【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及冷却，具体为一种紧急提供冷却水的方法。
技术介绍
1、在半导体生产设备中，往往需要进行冷却，半导体生产设备在冷却状态时如果突然停电导致停水，半导体生产设备由于停水会导致出现过热现象，从而使半导体生产设备出现损坏。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种紧急提供冷却水的方法，用以解决上述提出的在半导体生产设备中，往往需要进行冷却，半导体生产设备在冷却状态时如果突然停电导致停水，半导体生产设备由于停水会导致出现过热现象，从而使半导体生产设备出现损坏的技术问题。
2、为解决上述技术问题，本专利技术公开了一种紧急提供冷却水的方法，包括以下步骤：
3、步骤1：开启压力供水泵，使得冷却水通过进水管流入密封储水罐的密封腔中；
4、步骤2：在密封腔中的水量逐渐增多，密封腔中的空气被挤压至密封腔的上侧，气压逐渐增大；
5、步骤3：在密封腔和气压达到目标压力值后，出水口的压力堵件打开，冷却水经出水口进入出水管，直到出水管的出水量和进水管的进水量相同；
6、步骤4：密封腔中的水通过出水管向待冷却半导体流动；
7、步骤5：在压力供水泵无法工作时，压力堵件自动打开，在密封腔中的水压和气压作用下，密封腔中储存的冷却水通过出水管出水管继续向待冷却半导体流动。
8、优选的，密封储水罐的右端上侧安装有压力表，压力表与密封储水罐内部的密封腔连通。
9、优选的，密封储水罐的左端中部设有进水口，密封腔通过进水口与进
10、优选的，密封储水罐的下端设有出水口，密封腔通过出水口与出水管连通，出水管与密封储水罐的下端固定连接。
11、优选的，压力堵件包括进水口下侧连通的导向槽，导向槽设置在密封储水罐的左端内部，密封储水罐的左端前侧设有滑动槽，滑动槽与导向槽连通，导向槽中滑动设有导向块，滑动槽中滑动设有滑动块，滑动块和滑动槽之间固定设有弹簧杆一，导向块的前端与滑动块固定连接，滑动块穿过滑动槽并与齿条一固定连接，齿条一与齿轮一啮合，齿轮一转动设置在密封储水罐的前端。
12、优选的，压力堵件还包括出水口中设置的堵板，堵板与转动轴固定连接的，转动轴转动设置在放置槽中，放置槽与出水口连通，转动轴贯穿放置槽的前端与齿轮二固定连接，齿轮二的右侧与齿条二啮合，齿条二沿上下方向滑动设置在密封储水罐的前端，齿条二的下端与弹簧杆三固定连接。
13、优选的，齿轮二的下侧与齿条四啮合，齿条四与弹簧杆二固定连接，弹簧杆二与连接块固定连接，连接块沿上下方向滑动设置在密封储水罐的前端，连接块与齿条三固定连接，齿条三与齿轮一啮合。
14、优选的，还包括储能组件，储能组件包括密封储水罐左端上侧设置的出风口一、空腔和出风口二，密封腔依次通过出风口一、空腔和出风口二与外界连通。
15、优选的，空腔中转动设有导向轴，导向轴周向均匀布设有若干导风叶片，且导风叶片与空腔的侧壁接触，导向轴贯穿空腔的上端并与带轮一固定连接，带轮一通过传送带与带轮二连接，带轮二与连接轴固定连接，连接轴与发条固定连接，发条安装在密封储水罐的上端。
16、优选的，连接轴贯穿密封储水罐的上端进入连接槽中并与螺纹杆固定连接，螺纹杆与螺纹套螺纹连接，螺纹套与密封板固定连接，密封板的侧端与密封腔接触，密封腔的上端连通有连接槽。
17、与现有技术相比，本专利技术具有如下有益效果：
18、对半导体设备进行冷却，在出现断电或者压力供水泵损坏后，压力供水泵无法通过进水管向密封腔中供水时，压力堵件自动打开，不再对出水口进行封堵，在水的压力和气压作用下，密封腔中储存的冷却水通过出水管继续向待冷却半导体流动，避免密封腔中不再进水后，能够继续向半导体设备提供冷取水，避免半导体设备出现过热现象，解决了在半导体生产设备中，往往需要进行冷却，半导体生产设备在冷却状态时如果突然停电导致停水，半导体生产设备由于停水会导致出现过热现象，从而使半导体生产设备出现损坏的技术问题。
19、下面通过附图和实施例，对本专利技术的技术方案做进一步的详细描述。
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1.一种紧急提供冷却水的方法，其特征在于：包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种紧急提供冷却水的方法，其特征在于：密封储水罐（1）的右端上侧安装有压力表（8），压力表（8）与密封储水罐（1）内部的密封腔（2）连通。
3.根据权利要求2所述的一种紧急提供冷却水的方法，其特征在于：密封储水罐（1）的左端中部设有进水口（5），密封腔（2）通过进水口（5）与进水管（3）连通，进水管（3）上安装有单向阀（4），进水管（3）的进水口与压力供水泵连通，进水管（3）与密封储水罐（1）的左端固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种紧急提供冷却水的方法，其特征在于：密封储水罐（1）的下端设有出水口（6），密封腔（2）通过出水口（6）与出水管（7）连通，出水管（7）与密封储水罐（1）的下端固定连接。
5.根据权利要求4所述的一种紧急提供冷却水的方法，其特征在于：压力堵件包括进水口（5）下侧连通的导向槽（10），导向槽（10）设置在密封储水罐（1）的左端内部，密封储水罐（1）的左端前侧设有滑动槽（13），滑动槽（13）与导向槽（10）连通，导向槽（1
6.根据权利要求5所述的一种紧急提供冷却水的方法，其特征在于：压力堵件还包括出水口（6）中设置的堵板（23），堵板（23）与转动轴（21）固定连接的，转动轴（21）转动设置在放置槽（24）中，放置槽（24）与出水口（6）连通，转动轴（21）贯穿放置槽（24）的前端与齿轮二（20）固定连接，齿轮二（20）的右侧与齿条二（22）啮合，齿条二（22）沿上下方向滑动设置在密封储水罐（1）的前端，齿条二（22）的下端与弹簧杆三固定连接。
7.根据权利要求6所述的一种紧急提供冷却水的方法，其特征在于：齿轮二（20）的下侧与齿条四（19）啮合，齿条四（19）与弹簧杆二（18）固定连接，弹簧杆二（18）与连接块（17）固定连接，连接块（17）沿上下方向滑动设置在密封储水罐（1）的前端，连接块（17）与齿条三（16）固定连接，齿条三（16）与齿轮一（15）啮合。
8.根据权利要求3所述的一种紧急提供冷却水的方法，其特征在于：还包括储能组件，储能组件包括密封储水罐（1）左端上侧设置的出风口一（27）、空腔（38）和出风口二（28），密封腔（2）依次通过出风口一（27）、空腔（38）和出风口二（28）与外界连通。
9.根据权利要求8所述的一种紧急提供冷却水的方法，其特征在于：空腔（38）中转动设有导向轴（26），导向轴（26）周向均匀布设有若干导风叶片（25），且导风叶片（25）与空腔（38）的侧壁接触，导向轴（26）贯穿空腔（38）的上端并与带轮一（29）固定连接，带轮一（29）通过传送带（30）与带轮二（31）连接，带轮二（31）与连接轴（32）固定连接，连接轴（32）与发条（33）固定连接，发条（33）安装在密封储水罐（1）的上端。
10.根据权利要求9所述的一种紧急提供冷却水的方法，其特征在于：连接轴（32）贯穿密封储水罐（1）的上端进入连接槽（34）中并与螺纹杆（35）固定连接，螺纹杆（35）与螺纹套（36）螺纹连接，螺纹套（36）与密封板（37）固定连接，密封板（37）的侧端与密封腔（2）接触，密封腔（2）的上端连通有连接槽（34）。
...【技术特征摘要】
1.一种紧急提供冷却水的方法，其特征在于：包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种紧急提供冷却水的方法，其特征在于：密封储水罐（1）的右端上侧安装有压力表（8），压力表（8）与密封储水罐（1）内部的密封腔（2）连通。
3.根据权利要求2所述的一种紧急提供冷却水的方法，其特征在于：密封储水罐（1）的左端中部设有进水口（5），密封腔（2）通过进水口（5）与进水管（3）连通，进水管（3）上安装有单向阀（4），进水管（3）的进水口与压力供水泵连通，进水管（3）与密封储水罐（1）的左端固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种紧急提供冷却水的方法，其特征在于：密封储水罐（1）的下端设有出水口（6），密封腔（2）通过出水口（6）与出水管（7）连通，出水管（7）与密封储水罐（1）的下端固定连接。
5.根据权利要求4所述的一种紧急提供冷却水的方法，其特征在于：压力堵件包括进水口（5）下侧连通的导向槽（10），导向槽（10）设置在密封储水罐（1）的左端内部，密封储水罐（1）的左端前侧设有滑动槽（13），滑动槽（13）与导向槽（10）连通，导向槽（10）中滑动设有导向块（9），滑动槽（13）中滑动设有滑动块（11），滑动块（11）和滑动槽（13）之间固定设有弹簧杆一（12），导向块（9）的前端与滑动块（11）固定连接，滑动块（11）穿过滑动槽（13）并与齿条一（14）固定连接，齿条一（14）与齿轮一（15）啮合，齿轮一（15）转动设置在密封储水罐（1）的前端。
6.根据权利要求5所述的一种紧急提供冷却水的方法，其特征在于：压力堵件还包括出水口（6）中设置的堵板（23），堵板（23）与转动轴（21）固定连接的，转动轴（21）转动设置在放置槽（24）中，放置槽（24）与出水口（6）连通，转动轴（21）...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘祥林，石超，李成明，杨少延，崔草香，朱瑞平，郭柏君，陈兆显，李晓东，
申请(专利权)人：国鲸合创青岛科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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