真空泵制造技术

技术编号：43518100 阅读：4 留言：0更新日期：2024-12-03 12:08

提供一种能够充分地防止气体向能够使旋转轴旋转的电装部的收容部的流入的真空泵。真空泵(100)具备：外装体；旋转轴(113)，被外装体内包，旋转自如地被支承；收容部(122)，收容能够使旋转轴(113)旋转的电装部；转子(103)，被配置在收容部(122)的外侧，与旋转轴(113)一体地构成；隔壁部(141)，被配置在转子(103)的外周侧，构成定子的一部分；以及旋转圆板(107c)，从转子(103)的外周面在径向上延伸。通过转子(103)的旋转，排气的气体在转子(103)的外侧流动。旋转圆板(107c)和隔壁部(141)的在轴向上对置的对置面的至少一部分构成防止气体向收容部(122)的流入的非接触密封构造。

全部详细技术资料下载

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及将被排气室内真空排气的真空泵。

技术介绍

1、在半导体、液晶、太阳能电池、led(light emitting diode)等(以下，称作“半导体等”)的制造装置中，使工艺气体流入到真空腔室内，在载置于真空腔室内的晶片等的被处理物形成薄膜，或实施蚀刻处理等。此时，为了将真空腔室内真空排气而使用真空泵。

2、作为真空泵的一种的例如涡轮分子泵通过设置在高速旋转的转子的外周面的旋转叶片与在转子的旋转轴的轴芯方向上交替地配置的固定叶片的相互作用，将被从进气口吸入的工艺气体从排气口排出。

3、在该真空泵中，有可能从进气口吸入的气体的一部分没有被从排气口排出而流入到收容支承转子的旋转轴的磁轴承、将旋转轴旋转驱动的马达等的电装部的收容部侧，侵入到收容部内。如果气体侵入到收容部内，则会发生由于收容部内的电装品腐蚀、或在收容部内反应生成物堆积而给真空泵的功能带来障碍等的不良状况。

4、作为其对策，例如在专利文献1公开了具备抑制气体与收容部的接触的遮蔽部的真空泵。遮蔽部由大致圆环状的部件构成。遮蔽部其上端面与转子圆筒部的底面对置，以其间隔成为微小宽度的方式配设。由此，抑制配设在转子圆筒部的内侧的收容部与气体的接触。

5、现有技术文献

6、专利文献

7、专利文献1：日本特开2021－55673号公报

技术实现思路

1、专利技术要解决的技术问题

2、但是，在具备上述的遮蔽部的真空泵中，由于对置的遮蔽部的上端面

3、本专利技术是鉴于上述实际情况而做出的，目的是提供一种能够充分地防止气体向能够使旋转轴旋转的电装部的收容部的流入的真空泵。

4、用来解决技术问题的手段

5、为了达成上述目的，本专利技术的真空泵具备：外装体；旋转轴，被前述外装体内包，旋转自如地被支承；收容部，收容能够使前述旋转轴旋转的电装部；转子，被配置在前述收容部的外侧，与前述旋转轴一体地构成；定子，被配置在前述转子的外周侧；以及旋转圆板部，从前述转子的外周面在径向上延伸；通过前述转子的旋转，排气的气体在前述转子的外侧流动；其特征在于，前述旋转圆板部和前述定子的在轴向上对置的对置面的至少一部分构成防止前述气体向前述收容部的流入的非接触密封构造。

6、在上述的真空泵中，也可以是，前述旋转圆板部和前述定子的前述对置面中的至少某一方被形成为倾斜面。

7、在上述的真空泵中，也可以是，前述旋转圆板部和前述定子的前述对置面被形成为倾斜面，该倾斜面的倾斜角度相同。

8、在上述的真空泵中，也可以是，前述定子还具备与前述旋转圆板部的前述气体的上游侧在轴向上对置的固定圆板部；在前述旋转圆板部和前述固定圆板部的对置面中的至少某一方设置有用来构成排气机构的第1旋涡状槽；前述非接触密封构造由前述旋转圆板部的为前述气体的下游侧的背面和前述定子的在轴向上对置的对置面构成。

9、在上述的真空泵中，也可以是，前述旋转圆板部构成前述排气机构的最下级。

10、在上述的真空泵中，也可以还具备整流部，所述整流部具有与前述旋转圆板部的为前述气体的下游侧的背面在轴向上对置的对置面。

11、在上述的真空泵中，也可以是，前述整流部是圆板状，并且是在与前述旋转圆板部的对置面设置有第2旋涡状槽的旋涡状槽部。

12、在上述的真空泵中，也可以是，具备圆筒部，所述圆筒部与前述旋转圆板部一体地构成，并且外周面与前述旋涡状槽部的内周面对置；具有设置在前述旋涡状槽部的前述内周面及前述圆筒部的外周面中的至少某一方的螺纹槽；前述非接触密封构造由前述圆筒部的为前述气体的下游侧的面和前述定子的在轴向上对置的对置面构成。

13、在上述的真空泵中，也可以是，前述定子具备被加热机构加热而划定前述气体的流路的流路划定部；前述非接触密封构造由前述旋转圆板部和前述流路划定部的在轴向上对置的对置面构成。

14、专利技术效果

15、根据本专利技术，能够提供能够充分地防止气体向能够使旋转轴旋转的电装部的收容部的流入的真空泵。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种真空泵，具备：

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

3.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

4.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

5.如权利要求4所述的真空泵，其特征在于，

6.如权利要求5所述的真空泵，其特征在于，

7.如权利要求6所述的真空泵，其特征在于，

8.如权利要求7所述的真空泵，其特征在于，

9.如权利要求1至8中任一项所述的真空泵，其特征在于，

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种真空泵，具备：

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

3.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

4.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

5.如权利要求4所述的真空泵，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木春树，谷田部航，
申请(专利权)人：埃地沃兹日本有限公司，
类型：发明
国别省市：

全部详细技术资料下载我是这个专利的主人