【技术实现步骤摘要】
本申请涉及气浮导轨，具体为一种气体静压导轨。
技术介绍
1、气体静压导轨导轨是一种基于气体动静压效应实现无摩擦和无振动平滑移动的导轨系统。它主要由导轨和溜板(或滑块)组成，通过气膜润滑实现两者之间的无接触运动。它主要适用于高速、精密度要求高的机器设备，如半导体制造设备、医疗设备等。
2、例如公开号为cn111590340a的专利，具体公开了一种用于气体静压导轨的主动控制气垫静压滑块模块，通过设置位移传感器测量静压滑块与导轨的配合间隙，实现对气垫间隙的实时控制，以适应导轨加工误差和外部载荷变化，显著提高滑块的运动精度，同时通过调整调节垫片的厚度，可以实现对初始节流比的调节，以适应气体静压导轨的结构参数和工况的变化。
3、在上述专利中，该气体静压导轨通过设置位移传感器实现对气垫间隙的实时控制，适应导轨加工误差，该气体静压导轨虽然能够减少气体进入的误差，但随着时间的推移，滑块上的输气管可能会因老化或磨损等原因失去其密封性，进而导致输气管发生漏气等情况，漏气可能导致滑块与滑轨之间的滑动误差进一步加大，进而影响整个机器设备的性能。例如，在半导体制造设备中，导轨的精度和稳定性对于芯片的生产至关重要，漏气可能导致芯片生产质量下降或设备故障，所以有必要提供一种带有漏气检测装置的气体静压导轨来解决上述问题。
4、需要说明的是，本
技术介绍
部分中公开的以上信息仅用于理解本申请构思的
技术介绍
，并且因此，它可以包含不构成现有技术的信息。
技术实现思路
1、基于现有技术中存
2、本申请解决其技术问题所采用的技术方案是：一种气体静压导轨，包括滑轨，该滑轨上滑动安装有滑块；进气口，该进气口位于滑轨的一侧，进气口上安装有输气管，输气管远离进气口的一端与滑块相连；第一滑道，该第一滑道设置于滑轨的一侧，输气管位于第一滑道的正上方；检测装置，该检测装置包括底板，底板的底部设置有多组转轮，转轮滑动安装在第一滑道上；检测仓，该检测仓的内部设置有中心贯通的容纳孔，容纳孔的直径大于输气管的直径，容纳孔内安装有气敏传感器；其中输气管位于容纳孔内部，检测仓适于在第一滑道上往复移动，并通过气敏传感器对输气管进行漏气检测。
3、进一步的，检测仓的内部设置有输料部，该输料部包括第二滑道，第二滑道安装在底板的顶部，第二滑道的一侧设置有固定电机，固定电机的输出端安装有丝杆，第二滑道远离固定电机的一侧设置有轴承座，丝杆远离固定电机的一端安装在轴承座内；第二滑道顶部滑动连接有支架，支架的底部设置有螺纹套，该螺纹套内具有与丝杆相适配的螺纹，螺纹套与丝杆螺纹连接；固定套，固定套安装在的中心设置有贯通的通孔，通孔与容纳孔同圆心设置，通孔的尺寸与容纳孔的尺寸相适配，固定套内依次放置有多组喉箍。
4、进一步的，固定套的底部的一侧设置有缺口，底板上固定安装有推块，推块的尺寸小于缺口的尺寸，推块的一侧朝向缺口延伸设置。
5、进一步的，固定套上远离缺口的一侧设置有放置板。
6、进一步的，输料部的一侧设置有拉伸部，拉伸部包括两组相对设置的第三滑道，第三滑道上滑动安装有气动块，气动块的顶部设置有支撑架，支撑架的顶部设置有夹爪。
7、进一步的，支撑架的内侧设置为弧形，两组支撑架相互靠近时，两组支撑架的内侧相互拼合组成一圆形的放置腔，放置腔的尺寸与喉箍的尺寸相适配。
8、进一步的，支撑架的内侧设置有挡块。
9、进一步的，喉箍由卡块与钢带组成，钢带的内侧设置有橡胶制成的密封垫。
10、进一步的，检测装置通过plc控制系统所控制。
11、进一步的，进气口的一侧固定安装有旋转电机，旋转电机的输出端上通过联轴器安装有绕线架，绕线架适于在旋转电机的带动下转动，输气管缠绕收纳在绕线架上。
12、本申请的有益效果是：本申请提供的一种气体静压导轨，通过设置检测装置，使得输气管在发生漏气时可及时被发现，同时通过设置套环组件，使得漏气点可被及时封堵，从而有效控制漏气情况，保障系统安全稳定运行。
13、除了上面所描述的目的、特征和优点之外，本申请还有其它的目的、特征和优点。下面将参照图，对本申请作进一步详细的说明。
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1.一种气体静压导轨，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的一种气体静压导轨，其特征在于：所述检测仓(34)的内部设置有输料部(41)，该输料部(41)包括第二滑道(42)，所述第二滑道(42)安装在所述底板(33)的顶部，所述第二滑道(42)的一侧设置有固定电机(43)，所述固定电机(43)的输出端安装有丝杆(44)，所述第二滑道(42)远离所述固定电机(43)的一侧设置有轴承座(45)，所述丝杆(44)远离所述固定电机(43)的一端安装在所述轴承座(45)内；
3.根据权利要求2所述的一种气体静压导轨，其特征在于：所述固定套(51)的底部的一侧设置有缺口(511)，所述底板(33)上固定安装有推块(53)，所述推块(53)的尺寸小于所述缺口(511)的尺寸，所述推块(53)的一侧朝向所述缺口(511)延伸设置。
4.根据权利要求3所述的一种气体静压导轨，其特征在于：所述固定套(51)上远离所述缺口(511)的一侧设置有放置板(54)。
5.根据权利要求2所述的一种气体静压导轨，其特征在于：所述输料部(41)的一侧设置有拉伸
6.根据权利要求5所述的一种气体静压导轨，其特征在于：所述支撑架(63)的内侧设置为弧形，两组所述支撑架(63)相互靠近时，两组支撑架(63)的内侧相互拼合组成一圆形的放置腔，所述放置腔的尺寸与所述喉箍(52)的尺寸相适配。
7.根据权利要求6所述的一种气体静压导轨，其特征在于：所述支撑架(63)的内侧设置有挡块(64)。
8.根据权利要求2所述的一种气体静压导轨，其特征在于：所述喉箍(52)由卡块与钢带组成，所述钢带的内侧设置有橡胶制成的密封垫。
9.根据权利要求6所述的一种气体静压导轨，其特征在于：所述检测装置(32)通过PLC控制系统所控制。
10.根据权利要求1所述的一种气体静压导轨，其特征在于：所述进气口(21)的一侧固定安装有旋转电机，所述旋转电机的输出端上通过联轴器安装有绕线架(23)，所述绕线架(23)适于在所述旋转电机的带动下转动，所述输气管(22)缠绕收纳在所述绕线架(23)上。
...【技术特征摘要】
1.一种气体静压导轨，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的一种气体静压导轨，其特征在于：所述检测仓(34)的内部设置有输料部(41)，该输料部(41)包括第二滑道(42)，所述第二滑道(42)安装在所述底板(33)的顶部，所述第二滑道(42)的一侧设置有固定电机(43)，所述固定电机(43)的输出端安装有丝杆(44)，所述第二滑道(42)远离所述固定电机(43)的一侧设置有轴承座(45)，所述丝杆(44)远离所述固定电机(43)的一端安装在所述轴承座(45)内；
3.根据权利要求2所述的一种气体静压导轨，其特征在于：所述固定套(51)的底部的一侧设置有缺口(511)，所述底板(33)上固定安装有推块(53)，所述推块(53)的尺寸小于所述缺口(511)的尺寸，所述推块(53)的一侧朝向所述缺口(511)延伸设置。
4.根据权利要求3所述的一种气体静压导轨，其特征在于：所述固定套(51)上远离所述缺口(511)的一侧设置有放置板(54)。
5.根据权利要求2所述的一种气体静压导轨，其特征在于：所述输料部(41)的一侧设置有拉伸部(6)，所述拉伸部(6)包括两组相对设...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑良钢，陈铮，周志科，储浩炜，
申请(专利权)人：江苏领臣精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：
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