【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及空间光调制装置、加工装置和位置推定方法。
技术介绍
1、已知有通过光的照射对被加工物进行加工的加工装置(非专利文献1等)。该加工装置通过相位图案对光进行调制，并向被加工物照射调制后的光，由此加工被加工物。
2、现有技术文献
3、非专利文献
4、非专利文献1：伊藤晴康、长谷川智士、早崎芳夫、丰田晴义，“使用空间光相位调制器的全息激光加工(空間光位相変調器を用いたホログラフィックレーザー加工)”，激光研究，第43卷第4号，p.227-232
5、非专利文献2：“sted显微镜中使用空间光调制器进行简单系统对准和基本像差传感的二元相位掩模(binary phase masks for easy system alignment and basicaberration sensing with spatial light modulators in sted microscopy)”，科学报告7，文章编号：15699(2017)
技术实现思路
1、专利技术所要解决的问题
2、加工装置在显示相位图案的空间光调制部调制光。空间光调制部例如包含空间光调制器(slm：spatial light modulator)。利用由slm形成的相位图案调制光。例如，利用在slm形成的cgh(computer-generated hologram：计算机生成的全息图)，向被加工物照射调制后的光。在这样的结构中，产生了朝向相位图案的入射光
3、在非专利文献1中，为了调节在空间光调制部显示的相位图案，利用拍摄装置拍摄并观察利用cgh形成的像。在该拍摄装置中，拍摄在相位图案调制后的光的ffp(far fieldpattern：远场图)。在该结构中，能够根据在空间光调制部显示的cgh判定是否形成了像，不过难以确定光相对于空间光调制部的入射位置。因此，在朝向相位图案的入射光与相位图案产生了偏差的情况下，难以调节相位图案的入射光与相位图案的位置关系。
4、在非专利文献2中，记载有由空间光调制部作为ffp成形点扩散函数，观察成形的点扩散函数的像的情况。在该结构中，即使确定了起因于光学系统的未对准等的像差，也难确定光相对于空间光调制部的入射位置。
5、还考虑由拍摄装置拍摄朝向相位图案的入射光的nfp(near field pattern：近场图)，观察拍摄图像内的nfp的移动。拍摄图像内的nfp和对空间光调制部的入射光一起相对地移动。因此，如果拍摄图像的视野范围与空间光调制部的位置严格对应，也能够根据拍摄图像内的nfp的位置确定入射光相对于空间光调制部的入射位置。但是，由于振动或环境温度变化等外在原因，可能在拍摄图像的视野范围与空间光调制部的位置之间产生偏差。因此，为了从nfp的拍摄图像推定入射光相对于空间光调制部的入射位置，需要进行拍摄图像的视野范围与空间光调制部的位置的校准。
6、本专利技术的各方式的目的在于，提供能够容易地推定光相对于空间光调制部的入射位置的空间光调制装置、加工装置和位置推定方法。
7、用于解决问题的方式
8、本专利技术的一个方式的空间光调制装置具备空间光调制部、图案设定部、检测部和推定部。空间光调制部显示对入射的光进行调制的相位图案，通过相位图案调制光。图案设定部设定在空间光调制部显示的相位图案。检测部检测在空间光调制部调制后的光。推定部基于检测部中的检测结果，推定光相对于空间光调制部的入射位置。由图案设定部设定的相位图案包含以由在该相位图案调制后的光在检测部形成多个聚光点的方式构成的相位图案。检测部检测上述聚光点的强度信息。推定部基于在检测部检测到的多个聚光点的强度信息的比较结果，推定光相对于空间光调制部的入射位置。
9、在上述一个方式中，由图案设定部设定的相位图案包含以由在空间光调制部调制后的光在检测部形成多个聚光点的方式构成的相位图案。推定部基于多个聚光点的强度信息的比较结果，推定光相对于空间光调制部的入射位置。本申请的专利技术者发现，根据多个聚光点的强度信息的比较结果，能够容易地推定相位图案中的光的入射位置。根据该结构，能够容易地推定光相对于空间光调制部的入射位置。
10、在上述一个方式中，推定部也可以基于朝向相位图案的入射光与相位图案的位置关系，推定光相对于空间光调制部的入射位置。上述位置关系也可以是多个聚光点中至少2个聚光点的强度成为彼此相等的位置关系。在这种情况下，能够更加准确地推定光相对于空间光调制部的入射位置。
11、在上述一个方式中，推定部也可以基于由分别入射至相位图案中在第一方向上彼此相邻的一对区域的光形成的一对聚光点的强度信息的比较结果，和由分别入射至相位图案中在第二方向上彼此相邻的一对区域的光形成的一对聚光点的强度信息的比较结果，推定光相对于空间光调制部的入射位置。第二方向与第一方向交叉。在这种情况下，能够在第一方向和第二方向两个方向上推定光相对于空间光调制部的入射位置。其结果是，能够更加准确地推定光相对于空间光调制部的入射位置。
12、在上述一个方式中，空间光调制装置也可以进一步具备位置调节部。位置调节部也可以基于聚光点的强度信息，调节朝向相位图案的入射光与相位图案的位置关系。检测部也可以在由位置调节部调节上述位置关系后，进一步检测多个聚光点的强度信息。推定部也可以基于在调节上述位置关系后检测到的多个聚光点的强度信息的比较结果，推定光相对于空间光调制部的入射位置。在这种情况下，能够使用调节朝向相位图案的入射光与相位图案的位置关系后的强度信息，进一步调节该位置关系。因此，能够更加容易且准确地调节朝向相位图案的入射光与相位图案的位置关系。
13、在上述一个方式中，位置调节部也可以在位置关系的调节中，执行在空间光调制部显示的相位图案的变更和朝向相位图案的入射光的光轴位置的变更的至少1个。在这种情况下，能够更加容易地朝向相位图案的入射光与相位图案的位置关系调节。
14、在上述一个方式中，也可以进一步具备基于聚光点的强度信息调节朝向相位图案的入射光与相位图案的位置关系的位置调节部。位置调节部也可以在位置关系的调节中，执行在空间光调制部显示的相位图案的变更和朝向相位图案的入射光的光轴位置的变更的至少1个。在这种情况下，能够更加容易地调节朝向相位图案的入射光与相位图案的位置关系。
15、在上述一个方式中，位置调节部也可以基于多个聚光点的强度信息，以多个聚光点的强度比的值接近1的方式调节上述位置关系。在这种情况下，更加容易且准确地推定光相对于空间光调制部的入射位置。
16、在上述一个方式中，图案设定部也可以作为以在检测部形成多个聚光点的方式构成的相位图案，设定具有相互不同的结构的多个相位图案。空间光调制部也可以依次显示多个相位图案。推定部也可以基于由多个相位图案的各个形成的聚光点的强度信息，推定空间光调制部中的光的入射位置。在这种情况下，能够更加容易且准确地调节朝向相位本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种空间光调制装置，其中：
2.如权利要求1所述的空间光调制装置，其中：
3.如权利要求1或2所述的空间光调制装置，其中：
4.如权利要求1～3中任一项所述的空间光调制装置，其中：
5.如权利要求4所述的空间光调制装置，其中：
6.如权利要求1～3中任一项所述的空间光调制装置，其中：
7.如权利要求4或5所述的空间光调制装置，其中：
8.如权利要求1～7中任一项所述的空间光调制装置，其中：
9.如权利要求8所述的空间光调制装置，其中：
10.如权利要求1～9中任一项所述的空间光调制装置，其中：
11.一种加工装置，其中：
12.如权利要求11所述的加工装置，其中：
13.一种位置推定方法，其中：
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种空间光调制装置，其中：
2.如权利要求1所述的空间光调制装置，其中：
3.如权利要求1或2所述的空间光调制装置，其中：
4.如权利要求1～3中任一项所述的空间光调制装置，其中：
5.如权利要求4所述的空间光调制装置，其中：
6.如权利要求1～3中任一项所述的空间光调制装置，其中：
7.如权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：酒井浩一，小林觉，川合一希，关根尊史，加藤义则，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：
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