【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及混合气体充装，具体涉及一种混合气体收集充装装置。
技术介绍
1、在半导体行业，硅烷(sih4)、氢气(h2)和氮气(n2)的混合气体具有多种重要应用，尤其是在薄膜沉积、表面处理和气相沉积等工艺中，使这些混合气体广泛用于化学气相沉积过程，以在基底上沉积硅薄膜，这是制造半导体器件(如晶体管和太阳能电池)的关键步骤，这些气体的组合可以实现高纯度、高性能的材料沉积，满足现代半导体器件对材料质量和性能的高要求。
2、在进行混合气体使用以及运输过程中，一般通过将其充装到气瓶里进行保存，在充装过程中，需要对充装用的气瓶进行固定，现有技术中，一般是通过固定架，对气瓶进行固定，在固定过程中，因气瓶一般为钢制气瓶，需要将其移动至固定架的固定位置，此过程比较费力，并且容易产生气瓶的碰撞与磨损。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种混合气体收集充装装置，以解决现有技术中的上述不足之处。
2、为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
3、一种混合气体收集充装装置，包括气瓶和两个底座，两个所述底座之间滑动设置有放置座，所述放置座上设置有放置槽，且所述放置座上固定设置有称重装置；
4、所述放置座上固定设置有中轴，所述底座上设置有下沉槽，且所述中轴位于下沉槽内时，放置座处于倾斜状态；
5、所述底座上固定设置有固定架，所述固定架上滑动设置有用于固定气瓶的夹持件，所述夹持件与固定架之间设置有第一弹簧，所述第一弹簧的两端分别与夹持件
6、还包括蓄力组件，其用于在放置座滑动时，对夹持件进行蓄力，并在放置座滑动完成后，对夹持件进行释放。
7、优选的，所述固定架上转动设置有第一齿轮，所述夹持件上滑动设置有齿条，所述第一齿轮与齿条啮合传动。
8、优选的，所述蓄力组件包括转动设置在底座上的转动杆，所述转动杆上转动设置有转动环，所述转动杆与转动环之间设置有第一扭簧。
9、优选的，所述转动环上设置转动设置有棘齿块，所述棘齿块与转动环之间设置有第二扭簧，所述第一齿轮上固定设置有棘齿圈，所述棘齿块与棘齿圈卡接。
10、优选的，所述转动杆上固定设置有第二齿轮，所述底座上滑动设置有齿板，所述第二齿轮与齿板啮合传动，且所述齿板与放置座转动连接。
11、优选的，所述固定架上滑动设置有锁止块，所述锁止块与第一齿轮卡接，两个所述锁止块之间固定设置有横杆，所述横杆与气瓶抵接。
12、优选的，所述锁止块与固定架之间设置有第三弹簧，所述第三弹簧的两端分别与锁止块和固定架固定连接。
13、优选的，所述固定架上滑动设置有滑动块，所述滑动块上滑动设置有卡块，所述夹持件上设置有卡槽，所述卡块与卡槽卡接，所述卡块上设置有斜面，且所述斜面与夹持件接触；
14、所述卡块与滑动块之间设置有第二弹簧，所述第二弹簧的两端分别与卡块和滑动块固定连接。
15、优选的，所述滑动块上固定设置有推拉块，所述推拉块与齿条滑动连接。
16、优选的，所述推拉块上滚动设置有多个滚珠，多个所述滚珠与齿条接触；
17、所述固定架上转动设置有旋转件，所述旋转件与滑动块螺纹连接。
18、在上述技术方案中，本专利技术提供的一种混合气体收集充装装置具备的有益效果：
19、在对气瓶进行固定时，放置座上的中轴处于下沉槽内，放置座处于倾斜伸出的状态，可以更方便的将气瓶放置在放置座上的放置槽中，在气瓶放置过后，推动气瓶与放置座滑动，中轴在下沉槽中滑动，并脱离下沉槽，使放置座与气瓶变成水平状态，便于对气瓶中充入气体，并且在放置座滑动过程中，被动式的对夹持件进行蓄力，并在气瓶滑动至固定位置后，对夹持件进行释放，使其对气瓶进行夹持，提升了在气瓶固定时的便携性，避免因气瓶重量过大，导致难以移动至固定位置，以及移动过程中气瓶与地面出现碰撞磨损问题，提升将气体充进气瓶时的稳定性。
20、应当理解，前面的一般描述和以下详细描述都仅是示例性和说明性的，而不是用于限制本公开。
21、本申请文件提供本公开中描述的技术的各种实现或示例的概述，并不是所公开技术的全部范围或所有特征的全面公开。
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1.一种混合气体收集充装装置，包括气瓶(1)和两个底座(2)，其特征在于，两个所述底座(2)之间滑动设置有放置座(3)，所述放置座(3)上设置有放置槽(31)，且所述放置座(3)上固定设置有称重装置(34)；
2.根据权利要求1所述的一种混合气体收集充装装置，其特征在于，所述固定架(4)上转动设置有第一齿轮(41)，所述夹持件(6)上滑动设置有齿条(62)，所述第一齿轮(41)与齿条(62)啮合传动。
3.根据权利要求2所述的一种混合气体收集充装装置，其特征在于，所述蓄力组件包括转动设置在底座(2)上的转动杆(5)，所述转动杆(5)上转动设置有转动环(51)，所述转动杆(5)与转动环(51)之间设置有第一扭簧。
4.根据权利要求3所述的一种混合气体收集充装装置，其特征在于，所述转动环(51)上设置转动设置有棘齿块(52)，所述棘齿块(52)与转动环(51)之间设置有第二扭簧，所述第一齿轮(41)上固定设置有棘齿圈(42)，所述棘齿块(52)与棘齿圈(42)卡接。
5.根据权利要求3所述的一种混合气体收集充装装置，其特征在于，所述转动
6.根据权利要求2所述的一种混合气体收集充装装置，其特征在于，所述固定架(4)上滑动设置有锁止块(8)，所述锁止块(8)与第一齿轮(41)卡接，两个所述锁止块(8)之间固定设置有横杆(84)，所述横杆(84)与气瓶(1)抵接。
7.根据权利要求6所述的一种混合气体收集充装装置，其特征在于，所述锁止块(8)与固定架(4)之间设置有第三弹簧(82)，所述第三弹簧(82)的两端分别与锁止块(8)和固定架(4)固定连接。
8.根据权利要求2所述的一种混合气体收集充装装置，其特征在于，所述固定架(4)上滑动设置有滑动块(7)，所述滑动块(7)上滑动设置有卡块(71)，所述夹持件(6)上设置有卡槽(63)，所述卡块(71)与卡槽(63)卡接，所述卡块(71)上设置有斜面(72)，且所述斜面(72)与夹持件(6)接触；
9.根据权利要求8所述的一种混合气体收集充装装置，其特征在于，所述滑动块(7)上固定设置有推拉块(74)，所述推拉块(74)与齿条(62)滑动连接。
10.根据权利要求9所述的一种混合气体收集充装装置，其特征在于，所述推拉块(74)上滚动设置有多个滚珠(75)，多个所述滚珠(75)与齿条(62)接触；
...【技术特征摘要】
1.一种混合气体收集充装装置，包括气瓶(1)和两个底座(2)，其特征在于，两个所述底座(2)之间滑动设置有放置座(3)，所述放置座(3)上设置有放置槽(31)，且所述放置座(3)上固定设置有称重装置(34)；
2.根据权利要求1所述的一种混合气体收集充装装置，其特征在于，所述固定架(4)上转动设置有第一齿轮(41)，所述夹持件(6)上滑动设置有齿条(62)，所述第一齿轮(41)与齿条(62)啮合传动。
3.根据权利要求2所述的一种混合气体收集充装装置，其特征在于，所述蓄力组件包括转动设置在底座(2)上的转动杆(5)，所述转动杆(5)上转动设置有转动环(51)，所述转动杆(5)与转动环(51)之间设置有第一扭簧。
4.根据权利要求3所述的一种混合气体收集充装装置，其特征在于，所述转动环(51)上设置转动设置有棘齿块(52)，所述棘齿块(52)与转动环(51)之间设置有第二扭簧，所述第一齿轮(41)上固定设置有棘齿圈(42)，所述棘齿块(52)与棘齿圈(42)卡接。
5.根据权利要求3所述的一种混合气体收集充装装置，其特征在于，所述转动杆(5)上固定设置有第二齿轮(53)，所述底座(2)上滑动设置有齿板(33)，所述第二齿轮(53)与齿板(33)啮合传动，且所...
【专利技术属性】
技术研发人员：杜宇，管仲，文瞳媛，忻俊杰，郭立维，
申请(专利权)人：安徽华中半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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