【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及流体控制，特别是涉及一种宽量程的压力式mfc。
技术介绍
1、压力式质量流量控制器(mfc)作为一种高精度的流量控制设备，广泛应用于半导体制造、化工、医疗、科研等领域。mfc通过控制入口和出口的压力差，实现对流体质量流量的精确控制。
2、现有的mfc通常采用层流元件来保证流体的稳定流动。层流元件内部的导流片设计用于引导流体形成层流状态，从而减少湍流和涡流的影响，提高流量控制的精确度。然而，为了保证流体的层流效果，导流片之间的间隙往往设计得较小，且导流片之间的间隙是固定的。
3、这种设计虽然有助于维持流体的层流状态，但由于导流片间隙的固定性，现有的质量流量控制器的量程普遍较小，无法根据应用场景的需求灵活调节量程。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于克服以上所述的缺点，提供一种宽量程的压力式mfc，从而控制层流元件的有效流通面积，实现量程的调节，以根据应用场景灵活调节量程。
2、为实现上述目的，本专利技术的具体方案如下：
3、一种宽量程的压力式mfc，包括层流装置；层流装置包括层流本体，层流本体内设有层流腔，层流腔内设有层流元件；
4、层流元件包括弹性气囊和多个自由叠放在层流腔内的层流单元；层流腔的两侧设有用于对多个层流单元进行夹持固定的夹持单元；在自然状态下，弹性气囊使得各个层流单元紧密层叠在一起，使层流腔处于封堵状态；相邻层流单元之间能够形成层流通道。
5、可选地，层流单元包括导流片、设置在导
6、层流本体在层流腔的一侧设置有电容测量模块，电容测量模块与各个层流单元的第一电极和第二电极电性连接。
7、可选地，夹持单元包括设置在层流腔侧壁的压电片和设置在压电片朝向层流单元的表面上的夹持垫。
8、可选地，夹持垫为摩擦垫。
9、可选地，层流本体两端设置有分别与层流腔连通的输入口和输出口；
10、压力式mfc还包括设于层流装置底部的加热装置以及设于层流装置顶部的测量控制模块；加热装置设有加热流道；加热流道的一端与输入口连通，另一端与层流腔连通；
11、层流腔靠近输入口的一端设置有温度传感器；层流本体的一端设置有检测腔，检测腔内设置有第一压力传感器，层流本体在层流腔靠近输出口的一端设置有第二压力传感器；
12、测量控制模块与加热装置、电容测量模块、温度传感器、第一压力传感器和第二压力传感器电性连接。
13、可选地，加热装置包括设置在层流本体底部的加热本体，加热本体朝向层流本体的表面设置有加热流道，加热流道内设置有加热电极。
14、可选地，加热流道呈涡状盘绕，加热电极沿加热流道的轨迹延伸。
15、可选地，加热电极的两侧均设置有绕流部，加热电极对应每个绕流部的位置均贯穿设置过孔，加热电极两侧的绕流部依次交替分布。
16、可选地，层流本体在对应输出口的位置设置有与输出口交叉连通的节流腔，层流本体顶部对应节流腔的位置设置有推杆；
17、节流腔内设置有调节阀芯，调节阀芯包括多个间隔层叠在节流腔内的阀芯单元，位于最顶部的阀芯单元与推杆的输出端连接；相邻阀芯单元之间形成有导流通道，通过推杆带动阀芯单元移动，从而调整位于输出口内的导流通道数量。
18、可选地，阀芯单元包括阀芯本体，阀芯本体贯穿设置有滑孔，滑孔的两端分别滑动设置有滑块，两个滑块之间连接有弹片；
19、节流腔的两侧设置有锥形槽，锥形槽的宽度由层流本体底部向层流本体顶部方向逐渐增大；滑块在弹片的作用下伸出阀芯本体外并与锥形槽的槽壁相抵接。
20、本专利技术的有益效果为：本专利技术通过将多个层流单元层叠在层流腔内，利用静电斥力调整层流单元的间距来实现调整层流通道的流道宽度调节，以及调整层流单元的叠加状态，从而控制层流元件的有效流通面积，实现量程的调节，以根据应用场景灵活调节量程。
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1.一种宽量程的压力式MFC，其特征在于，包括层流装置；层流装置包括层流本体，层流本体内设有层流腔，层流腔内设有层流元件；
2.根据权利要求1所述的一种宽量程的压力式MFC，其特征在于，层流单元包括导流片、设置在导流片的一表面上的第一电极和设置在导流片的另一表面上的第二电极；层流单元的第一电极与相邻层流单元的第二电极相对设置，或层流单元的第二电极与相邻层流单元的第一电极相对设置；
3.根据权利要求2所述的一种宽量程的压力式MFC，其特征在于，夹持单元包括设置在层流腔侧壁的压电片和设置在压电片朝向层流单元的表面上的夹持垫。
4.根据权利要求3所述的一种宽量程的压力式MFC，其特征在于，夹持垫为摩擦垫。
5.根据权利要求2所述的一种宽量程的压力式MFC，其特征在于，层流本体两端设置有分别与层流腔连通的输入口和输出口；
6.根据权利要求5所述的一种宽量程的压力式MFC，其特征在于，加热装置包括设置在层流本体底部的加热本体，加热本体朝向层流本体的表面设置有加热流道，加热流道内设置有加热电极。
7.根据权利要求6所述的
8.根据权利要求7所述的一种宽量程的压力式MFC，其特征在于，加热电极的两侧均设置有绕流部，加热电极对应每个绕流部的位置均贯穿设置过孔，加热电极两侧的绕流部依次交替分布。
9.根据权利要求2所述的一种宽量程的压力式MFC，其特征在于，层流本体在对应输出口的位置设置有与输出口交叉连通的节流腔，层流本体顶部对应节流腔的位置设置有推杆；
10.根据权利要求9所述的一种宽量程的压力式MFC，其特征在于，阀芯单元包括阀芯本体，阀芯本体贯穿设置有滑孔，滑孔的两端分别滑动设置有滑块，两个滑块之间连接有弹片；
...【技术特征摘要】
1.一种宽量程的压力式mfc，其特征在于，包括层流装置；层流装置包括层流本体，层流本体内设有层流腔，层流腔内设有层流元件；
2.根据权利要求1所述的一种宽量程的压力式mfc，其特征在于，层流单元包括导流片、设置在导流片的一表面上的第一电极和设置在导流片的另一表面上的第二电极；层流单元的第一电极与相邻层流单元的第二电极相对设置，或层流单元的第二电极与相邻层流单元的第一电极相对设置；
3.根据权利要求2所述的一种宽量程的压力式mfc，其特征在于，夹持单元包括设置在层流腔侧壁的压电片和设置在压电片朝向层流单元的表面上的夹持垫。
4.根据权利要求3所述的一种宽量程的压力式mfc，其特征在于，夹持垫为摩擦垫。
5.根据权利要求2所述的一种宽量程的压力式mfc，其特征在于，层流本体两端设置有分别与层流腔连通的输入口和输出口；
6.根据权利要求5所述的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：汪宇澄，汪小龙，汪雨，胡雷俊，
申请(专利权)人：九未实业上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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