【技术实现步骤摘要】
本技术涉及生产线加工输送,尤其涉及一种运料设备及硅片生产线。
技术介绍
1、在制造光伏电池的过程中,一般需要将硅片经过高温工艺处理,例如:硼扩散、磷扩散等。通常采用加工设备实现高温工艺处理,例如:扩散主机等。加工设备往往需要与其配套的运料设备,将硅片搬进或搬出加工设备。
2、作为光伏电池主流加工工艺之一的topcon工艺,一般是将硅片导入到花篮中,再依靠运输车搬运花篮,以在各工艺设备之间流转。这种流转方式,需要每个与加工设备配套的运料设备,均能够将花篮中的硅片导入硅片载具中,以让耐高温的硅片载具承载硅片进入工艺设备内。这就导致在上料和下料过程中,需要将硅片在花篮与硅片载具之间多次切换,不但费时费力,而且在硅片的插片过程中还容易出现碎片、卡片等情况,降低了硅片的制造良率。
3、因此,出现一种新的工艺流程,使用运输车直接搬运承载有硅片的硅片载具,以在各工艺设备之间流转。由于现有运料设备会将硅片在花篮与硅片载具之间多次切换,其上料端只能接收承载有硅片的花篮,无法接收承载有硅片的硅片载具,不能适用于新的工艺流程。
4、故而,亟需一种运料设备及硅片生产线,来解决上述问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种运料设备及硅片生产线,其能够直接接收运输车上的硅片载具,并将硅片载具移送至加工设备,无需将硅片在花篮与硅片载具之间多次切换,减小了硅片的碎片风险,硅片的制造良率较高。
2、为达此目的,本技术采用以下技术方案:
3、一方面,
4、运料设备包括框架、进料工位、输送装置和移载装置。其中框架设有入料口和出料口。进料工位用于放置硅片载具,硅片载具通过入料口进入框架内。输送装置包括至少一条输送线,输送线设于框架内,输送线的上料端延伸至进料工位,输送线的下料端延伸至出料口,输送线的下料端对接加工设备,以将硅片载具移进或移出加工设备。移载装置设于框架内,用于在进料工位和输送线之间搬运硅片载具。通过上述设置,直接将硅片载具从运料设备输送至加工设备,或将硅片载具从加工设备移送至运料设备,无需将硅片在花篮与硅片载具之间多次切换。
5、可选地,移载装置包括搬运机构和移动机构,搬运机构安装于移动机构,搬运机构能够夹持或松开硅片载具,移动机构带动搬运机构在进料工位和输送线之间移动,从而移载装置能够将硅片载具在进料工位和输送线之间转运。
6、搬运机构包括第一安装座、驱动组件和两个夹爪,第一安装座与移动机构连接,驱动组件和两个夹爪均设置于第一安装座,驱动组件与两个夹爪传动连接,驱动组件能够驱动两个夹爪相互靠近或相互远离。在驱动组件驱动两个夹爪相互靠近时,两个夹爪能够将硅片载具夹起,移动机构带动搬运机构整体移动,进而实现硅片载具的转运。在驱动组件驱动两个夹爪相互远离时,两个夹爪将硅片载具松开,硅片载具被放置于进料工位或输送线。
7、可选地,移动机构包括x向运动组件、y向运动组件和z向运动组件,第一安装座设置于z向运动组件上,z向运动组件设置于y向运动组件上,y向运动组件设置于x向运动组件上,通过移动机构带动搬运机构在空间内移动。
8、可选地,x向运动组件包括x向滑轨、x向驱动件和x向滑块,x向驱动件驱动x向滑块沿x向滑轨移动。y向运动组件包括y向滑轨、y向驱动件和y向滑块,y向滑轨与x向滑块连接,y向驱动件驱动y向滑块沿y向滑轨移动。z向运动组件包括z向滑轨、z向驱动件和z向滑块,z向滑轨与y向滑块连接,z向驱动件驱动z向滑块沿z向滑轨移动,搬运机构设置于z向滑块上。由此,搬运机构能够沿x向滑轨的延伸方向、y向滑轨的延伸方向或z向滑轨的延伸方向往复移动。
9、可选地,输送装置包括切换机构和两个输送线,两个输送线均连接于切换机构,切换机构被配置为移动两条输送线,以使其中一个输送线对准出料口。通过设置两个输送线能够减少加工设备的等待时间,加快生产效率。
10、可选地,输送线包括架体,以及设置于架体上的输送电机和传送带,传送带与输送电机传动连接,传送带用于输送载有所述硅片载具的舟托。传送带与输送电机传动连接,通过输送电机能够驱动传送带,进而传送带能够移送载有硅片载具的舟托。
11、可选地,每个输送线还包括两个导向条,两个导向条均安装于架体,传送带位于两个导向条之间,两个导向条用于限位舟托。
12、每个导向条的端部均设有导向斜面,位于同一端的两个导向斜面相向倾斜,从而在两个导向斜面之间形成导向口,导向口的宽度沿朝向传送带的方向逐渐减小。在搬运载有硅片载具的舟托时,通过导向斜面对舟托起到定位和导向的作用,能够将舟托放置于传送带的中间位置,定位准确,载有硅片载具的舟托输送平稳。
13、另一方面,本技术提供一种硅片生产线,包括加工设备,以及上述任一方案中的运料设备,加工设备的进料口承接运料设备的出料口,运料设备用于将硅片载具移送至加工设备,或将硅片载具从加工设备移出。通过运料设备与加工设备的配合使用,提高了硅片的转运效率,加工效率较高。
14、本技术的有益效果为:
15、本技术提供一种运料设备,该运料设备包括框架,框架设有入料口和出料口,框架内设有进料工位、移载装置和输送装置,进料工位可用于停放运输车,运输车上可以暂存硅片载具。输送装置包括至少一条输送线,输送线的上料端延伸至进料工位,输送线的下料端延伸至出料口,输送线的下料端承接加工设备,以将硅片载具移进或移出加工设备,移载装置用于在运输车和输送线之间搬运硅片载具。通过该运料设备能够直接承接运输车上的硅片载具,并将硅片载具移送至加工设备,无需将硅片在花篮与硅片载具之间多次切换,减小了硅片的碎片风险,硅片的制造良率较高。
16、本技术还提供一种硅片生产线,包括加工设备和运料设备,运料设备布置于加工设备的上游,通过运料设备可以将硅片载具移送至加工设备,或将硅片载具从加工设备移出。由于运料设备不需要将硅片从中间载体花篮与硅片载具之间进行切换,从而避免了碎片的风险,同时由于减少了硅片流转过程,使得运料设备更加的精简,降低了设备成本,占用空间小,维护成本低。
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1.一种运料设备,用于对接加工设备并进行硅片载具(20)的上料和/或下料,其特征在于,所述运料设备包括:
2.根据权利要求1所述的运料设备,其特征在于,所述移载装置(200)包括搬运机构(210)和移动机构,所述搬运机构(210)安装于所述移动机构,所述搬运机构(210)被配置为夹持或松开所述硅片载具(20),所述移动机构用于带动所述搬运机构(210)在所述进料工位(103)和所述输送线(310)之间移动。
3.根据权利要求2所述的运料设备,其特征在于,所述搬运机构(210)包括:
4.根据权利要求3所述的运料设备,其特征在于,所述移动机构包括X向运动组件(220)、Y向运动组件(230)和Z向运动组件(240),所述第一安装座(211)设置于所述Z向运动组件(240)上,所述Z向运动组件(240)设置于所述Y向运动组件(230)上,所述Y向运动组件(230)设置于所述X向运动组件(220)上。
5.根据权利要求4所述的运料设备,其特征在于,所述X向运动组件(220)包括X向滑轨(221)、X向驱动件(222)和X向滑块(223),
6.根据权利要求1所述的运料设备,其特征在于,所述输送装置(300)包括切换机构(320)和两个所述输送线(310),两个所述输送线(310)均连接于所述切换机构(320),所述切换机构(320)被配置为移动两个所述输送线(310),以使其中一个所述输送线(310)对准所述出料口(102)。
7.根据权利要求1所述的运料设备,其特征在于,所述输送线(310)包括架体(311),以及设置于所述架体(311)上的输送电机和传送带(312),所述传送带(312)用于输送载有所述硅片载具(20)的舟托(330),所述传送带(312)与所述输送电机传动连接,所述输送电机用于驱动所述传送带(312)。
8.根据权利要求7所述的运料设备,其特征在于,每个所述输送线(310)还包括两个导向条(313),两个所述导向条(313)均安装于所述架体(311),所述传送带(312)位于两个所述导向条(313)之间,两个所述导向条(313)用于限位所述舟托(330)。
9.根据权利要求8所述的运料设备,其特征在于,每个所述导向条(313)的端部均设有导向斜面(3131),位于同一端的两个所述导向斜面(3131)相向倾斜,并在两个所述导向斜面(3131)之间形成导向口,所述导向口的宽度沿朝向所述传送带(312)的方向逐渐减小。
10.一种硅片生产线,其特征在于,包括:
...【技术特征摘要】
1.一种运料设备,用于对接加工设备并进行硅片载具(20)的上料和/或下料,其特征在于,所述运料设备包括:
2.根据权利要求1所述的运料设备,其特征在于,所述移载装置(200)包括搬运机构(210)和移动机构,所述搬运机构(210)安装于所述移动机构,所述搬运机构(210)被配置为夹持或松开所述硅片载具(20),所述移动机构用于带动所述搬运机构(210)在所述进料工位(103)和所述输送线(310)之间移动。
3.根据权利要求2所述的运料设备,其特征在于,所述搬运机构(210)包括:
4.根据权利要求3所述的运料设备,其特征在于,所述移动机构包括x向运动组件(220)、y向运动组件(230)和z向运动组件(240),所述第一安装座(211)设置于所述z向运动组件(240)上,所述z向运动组件(240)设置于所述y向运动组件(230)上,所述y向运动组件(230)设置于所述x向运动组件(220)上。
5.根据权利要求4所述的运料设备,其特征在于,所述x向运动组件(220)包括x向滑轨(221)、x向驱动件(222)和x向滑块(223),所述x向驱动件(222)驱动所述x向滑块(223)沿所述x向滑轨(221)移动;
6.根据权利要求1所述的运料设备,其特征在于,所述输送装置(...
【专利技术属性】
技术研发人员:汪滢,董雪迪,张武,
申请(专利权)人:拉普拉斯无锡半导体科技有限公司,
类型:新型
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