【技术实现步骤摘要】
实施方式涉及一种对溅射工艺中生成的等离子体进行监测的等离子体监测系统。
技术介绍
1、随着信息技术的发展，作为用户和信息之间的连接媒介的显示装置的重要性日益显著。例如，诸如液晶显示装置(lcd)、有机发光显示装置(oled)、等离子体显示装置(pdp)、量子点显示装置等的各种类型的显示装置广泛地用于各种领域中。
2、显示装置可以包括形成在衬底上的多个薄膜。用于形成薄膜的方法可以包括化学气相沉积(cvd)、物理气相沉积(pvd)等。在这些方法之中，pvd可以包括溅射工艺、热蒸发工艺、电子束蒸发工艺等。
技术实现思路
1、溅射工艺具有无关于衬底的材料容易获得薄膜的期望特征，并且被广泛地用于显示装置的制造工艺中。然而，随着显示装置的尺寸变得更大，形成薄膜的方法需要更精密。具体地，薄膜的均匀性是决定显示装置的质量或性能的重要因素，并且正在进行各种尝试以改善薄膜的均匀性。
2、实施方式提供了一种等离子体监测系统。
3、根据本公开的实施方式的等离子体监测系统可以包括闸阀、观察口部和光学发射光谱器。在这样的实施方式中，闸阀设置在室的第一侧上，并且与等离子体监测操作配合地打开或关闭。在这样的实施方式中，观察口部设置在室的外部并且包括多个光透射部分。在这样的实施方式中，光学发射光谱器设置在室的外部，并且通过接收通过观察口部的多个光透射部分中的至少一个透射的等离子体光来监测等离子体。
4、在实施方式中，闸阀可以仅在等离子体监测操作期间打开。
6、在实施方式中，观察口部还可以包括与多个光透射部分间隔开的冷阱部分，并且冷阱部分聚集和收集等离子体颗粒。
7、在实施方式中，等离子体监测系统还可以包括设置在观察口部和室之间的挡板。
8、在实施方式中，在挡板中可以有限定第三开口，并且第三开口可以与多个光透射部分中的至少一个重叠。
9、在实施方式中，等离子体监测系统还可以包括设置在观察口部和光学发射光谱器之间的光学透镜。
10、在实施方式中，光学透镜可以是凸透镜。
11、在实施方式中，多个光透射部分可以在观察口部中以圆形阵列的形式布置。
12、在实施方式中，多个光透射部分可以在观察口部中以n×m矩阵的形式布置，其中n是1或更大的自然数，并且m是2或更大的自然数。
13、根据本公开的实施方式的等离子体监测系统可以包括闸阀、观察口部、挡板和光学发射光谱器。在这样的实施方式中，闸阀设置在室的第一侧上，并且与等离子体监测操作配合地打开或关闭。在这样的实施方式中，观察口部设置在室的外部并且包括多个光透射部分。在这样的实施方式中，挡板设置在观察口部和腔之间，并且挡板能够旋转或线性地移动。在这样的实施方式中，光学发射光谱器设置在室的外部，并且通过接收透射通过观察口部的多个光透射部分中的至少一个的等离子体光来监测等离子体。
14、在实施方式中，闸阀可以仅在等离子体监测操作期间打开。
15、在实施方式中，观察口部还可以包括与多个光透射部分隔开的冷阱部分，并且冷阱部分可以聚集和收集等离子体颗粒。
16、在实施方式中，在挡板中可以限定第三开口，并且第三开口可以与多个光透射部分中的至少一个重叠。
17、在实施方式中，挡板可以设置成多个，以分别与多个光透射部分重叠。
18、在实施方式中，挡板可以连接到旋转或线性地移动挡板的驱动装置。
19、在实施方式中，等离子体监测系统还可以包括设置在观察口部和光学发射光谱器之间的光学透镜。
20、在实施方式中，光学透镜可以是凸透镜。
21、在实施方式中，多个光透射部分可以在观察口部中以圆形阵列的形式布置。
22、在实施方式中，多个光透射部分可以在观察口部中以n×m矩阵的形式布置，其中n是1或更大的自然数，并且m是2或更大的自然数。
23、根据本公开的实施方式，等离子体监测系统可以包括：闸阀，设置在室的第一侧上，并且被配置为与等离子体监测操作配合地打开或关闭；观察口部；以及光学发射光谱器。闸阀可以仅在等离子体监测状态下打开，并且在关闭状态下将观察口部与等离子体颗粒屏蔽开，从而防止等离子体颗粒沉积在观察口部上。因此，等离子体监测系统可以在进行溅射工艺时持续监测等离子体。
24、在这样的实施方式中，等离子体监测系统还可以包括设置在室的外部并且包括多个光透射部分的观察口部。多个光透射部分之中的至少一个(一个光透射部分)可以用于监测等离子体。在等离子体监测工艺中，当等离子体颗粒沉积在一个光透射部分上时，一个光透射部分的透光率可能降低。在这种情况下，等离子体监测系统可以通过用另一光透射部分代替一个光透射部分来持续监测等离子体。
25、在这样的实施方式中，等离子体监测系统还可以包括设置在室和观察口部之间的挡板。挡板可以遮蔽多个光透射部分之中的除至少用于等离子体监测的所述一个光透射部分之外的其它光透射部分。挡板可以防止等离子体颗粒沉积在剩余的光透射部分上。因此，等离子体监测系统可以在进行溅射工艺时持续监测等离子体。
26、在这样的实施方式中，等离子体监测系统还可以包括设置在观察口部和光学发射光谱器之间的光学透镜。光学透镜可以是凸透镜。因此，等离子体监测系统可以测量位于一定距离或更远处的等离子体源。
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1.等离子体监测系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的等离子体监测系统，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的等离子体监测系统，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的等离子体监测系统，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求1所述的等离子体监测系统，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求1所述的等离子体监测系统，其特征在于，所述多个光透射部分在所述观察口部中以圆形阵列的形式布置。
7.根据权利要求1所述的等离子体监测系统，其特征在于，所述多个光透射部分在所述观察口部中以n×m矩阵形式布置，其中，n是1或更大的自然数，并且m是2或更大的自然数。
8.等离子体监测系统，其特征在于，包括：
9.根据权利要求8所述的等离子体监测系统，其特征在于，
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【技术特征摘要】
1.等离子体监测系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的等离子体监测系统，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的等离子体监测系统，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的等离子体监测系统，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求1所述的等离子体监测系统，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求1所述的等离子体监测系统，其特征在于，所述多个光透射部...
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