【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆防护输送，具体涉及一种晶圆盒foup下压机构。
技术介绍
1、晶圆盒foup（front opening unified pod）是半导体制造过程中用来保护、运输和储存晶圆的重要容器。foup的设计使得晶圆在制造和运输过程中能够保持清洁和安全，从而确保半导体产品的质量和可靠性。
2、随着半导体在各个领域的大范围应用，以及半导体行业的不断的迭代，半导体设备零部件的需求量日益增多，作为半导体的核心——晶圆，无论国内还是国外市场需求量日益增多，其加工工艺、加工环境要求严格，致使其生产成本始终居高不下，目前所有的晶圆制造商会将制程完备的晶圆放置于foup当中，通过pgv小车进行转运，但是由于转运过程会产生轻微颠簸导致foup盒反生倾斜或者脱落，致使晶圆损坏造成严重损失，为了避免这种情况发生，提出一种晶圆盒foup下压机构进行foup的防护，避免出现foup脱落的情况产生。
技术实现思路
1、为了解决上述问题，本技术提供一种晶圆盒foup下压机构，该晶圆盒foup下压机构可防止由于推动转运小车产生的震动导致晶圆盒foup倾斜或者跌落的情况产生。
2、本技术的技术方案如下：
3、一种晶圆盒foup下压机构，设置在晶圆盒foup转运小车的foup承载机构上，所述foup承载机构可水平方向直线移动，包括底座、压杆、肋、压块支架、压块、止动轮支架、止动轮和弹簧，所述底座固定在所述foup承载机构上，所述压杆的底部铰接在底座上，所述压杆的顶部与所述肋的
4、当所述止动轮贴靠所述压杆时，所述压块支架在水平位置，当所述止动轮远离所述压杆时，所述压块支架与水平位置呈倾斜状态。
5、压杆的底部通过转轴与所述底座连接，在所述压杆的底部和所述底座上设置有与所述转轴配合的孔。
6、晶圆盒foup转运小车包括带有行走轮的框架、foup承载机构、扶手和移载机构，所述扶手固定在所述框架上，所述移载机构可水平直线滑动地安装在所述框架上，所述foup承载机构与所述移载机构固定连接。
7、止动轮支架固定连接在所述扶手上。
8、在所述框架上设置有水平直线导轨，所述移载机构通过所述水平直线导轨连接在所述框架上。
9、当所述压块支架处于水平位置时，所述压块与放置在所述foup承载机构上的晶圆盒foup的上表面有3-4mm的间隙。
10、本技术的有益效果在于：
11、本技术公开的一种晶圆盒foup下压机构，该晶圆盒foup下压机构可防止由于推动转运小车产生的震动导致晶圆盒foup倾斜或者跌落的情况产生。
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1.一种晶圆盒FOUP下压机构，设置在晶圆盒FOUP转运小车的FOUP承载机构（2）上，所述FOUP承载机构（2）可水平方向直线移动，其特征在于，包括底座（41）、压杆（43）、肋（44）、压块支架（45）、压块（46）、止动轮支架（47）、止动轮（48）和弹簧（49），所述底座（41）固定在所述FOUP承载机构（2）上，所述压杆（43）的底部铰接在底座（41）上，所述压杆（43）的顶部与所述肋（44）的下端固定连接，所述肋（44）的上端与所述压块支架（45）的一端固定连接，在所述压块支架（45）的另一端的下面固定连接有压块（46），在所述底座（41）和所述压杆（43）设置有弹簧（49），所述止动轮支架（47）固定在晶圆盒FOUP转运小车上，所述止动轮（48）可转动地安装在所述止动轮支架（47）的端部，所述止动轮支架（47）固定在所述晶圆盒FOUP转运小车上；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆盒FOUP下压机构，其特征在于，所述压杆（43）的底部通过转轴（42）与所述底座（41）连接，在所述压杆（43）的底部和所述底座（41）上设置有与所述转轴（42）配合的销孔。p>
3.根据权利要求1所述的一种晶圆盒FOUP下压机构，其特征在于，所述晶圆盒FOUP转运小车包括带有行走轮的框架（1）、FOUP承载机构（2）、扶手（5）和移载机构（6），所述扶手（5）固定在所述框架（1）上，所述移载机构（6）可水平直线滑动地安装在所述框架（1）上，所述FOUP承载机构（2）与所述移载机构（6）固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆盒FOUP下压机构，其特征在于，所述止动轮支架（47）固定连接在所述扶手（5）上。
5.根据权利要求3所述的一种晶圆盒FOUP下压机构，其特征在于，在所述框架（1）上设置有水平直线导轨，所述移载机构（6）通过所述水平直线导轨连接在所述框架（1）上。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆盒FOUP下压机构，其特征在于，当所述压块支架（45）处于水平位置时，所述压块（46）与放置在所述FOUP承载机构（2）上的晶圆盒FOUP（3）的上表面有3-4mm的间隙。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒foup下压机构，设置在晶圆盒foup转运小车的foup承载机构（2）上，所述foup承载机构（2）可水平方向直线移动，其特征在于，包括底座（41）、压杆（43）、肋（44）、压块支架（45）、压块（46）、止动轮支架（47）、止动轮（48）和弹簧（49），所述底座（41）固定在所述foup承载机构（2）上，所述压杆（43）的底部铰接在底座（41）上，所述压杆（43）的顶部与所述肋（44）的下端固定连接，所述肋（44）的上端与所述压块支架（45）的一端固定连接，在所述压块支架（45）的另一端的下面固定连接有压块（46），在所述底座（41）和所述压杆（43）设置有弹簧（49），所述止动轮支架（47）固定在晶圆盒foup转运小车上，所述止动轮（48）可转动地安装在所述止动轮支架（47）的端部，所述止动轮支架（47）固定在所述晶圆盒foup转运小车上；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆盒foup下压机构，其特征在于，所述压杆（43）的底部通过转轴（42）与所述底座（41）连接，在所述压杆（43...
【专利技术属性】
技术研发人员：房吉晨，
申请(专利权)人：北京富创精密半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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