【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体生产，尤其涉及一种装载腔室、外延生长设备以及托盘取放方法。
技术介绍
1、外延生长设备的工作过程是将晶圆送入反应室中进行外延反应，再将反应完成的晶圆送出并送入新的晶圆继续进行外延反应。在相关技术中，通常由人工将晶盒中的晶圆放置在装载腔室的托盘上，然后将托盘连同晶圆一起送入反应室中进行外延反应，待晶圆完成外延反应后，将反应完成的晶圆连同送回装载腔室，并从装载腔室取出晶圆并存放在晶盒中，同时将新的晶圆放入装载腔室并继续送入反应室中进行外延反应；在此过程中，需要打开装载腔室和反应室的密封腔进行更换晶圆，在更换好晶圆后需要用氩气吹扫，并重新把装载腔室、反应室抽成真空环境。
2、然而，目前的装载腔室只能放置一片晶圆，每做一片都需更换晶圆，更换好晶圆后需要用氩气吹扫，并重新把装载腔室、反应室抽成真空环境，人工换片的时间间隔短，效率低、运行成本高、不方便使用。
技术实现思路
1、本申请主要解决的技术问题是提供一种装载腔室、外延生长设备以及托盘取放方法，能够提高工作效率。
2、为解决上述技术问题，本申请采用的第一个技术方案提供一种装载腔室，所述装载腔室包括：腔室主体，所述腔室主体包括底板及与所述底板连接的侧壁，所述底板和所述侧壁形成容置腔，所述侧壁上开设有取料口；盖板，所述盖板设置于所述侧壁远离所述底板的一侧，所述盖板用于封闭所述容置腔；至少一个托盘承载组，所述托盘承载组设置于所述容置腔内；所述托盘承载组包括至少两个托盘载台，所述托盘载台用于承载外延托盘，所
3、其中，所述托盘承载组中的所有所述托盘载台均为固定式载台，所有所述托盘载台的承载面在具有所述取料口一侧的所述侧壁上的正投影均位于所述取料口内。
4、其中，所述至少两个托盘载台包括一个固定式载台和至少一个升降式载台，所述固定式载台与所述取料口之间的距离大于所述升降式载台与所述取料口之间的距离；所述固定式载台的承载面在具有所述取料口一侧的所述侧壁上的正投影位于所述取料口内；所述升降式载台具有托举状态和避位状态；所述升降式载台的承载面在所述托举状态时的高度，大于所述升降式载台的承载面在所述避位状态时的高度，且等于所述固定式载台的承载面的高度；当所述外部机械手伸入所述容置腔内取放某个升降式载台时，该升降式载台处于托举状态，且该升降式载台与所述取料口之间的所有其他升降式载台处于避位状态；当所述外部机械手伸入所述容置腔内取放所述固定式载台时，所有所述升降式载台处于避位状态。
5、其中，所述固定式载台包括第一承载主体，所述第一承载主体通过第一固定件固定安装在所述底板上；所述第一承载主体的中心开设有第一安装孔，所述第一固定件穿设于所述第一安装孔内，其中，所述第一固定件的第一端与所述底板固定连接，所述第一固定件的第二端位于所述第一安装孔内。
6、其中，所述升降式载台包括第二承载主体和升降组件，所述第二承载主体设置于所述底板的一侧，所述升降组件包括第三传动件和第三驱动件，所述第三传动件的第一端与所述第二承载主体固定连接，以带动所述第二承载主体靠近和远离所述底板；所述第三驱动件与所述第三传动件的第二端连接，用于控制所述第三传动件运动，以使得所述第三传动件带动所述第二承载主体靠近和远离所述底板。
7、其中，所述底板开设有升降通道，所述第三传动件包括支撑套筒，所述支撑套筒插置于所述升降通道内；所述第二承载主体通过第二固定件与所述支撑套筒固定连接；所述第二承载主体的中心开设有第二安装孔，所述第二固定件穿设于所述第二安装孔内，其中，所述第二固定件的第一端与所述支撑套筒固定连接，所述第二固定件的第二端位于所述第二安装孔内；所述第三驱动件的固定端与所述底板固定连接，所述第三驱动件的输出端插置于所述升降通道内，所述第三驱动件的输出端与所述支撑套筒远离所述第二承载主体的一端连接。
8、其中，所述盖板的一端与所述侧壁中的第一侧板铰接；所述装载腔室还包括至少一个开关门组件，所述开关门组件包括第一传动件和第一驱动件，所述第一传动件的第一端与所述盖板连接，以带动所述盖板转动，使所述盖板封闭或打开所述容置腔；所述第一驱动件与所述第一传动件的第二端连接，用于控制所述第一传动件运动，以使得所述第一传动件带动所述盖板转动；其中，所述侧壁中与所述第一侧板相邻的第二侧板开设有条形孔，所述条形孔自所述第二侧板靠近所述盖板的一端向所述第二侧板靠近所述底板的一端延伸，所述第一传动件插置于所述条形孔。
9、为解决上述技术问题，本申请采用的第二个技术方案是提供一种外延生长设备，所述外延生长设备包括上述任意一种装载腔室。
10、为解决上述技术问题，本申请采用的第三个技术方案是提供一种托盘取放方法，所述托盘取放方法应用于上述任意一种装载腔室，所述托盘取放方法包括：接收取放料指令，所述取放料指令包括目标托盘载台的位置信息；根据所述目标托盘载台的位置信息，确定所述目标托盘载台在所述托盘承载组中所处的位置，并使所述托盘承载组中位于所述目标托盘载台与所述取料口之间的所有其他托盘载台的承载面的高度小于所述目标托盘载台的承载面的高度；利用外部机械手通过所述取料口伸入所述容置腔内取放所述目标托盘载台上的外延托盘。
11、其中，所述至少两个托盘载台包括一个固定式载台和至少一个升降式载台，所述固定式载台与所述取料口之间的距离大于所述升降式载台与所述取料口之间的距离；所述固定式载台的承载面在具有所述取料口一侧的所述侧壁上的正投影位于所述取料口内；所述升降式载台具有托举状态和避位状态；所述升降式载台的承载面在所述托举状态时的高度，大于所述升降式载台的承载面在所述避位状态时的高度，且等于所述固定式载台的承载面的高度；所述根据所述目标托盘载台的位置信息，确定所述目标托盘载台在所述托盘承载组中所处的位置，并使所述托盘承载组中位于所述目标托盘载台与所述取料口之间的所有其他托盘载台的承载面的高度小于所述目标托盘载台的承载面的高度，包括：当所述目标托盘载台为升降式载台时，控制所述目标托盘载台处于托举状态，且控制所述目标托盘载台与所述取料口之间的所有其他升降式载台处于避位状态；当所述目标托盘载台为固定式载台时，控制所有所述升降式载台处于避位状态。
12、区别于现有技术的情况，本申请的有益效果是：本申请提供的装载腔室、外延生长设备和托盘取放方法中，装载腔室包括腔室主体、盖板和至少一个托盘承载组，腔室主体包括底板及与底板连接的侧壁，底板和侧壁形成容置腔，侧壁上开设有取料口，盖板设置于侧壁远离底板的一侧，盖板用于封闭容置腔，托盘承载组设置于容置腔内，托盘承载组包括至少两个托盘载台，托盘载台用于承载外本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种装载腔室，其特征在于，所述装载腔室包括：
2.根据权利要求1所述的装载腔室，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的装载腔室，其特征在于，
4.根据权利要求2或3所述的装载腔室，其特征在于，所述固定式载台包括第一承载主体，所述第一承载主体通过第一固定件固定安装在所述底板上；所述第一承载主体的中心开设有第一安装孔，所述第一固定件穿设于所述第一安装孔内，其中，所述第一固定件的第一端与所述底板固定连接，所述第一固定件的第二端位于所述第一安装孔内。
5.根据权利要求3所述的装载腔室，其特征在于，所述升降式载台包括第二承载主体和升降组件，所述第二承载主体设置于所述底板的一侧，所述升降组件包括第三传动件和第三驱动件，所述第三传动件的第一端与所述第二承载主体固定连接，以带动所述第二承载主体靠近和远离所述底板；所述第三驱动件与所述第三传动件的第二端连接，用于控制所述第三传动件运动，以使得所述第三传动件带动所述第二承载主体靠近和远离所述底板。
6.根据权利要求5所述的装载腔室，其特征在于，所述底板开设有升降通道，所述第三传动件包括支
7.根据权利要求1-6任一项所述的装载腔室，其特征在于，所述盖板的一端与所述侧壁中的第一侧板铰接；
8.一种外延生长设备，其特征在于，所述外延生长设备包括权利要求1-7任一项所述的装载腔室。
9.一种托盘取放方法，其特征在于，所述托盘取放方法应用于权利要求1-7任一项所述的装载腔室，所述托盘取放方法包括：
10.根据权利要求9所述的托盘取放方法，其特征在于，所述至少两个托盘载台包括一个固定式载台和至少一个升降式载台，所述固定式载台与所述取料口之间的距离大于所述升降式载台与所述取料口之间的距离；所述固定式载台的承载面在具有所述取料口一侧的所述侧壁上的正投影位于所述取料口内；所述升降式载台具有托举状态和避位状态；所述升降式载台的承载面在所述托举状态时的高度，大于所述升降式载台的承载面在所述避位状态时的高度，且等于所述固定式载台的承载面的高度；
...【技术特征摘要】
1.一种装载腔室，其特征在于，所述装载腔室包括：
2.根据权利要求1所述的装载腔室，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的装载腔室，其特征在于，
4.根据权利要求2或3所述的装载腔室，其特征在于，所述固定式载台包括第一承载主体，所述第一承载主体通过第一固定件固定安装在所述底板上；所述第一承载主体的中心开设有第一安装孔，所述第一固定件穿设于所述第一安装孔内，其中，所述第一固定件的第一端与所述底板固定连接，所述第一固定件的第二端位于所述第一安装孔内。
5.根据权利要求3所述的装载腔室，其特征在于，所述升降式载台包括第二承载主体和升降组件，所述第二承载主体设置于所述底板的一侧，所述升降组件包括第三传动件和第三驱动件，所述第三传动件的第一端与所述第二承载主体固定连接，以带动所述第二承载主体靠近和远离所述底板；所述第三驱动件与所述第三传动件的第二端连接，用于控制所述第三传动件运动，以使得所述第三传动件带动所述第二承载主体靠近和远离所述底板。
6.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹建伟，龚碧瑶，傅林坚，朱亮，刘毅，谢文，翟硕，
申请(专利权)人：浙江求是半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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