差足够大，会产生能量释放，即激光。通过与激光增大器中的谐振腔相互作用，光就被放大，形成一束强度高、相干性好、波长短的激光束。
3、由于工程需求设备精准发出准分子激光，在操作繁琐的环境下，人工配气时存在人为误差，针对上述问题，急需在原有准分子激光器的基础上进行创新设计。
技术实现思路b>
1、为解决现有的在操作繁琐的环境下，人工配气时存在人为误差的技术问题，本专利技术提供基于modbus的准分子激光器控制系统。
2、本专利技术采用以下技术方案实现：基于modbus的准分子激光器控制系统，包括激光腔和多个电磁阀控制电路，所述激光腔的一端设置有压力传感器，所述激光腔的另一端连接手动阀门第一端，所述手动阀门的第二端分别连接有电磁阀1、电磁阀2、电磁阀3、电磁阀4，所述电磁阀1的第二端连接有气瓶a，所述电磁阀2的第二端连接有气瓶b，所述电磁阀3的第二端连接有气瓶c，所述电磁阀4的第二端连接有真空泵，多个所述电磁阀控制电路分别用于控制电磁阀1、电磁阀2、电磁阀3、电磁阀4。
3、优选的，所述气瓶a的内部设置有氟气f2，所述气瓶a内部的压力为0.1mpa。
4、优选的，所述气瓶b的内部设置有氩气ar，所述气瓶b内部的压力为0.1mpa。
5、优选的，所述气瓶c的内部设置有氖气ne，所述气瓶c内部的压力为0.25mpa。
6、优选的，所述激光腔内部的当前压力值设置为g1，所述激光腔内部真空压力值为g2。
7、优选的，所述激光腔进行充气时的第一阶段压力值设置为g3，所述激光腔进行充气时的第二阶段压力值设置为g4，所述激光腔进行充气时的第三阶段压力值设置为g5。
8、优选的，所述激光腔内部的配气流程步骤如下：
9、s1、打开手动阀门，激光腔内部自动配气；
10、s2、关闭电磁阀1、电磁阀2和电磁阀3，打开电磁阀4；
11、s3、当g1＜g2时，关闭电磁阀4，打开电磁阀1，使气瓶a内部的气体进入激光腔内部；
12、s4、当g1=g3时，关闭电磁阀1，打开电磁阀2，使气瓶b内部的气体进入激光腔内部；
13、s5、当g1=g4时，关闭电磁阀2，打开电磁阀3，使气瓶c内部的气体进入激光腔内部；
14、s6、当g1=g5时，关闭电磁阀3，配气完成。
15、优选的，所述电磁阀控制电路包括有电阻1、电阻2、第一发光二极管、第二发光二极管、光耦隔离器、稳压管和电磁阀，所述光耦隔离器第一引脚连接有单片机，所述光耦隔离器第二引脚与第一发光二极管第一端连接，所述第一发光二极管的第二端与电阻1第一端连接，所述电阻1第二端接地，所述光耦隔离器第三引脚模拟接地,所述光耦隔离器第四引脚与电磁阀第四引脚连接。
16、优选的，所述光耦隔离器第四引脚与第二发光二极管第一端连接，第二发光二极管第二端与电阻2第一端连接，所述电阻2第二端连接有电源，所述电阻2第二端与稳压管正极一端连接，所述稳压管正极一端与电源连接，所述稳压管正极一端与电磁阀第一引脚连接，所述稳压管负极一端与电磁阀第四引脚连接，所述稳压管负极一端与第二发光二极管第一端连接，所述稳压管负极一端与光耦隔离器第四引脚连接，所述电磁阀第二引脚连接有外部插头第二引脚，所述电磁阀第三引脚连接有外部插头第一引脚。
17、优选的，所述电阻用于控制电路电流，防止电流过大；所述发光二极管用于显示继电器导通/断开状态；所述光耦隔离器用于抑制尖脉冲；所述稳压管用于稳定输出电压；所述电磁阀用于控制充放气状态。
18、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
19、本专利技术在使用时，先打开手动阀门和电磁阀4，通过控制单片机关闭其他电磁阀，真空泵对激光腔进行抽真空操作，当g1＜g2时时，关闭电磁阀4，同时打开电磁阀1，当g1=g3时，关闭电磁阀1，打开电磁阀2，当g1=g4时，关闭电磁阀2，打开电磁阀3，当g1=g5时，关闭控制气体3的电磁阀，同时关闭手动阀门，自动配气完成，从而可以消除人为因素造成的误差。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.基于ModBus的准分子激光器控制系统，包括激光腔和多个电磁阀控制电路，其特征在于，所述激光腔的一端设置有压力传感器，所述激光腔的另一端连接手动阀门第一端，所述手动阀门的第二端分别连接有电磁阀1、电磁阀2、电磁阀3、电磁阀4，所述电磁阀1的第二端连接有气瓶A，所述电磁阀2的第二端连接有气瓶B，所述电磁阀3的第二端连接有气瓶C，所述电磁阀4的第二端连接有真空泵，多个所述电磁阀控制电路分别用于控制电磁阀1、电磁阀2、电磁阀3、电磁阀4。
2.根据权利要求1所述的基于ModBus的准分子激光器控制系统，其特征在于，所述气瓶A的内部设置有氟气F2，所述气瓶A内部的压力为0.1MPa。
3.根据权利要求1所述的基于ModBus的准分子激光器控制系统，其特征在于，所述气瓶B的内部设置有氩气Ar，所述气瓶B内部的压力为0.1MPa。
4.根据权利要求1所述的基于ModBus的准分子激光器控制系统，其特征在于，所述气瓶C的内部设置有氖气Ne，所述气瓶C内部的压力为0.25MPa。
5.根据权利要求1所述的基于ModBus的准分子激光器控制系统，
6.根据权利要求5所述的基于ModBus的准分子激光器控制系统，其特征在于，所述激光腔进行充气时的第一阶段压力值设置为g3，所述激光腔进行充气时的第二阶段压力值设置为g4，所述激光腔进行充气时的第三阶段压力值设置为g5。
7.根据权利要求6所述的基于ModBus的准分子激光器控制系统，其特征在于，所述激光腔内部的配气流程步骤如下：
8.根据权利要求1所述的基于ModBus的准分子激光器控制系统，其特征在于，所述电磁阀控制电路包括有电阻1、电阻2、第一发光二极管、第二发光二极管、光耦隔离器、稳压管和电磁阀，所述光耦隔离器第一引脚连接有单片机，所述光耦隔离器第二引脚与第一发光二极管第一端连接，所述第一发光二极管的第二端与电阻1第一端连接，所述电阻1第二端接地，所述光耦隔离器第三引脚模拟接地,所述光耦隔离器第四引脚与电磁阀第四引脚连接。
9.根据权利要求8所述的基于ModBus的准分子激光器控制系统，其特征在于，所述光耦隔离器第四引脚与第二发光二极管第一端连接，第二发光二极管第二端与电阻2第一端连接，所述电阻2第二端连接有电源，所述电阻2第二端与稳压管正极一端连接，所述稳压管正极一端与电源连接，所述稳压管正极一端与电磁阀第一引脚连接，所述稳压管负极一端与电磁阀第四引脚连接，所述稳压管负极一端与第二发光二极管第一端连接，所述稳压管负极一端与光耦隔离器第四引脚连接，所述电磁阀第二引脚连接有外部插头第二引脚，所述电磁阀第三引脚连接有外部插头第一引脚。
10.根据权利要求9所述的基于ModBus的准分子激光器控制系统，其特征在于，所述电阻用于控制电路电流，防止电流过大；所述发光二极管用于显示继电器导通/断开状态；所述光耦隔离器用于抑制尖脉冲；所述稳压管用于稳定输出电压；所述电磁阀用于控制充放气状态。
...【技术特征摘要】
1.基于modbus的准分子激光器控制系统，包括激光腔和多个电磁阀控制电路，其特征在于，所述激光腔的一端设置有压力传感器，所述激光腔的另一端连接手动阀门第一端，所述手动阀门的第二端分别连接有电磁阀1、电磁阀2、电磁阀3、电磁阀4，所述电磁阀1的第二端连接有气瓶a，所述电磁阀2的第二端连接有气瓶b，所述电磁阀3的第二端连接有气瓶c，所述电磁阀4的第二端连接有真空泵，多个所述电磁阀控制电路分别用于控制电磁阀1、电磁阀2、电磁阀3、电磁阀4。
2.根据权利要求1所述的基于modbus的准分子激光器控制系统，其特征在于，所述气瓶a的内部设置有氟气f2，所述气瓶a内部的压力为0.1mpa。
3.根据权利要求1所述的基于modbus的准分子激光器控制系统，其特征在于，所述气瓶b的内部设置有氩气ar，所述气瓶b内部的压力为0.1mpa。
4.根据权利要求1所述的基于modbus的准分子激光器控制系统，其特征在于，所述气瓶c的内部设置有氖气ne，所述气瓶c内部的压力为0.25mpa。
5.根据权利要求1所述的基于modbus的准分子激光器控制系统，其特征在于，所述激光腔内部的当前压力值设置为g1，所述激光腔内部真空压力值为g2。
6.根据权利要求5所述的基于modbus的准分子激光器控制系统，其特征在于，所述激光腔进行充气时的第一阶段压力值设置为g3，所述激光腔进行充气时的第二阶段压力值设置为g4，所述激光腔进行充气时的第三阶段压力值设置为g5。
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【专利技术属性】
技术研发人员：李谚，武文博，
申请(专利权)人：合肥意克赛激光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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