【技术实现步骤摘要】
本申请涉及压电定位，例如涉及一种用于扫描探针显微镜的压电位移装置。
技术介绍
1、目前，随着精密制造和微纳米技术的发展，对位移控制精度的要求日益提高。在众多位移驱动技术中，压电位移台以其响应速度快、控制精度高等优点，在精密定位领域得到了广泛应用。然而，在现有的单层结构压电位移台设计中，多轴向位移控制常常受到不同预设轴向位移机构间的相互串扰，从而降低了压电位移台的整体定位的精度。
2、相关技术公开了一种宏／微二维位移台，采用宏/微两级驱动。该宏/微二维位移台分为宏动位移台、微动位移台和驱动元件三大部分。微动平台采用“十”字型布局，理论上无堆栈和耦合误差，x和y方向同刚度，结构简单。宏动位移台x和y方向的位移总是沿着基体上表面，宏动平台可通过千分尺实现快速高效定位，通过微驱动器驱动微动平台实现精密进给和误差补偿，从而解决了大行程和精密定位的矛盾问题，由于微动平台采用了新型的“十”字型结构模式，有效地减小了传统的微动平台所固有的堆栈误差或嵌套误差，减小了平台整体尺寸，定位更为精确，性能更为稳定。
3、在实现本公开实施例的过程中，发现相关技术中至少存在如下问题：
4、相关技术采用宏/微两级驱动来实现多轴向位移，一定程度上提高了位移的精确性。然而，在实际应用中，采用相关技术仍需要叠合不同的多轴向的位移机构以形成平面位移台，削弱了对各独立轴向位移的精确操控能力，系统的复杂性和耦合误差均有所增加，从而降低了整体定位的精度，使得压电位移装置位移控制的可靠性弱。
5、需要说明的是，在上述
技术介绍
部分
技术实现思路
1、为了对披露的实施例的一些方面有基本的理解，下面给出了简单的概括。所述概括不是泛泛评述，也不是要确定关键／重要组成元素或描绘这些实施例的保护范围，而是作为后面的详细说明的序言。
2、本公开实施例提供一种用于扫描探针显微镜的压电位移装置，以减少不同预设轴向位移机构间的相互串扰，增强对各独立轴向位移的精确操控能力，从而减少轴向位移的耦合误差，提高压电位移装置位移控制的精度和可靠性。
3、在一些实施例中，压电位移装置包括：单轴板，包括第一外框、设置于第一外框内的中心平台和用于驱动中心平台沿对应的预设轴向位移的至少一个位移组件；其中，第一外框包括关于预设轴向对称的第一侧边和第二侧边，中心平台分别与第一侧边向内延伸的第一部分和第二侧边向内延伸的第二部分铰接。
4、可选地，第一部分和第二部分关于预设轴向对称。
5、可选地，第一部分和第二部分分别关于预设轴向的垂直轴向对称。
6、可选地，第一部分、第二部分和中心平台将第一外框内的空间划分为第一空间和第二空间；其中，第一空间和第二空间内分别设置至少一个位移组件。
7、可选地，中心平台分别通过第一空间的位移组件和第二空间的位移组件与第一外框在预设轴向上的两侧边连接。
8、可选地，第一空间的位移组件与第二空间的位移组件分别关于预设轴向对称。
9、可选地，第一空间的位移组件与第二空间的位移组件关于预设轴向的垂直轴向对称。
10、可选地，位移组件包括：支撑组件；传动组件，分别与支撑组件和中心平台连接，并与支撑组件围合形成放置压电块的容纳腔；其中，当向压电块施加电压时，压电块会在与预设轴向垂直的轴向上产生形变，从而推动支撑组件位移，并通过传动组件向中心平台传递位移。
11、可选地，支撑组件包括：第一支撑臂；第二支撑臂，通过传动组件与第一支撑臂连接；其中，第一支撑臂和第二支撑臂关于预设轴向对称设置。
12、可选地，传动组件包括：传动臂；第一凸台，与中心平台连接，并通过传动臂分别与第一支撑臂和第二支撑臂靠近中心平台的一端连接；第二凸台，与第一外框连接，并通过传动臂分别与第一支撑臂和第二支撑臂靠近第一外框的一端连接；其中，传动臂的力臂与预设轴向的垂直轴向的夹角大于零。
13、本公开实施例提供的用于扫描探针显微镜的压电位移装置，可以实现以下技术效果：
14、单轴板包括第一外框、设置于第一外框内的中心平台和用于驱动中心平台沿对应的预设轴向位移的至少一个位移组件；其中，第一外框包括关于预设轴向对称的第一侧边和第二侧边，中心平台分别与第一侧边向内延伸的第一部分和第二侧边向内延伸的第二部分铰接。通过第一外框的第一侧边和第二侧边的延伸部分与中心平台铰接，允许中心平台在不同预设方向上独立运动的同时，能够减少一个预设轴向运动对另一预设轴向运动的振动传递，从而通过振动隔离机制降低振动引起的耦合误差。减少了不同预设轴向位移机构间的相互串扰，增强对各独立轴向位移的精确操控能力，从而提高了压电位移装置位移控制的精度和可靠性。
15、以上的总体描述和下文中的描述仅是示例性和解释性的，不用于限制本申请。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种用于扫描探针显微镜的压电位移装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，第一部分和第二部分关于预设轴向对称。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，第一部分和第二部分分别关于预设轴向的垂直轴向对称。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，第一部分、第二部分和中心平台将第一外框内的空间划分为第一空间和第二空间；其中，第一空间和第二空间内分别设置至少一个位移组件。
5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，中心平台分别通过第一空间的位移组件和第二空间的位移组件与第一外框在预设轴向上的两侧边连接。
6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，第一空间的位移组件与第二空间的位移组件分别关于预设轴向对称。
7.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，第一空间的位移组件与第二空间的位移组件关于预设轴向的垂直轴向对称。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的装置，其特征在于，位移组件包括：
9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，支撑组件包括：
10.
...【技术特征摘要】
1.一种用于扫描探针显微镜的压电位移装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，第一部分和第二部分关于预设轴向对称。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，第一部分和第二部分分别关于预设轴向的垂直轴向对称。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，第一部分、第二部分和中心平台将第一外框内的空间划分为第一空间和第二空间；其中，第一空间和第二空间内分别设置至少一个位移组件。
5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，中心平台分别通过第一空间的位移...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏家琦，王尊承，张学莹，王麟，
申请(专利权)人：致真精仪北京科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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