【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及芯片生产设备，具体为一种芯片电镀退火用高温烘烤结构。
技术介绍
1、芯片在制作过程中需要经过封装处理，封装处理最重要的步骤就是要芯片表面镀层，镀层能够对芯片起到保护作用，主要是防潮和隔热两个方面，对芯片封装完成，仍要进行一些工序，其中，就需要进行电镀退火工序，而此过程需要一种芯片电镀退火用高温烘烤结构进行配合使用，常规方式就是将芯片送入具有烘烤功能的设备内，加热至设定温度后保温一段时间便可以实现芯片电镀层退火。
2、经检索，在已知授权中国专利一种用于芯片表面的电镀退火设备（专利号为：cn116682765a）中，该装置包括主箱体，主箱体两侧均设置有与箱体内部相连通的侧箱体，还包括：输送组件，所述输送组件包括转动连接在侧箱体内且竖直设置的螺杆，螺杆靠近侧箱体的其中一侧壁设置，所述侧箱体的宽度大于卡座的长度，螺杆上配合套接有卡座，所述侧箱体顶部设置有用于带动螺杆转动的驱动件；所述主箱体一侧转动设置有开关门，主箱体内与开关门相对的一侧固定设置有加热单元，所述开关门以及主箱体与开关门相对的内壁上均设置有调节架；所述主箱体顶部设置有进料门，主箱体底部设置有出料门，该装置在简化结构的基础上实现了辅助进料和出料的功能，但是，该装置中，芯片直接放置于料盘上进行高温烘烤，难以使芯片两侧同时进行高温烘烤，烘烤受热不够均匀，从而影响对芯片电镀退火的加工质量。
技术实现思路
1、针对上述存在的技术不足，本专利技术的目的是提供一种芯片电镀退火用高温烘烤结构，通过设置安装组件和多轴自
2、为解决上述技术问题，本专利技术采用如下技术方案：本专利技术提供一种芯片电镀退火用高温烘烤结构，包括：烘烤柜和若干用于固定芯片的安装组件，所述烘烤柜的开口端一侧铰接连接有柜门，所述烘烤柜的两端铰接连接有两个对称设置的电推杆，两个所述电推杆的一端与分别柜门的两端铰接连接，所述烘烤柜上设有循环热风机构，所述烘烤柜的内底壁设有两个对称设置的滑动支撑机构，两个所述滑动支撑机构的上端固定连接有圆底壳，所述柜门的内侧壁铰接连接有拉杆，所述圆底壳的前侧与拉杆的一端铰接连接，所述圆底壳上设有多轴自转机构，所述多轴自转机构的上端固定连接有若干等间距环绕设置的下插座，所述多轴自转机构的上侧壁固定连接固定柱，所述固定柱的上端固定连接有顶板，所述顶板的下侧壁通过转动件转动连接有弹簧杆，所述弹簧杆的下端固定连接有与下插座对应设置的上插座，所述安装组件的两端分别插设于下插座和上插座中。
3、优选地，所述循环热风机构包括与烘烤柜顶壁连通设置的加热箱，所述加热箱中设有加热组件，所述加热箱的上侧壁连通设有引风机，所述引风机的上端连通设有三通管，所述三通管的两端均贯穿至烘烤柜中并连通设有两个热风管，两个所述热风管分别对称固定在烘烤柜的两侧内壁上，所述热风管的一侧从上往下连通设有均匀排列设置的出风口。
4、优选地，所述加热组件包括电加热器和与电加热器电性连接的电加热管，所述电加热器固定于加热箱的外侧壁，所述电加热管固定于加热箱的内壁。
5、优选地，所述滑动支撑机构包括开设在烘烤柜内底壁的导向滑槽，所述导向滑槽的内壁滑动连接有支撑滑块，所述支撑滑块的上端与圆底壳固定连接。
6、优选地，所述多轴自转机构包括固定在圆底壳内底壁圆心处的驱动电机，所述驱动电机的主轴端固定连接有驱动轴，所述圆底壳的上侧壁通过轴承环转动连接有旋转罩，所述驱动轴的上端与旋转罩的下侧圆心处固定连接，所述旋转罩的上侧壁插设并转动连接有若干等间距环绕设置的旋转轴，所述旋转轴的下端固定连接有圆齿轮，所述圆底壳的内壁固定连接有内齿圈，所述内齿圈与圆齿轮啮合连接，所述旋转轴的上端与下插座固定连接。
7、优选地，所述旋转罩的侧壁开设有通孔，所述通孔通过轴承件与旋转轴转动连接。
8、优选地，所述安装组件包括板条，所述板条的两端均固定连接有矩形插块，两个所述矩形插块分别插设于下插座和上插座中，所述板条的侧壁从上往下依次开设有等间距排列设置的置物槽口，所述置物槽口的内顶壁固定连接有上卡板，位于置物槽口下方所述板条的侧壁中设有抵紧机构，所述抵紧机构的一端贯穿至置物槽口中并固定连接有下卡板。
9、优选地，所述抵紧机构包括开设在板条侧壁中的安装腔，所述安装腔中滑动连接有滑板，所述安装腔的内底壁与滑板之间固定连接有抵紧弹簧，所述滑板的上侧固定连接有移动柱，所述移动柱贯穿至置物槽口中并与下卡板固定连接。
10、本专利技术的有益效果在于：
11、本专利技术中，通过设置多轴自转机构，启动驱动电机工作，可带动与驱动轴固定的旋转罩在圆底壳上转动，此时，可带动与旋转轴固定的圆齿轮做圆周运动，进而带动安装组件做圆周运动，同时，由于圆齿轮与内齿圈啮合，且内齿圈固定不动，此时，圆齿轮做圆周运动的同时并沿着内齿圈做自转运动，进而可使安装组件上的芯片做圆周运动的同时并自转，使芯片两面均受热均匀，提高烘烤质量。
12、本专利技术中，通过设置两个电推杆和拉杆，当两个电推杆工作伸长时，可推动柜门打开，同时，拉杆可拉动圆底壳从烘烤柜中位移出来，实现开门操作的同时将芯片自动由烘烤柜中送出，以便从烘烤柜的外部对芯片进行拆装，避免高温烫伤，操作更安全，反之，柜门关闭时，则圆底壳自动推入烘烤柜中。
13、本专利技术中，通过设置安装组件和抵紧机构，只需推动下卡板下移，带动与移动柱固定的滑板在安装腔中下移，此时，抵紧弹簧受到挤压收缩产生弹力，利用抵紧弹簧的弹力作用，可将芯片抵紧在下卡板与上卡板之间，可对芯片固定牢靠，安装拆卸方便，且使用时可将整个板条取下，更换新的安装好芯片的板条进行烘烤，可提高加工效率。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种芯片电镀退火用高温烘烤结构，其特征在于，包括：烘烤柜（1）和若干用于固定芯片的安装组件，所述烘烤柜（1）的开口端一侧铰接连接有柜门（2），所述烘烤柜（1）的两端铰接连接有两个对称设置的电推杆（3），两个所述电推杆（3）的一端与分别柜门（2）的两端铰接连接，所述烘烤柜（1）上设有循环热风机构，所述烘烤柜（1）的内底壁设有两个对称设置的滑动支撑机构，两个所述滑动支撑机构的上端固定连接有圆底壳（4），所述柜门（2）的内侧壁铰接连接有拉杆（5），所述圆底壳（4）的前侧与拉杆（5）的一端铰接连接，所述圆底壳（4）上设有多轴自转机构，所述多轴自转机构的上端固定连接有若干等间距环绕设置的下插座（6），所述多轴自转机构的上侧壁固定连接固定柱（7），所述固定柱（7）的上端固定连接有顶板（8），所述顶板（8）的下侧壁通过转动件（9）转动连接有弹簧杆（10），所述弹簧杆（10）的下端固定连接有与下插座（6）对应设置的上插座（11），所述安装组件的两端分别插设于下插座（6）和上插座（11）中。
2.如权利要求1所述的一种芯片电镀退火用高温烘烤结构，其特征在于，所述循环热风机构包括与烘
3.如权利要求2所述的一种芯片电镀退火用高温烘烤结构，其特征在于，所述加热组件包括电加热器（17）和与电加热器（17）电性连接的电加热管（18），所述电加热器（17）固定于加热箱（12）的外侧壁，所述电加热管（18）固定于加热箱（12）的内壁。
4.如权利要求1所述的一种芯片电镀退火用高温烘烤结构，其特征在于，所述滑动支撑机构包括开设在烘烤柜（1）内底壁的导向滑槽（19），所述导向滑槽（19）的内壁滑动连接有支撑滑块（20），所述支撑滑块（20）的上端与圆底壳（4）固定连接。
5.如权利要求1所述的一种芯片电镀退火用高温烘烤结构，其特征在于，所述多轴自转机构包括固定在圆底壳（4）内底壁圆心处的驱动电机（21），所述驱动电机（21）的主轴端固定连接有驱动轴（22），所述圆底壳（4）的上侧壁通过轴承环（23）转动连接有旋转罩（24），所述驱动轴（22）的上端与旋转罩（24）的下侧圆心处固定连接，所述旋转罩（24）的上侧壁插设并转动连接有若干等间距环绕设置的旋转轴（25），所述旋转轴（25）的下端固定连接有圆齿轮（26），所述圆底壳（4）的内壁固定连接有内齿圈（27），所述内齿圈（27）与圆齿轮（26）啮合连接，所述旋转轴（25）的上端与下插座（6）固定连接。
6.如权利要求5所述的一种芯片电镀退火用高温烘烤结构，其特征在于，所述旋转罩（24）的侧壁开设有通孔，所述通孔通过轴承件与旋转轴（25）转动连接。
7.如权利要求1所述的一种芯片电镀退火用高温烘烤结构，其特征在于，所述安装组件包括板条（28），所述板条（28）的两端均固定连接有矩形插块（29），两个所述矩形插块（29）分别插设于下插座（6）和上插座（11）中，所述板条（28）的侧壁从上往下依次开设有等间距排列设置的置物槽口（30），所述置物槽口（30）的内顶壁固定连接有上卡板（31），位于置物槽口（30）下方所述板条（28）的侧壁中设有抵紧机构，所述抵紧机构的一端贯穿至置物槽口（30）中并固定连接有下卡板（32）。
8.如权利要求7所述的一种芯片电镀退火用高温烘烤结构，其特征在于，所述抵紧机构包括开设在板条（28）侧壁中的安装腔（33），所述安装腔（33）中滑动连接有滑板（34），所述安装腔（33）的内底壁与滑板（34）之间固定连接有抵紧弹簧（35），所述滑板（34）的上侧固定连接有移动柱（36），所述移动柱（36）贯穿至置物槽口（30）中并与下卡板（32）固定连接。
...【技术特征摘要】
1.一种芯片电镀退火用高温烘烤结构，其特征在于，包括：烘烤柜（1）和若干用于固定芯片的安装组件，所述烘烤柜（1）的开口端一侧铰接连接有柜门（2），所述烘烤柜（1）的两端铰接连接有两个对称设置的电推杆（3），两个所述电推杆（3）的一端与分别柜门（2）的两端铰接连接，所述烘烤柜（1）上设有循环热风机构，所述烘烤柜（1）的内底壁设有两个对称设置的滑动支撑机构，两个所述滑动支撑机构的上端固定连接有圆底壳（4），所述柜门（2）的内侧壁铰接连接有拉杆（5），所述圆底壳（4）的前侧与拉杆（5）的一端铰接连接，所述圆底壳（4）上设有多轴自转机构，所述多轴自转机构的上端固定连接有若干等间距环绕设置的下插座（6），所述多轴自转机构的上侧壁固定连接固定柱（7），所述固定柱（7）的上端固定连接有顶板（8），所述顶板（8）的下侧壁通过转动件（9）转动连接有弹簧杆（10），所述弹簧杆（10）的下端固定连接有与下插座（6）对应设置的上插座（11），所述安装组件的两端分别插设于下插座（6）和上插座（11）中。
2.如权利要求1所述的一种芯片电镀退火用高温烘烤结构，其特征在于，所述循环热风机构包括与烘烤柜（1）顶壁连通设置的加热箱（12），所述加热箱（12）中设有加热组件，所述加热箱（12）的上侧壁连通设有引风机（13），所述引风机（13）的上端连通设有三通管（14），所述三通管（14）的两端均贯穿至烘烤柜（1）中并连通设有两个热风管（15），两个所述热风管（15）分别对称固定在烘烤柜（1）的两侧内壁上，所述热风管（15）的一侧从上往下连通设有均匀排列设置的出风口（16）。
3.如权利要求2所述的一种芯片电镀退火用高温烘烤结构，其特征在于，所述加热组件包括电加热器（17）和与电加热器（17）电性连接的电加热管（18），所述电加热器（17）固定于加热箱（12）的外侧壁，所述电加热管（18）固定于加热箱（12）的内壁。
4.如权利要求1所述的一种芯片电镀退火用高温烘烤结构，其特征在于，所述滑动支撑机构包括开设在烘烤柜（1）内...
【专利技术属性】
技术研发人员：张梦，张珺，顾梦甜，
申请(专利权)人：安徽积芯微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。