３００ｍｍ立式氧化炉炉体炉丝固定装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种３００ｍｍ立式氧化炉炉体炉丝固定装置，该固定装置由数个绝缘子组构成，每个绝缘子组设有支撑杆、顶部绝缘子、中部绝缘子、底部绝缘子，该顶部绝缘子、中部绝缘子、底部绝缘子穿在所述支撑杆上，上下相邻两个绝缘子的凹凸部分相互吻合，并各设有一个半圆凹槽相对，形成空隙，该空隙的直径大于炉丝的直径，炉丝支撑在该绝缘子间的空隙中，支撑杆的上下两端分别固定在氧化炉炉体的顶块和底块上；数个绝缘子组在氧化炉炉体内圆周上均匀分布。本发明专利技术适用于处理３００ｍｍ硅片的立式氧化炉炉体的炉丝固定，加工工艺好。从而很好支撑了炉丝，由于炉丝固定结构科学、合理，从而延长了炉体寿命。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于一种用于300mm硅片热处理的氧化炉设备，具体的是一种用于300mm 硅片氧化处理的立式氧化炉的炉体炉丝固定装置。
技术介绍
氧化炉是用于硅片进行氧化、退火等热处理工艺的半导体设备，现在的氧化炉，大都是卧式结构，其温度均匀性及控温精度不够理想，操作和控制不够精确灵活，自动化程度 低、生产效率和产品质量不够高，不能适应300mm硅片的生产需求。因此，需要提出一种结构改进的立式氧化炉。需要在炉体炉丝引线固定装置上进行全新的设计。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决上述技术问题，提出一种300mm立式氧化炉炉体炉丝固定装置，该装置结构新颖简单适用，固牢性强，对炉丝高温状态的保护结构科学、合理。 本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的300mm立式氧化炉炉体炉丝固定装置，其特征在于该固定装置由数个绝缘子组构成，每个绝缘子组设有支撑杆、顶部绝缘子、中部绝缘子、底部绝缘子，该顶部绝缘子、中部绝缘子、底部绝缘子穿在所述支撑杆上，上下相邻两个绝缘子的凹凸部分相互吻合，并各设有一个半圆凹槽相对，形成空隙，该空隙的直径大于炉丝的直径，炉丝支撑在该绝缘子间的空隙中，支撑杆的上下两端分别固定在氧化炉炉体的顶块和底块上；数个绝缘子组在氧化炉炉体内圆周上均匀分布，顶部绝缘子的厚度在圆周方向上依次减少，相对应的底部绝缘子的厚度则依次增加。 本专利技术的300mm立式氧化炉炉体炉丝固定装置，其绝缘子的设计形式有利于炉丝 加热时的热变形及恢复，有利于加热元件寿命的提高。同时使炉丝的固定更加准确、可靠、 合理。本装置中各绝缘子具有凸缘，凸缘上下相扣，保证各个绝缘子之间没有相对转动，使 炉体的结构更加合理。附图说明 图1是本专利技术的整体结构示意图； 图2是本专利技术的上绝缘子的俯视图； 图3是本专利技术的上绝缘子的侧视图； 图4是本专利技术的中绝缘子的俯视图； 图5是本专利技术的中绝缘子的侧视图； 图6是本专利技术的下绝缘子的俯视图； 图7是本专利技术的下绝缘子的侧视图。具体实施例方式下面结合附图和实施例对本技术作进一步的说明实施例参见附图，300mm立式氧化炉炉体炉丝固定装置，该固定装置由16个绝缘子组构成，每个绝缘子组设有支撑 杆1、 1个顶部绝缘子2、 100个中部绝缘子3、 1个底部绝缘子4，该顶部绝缘子、中部绝缘子、 底部绝缘子穿在所述支撑杆上，上下相邻两个绝缘子的凹凸部分相互吻合，并各设有一个 半圆凹槽相对，形成空隙，该空隙的直径大于炉丝6的直径，炉丝支撑在该绝缘子间的空隙 中，支撑杆的上下两端分别固定在氧化炉炉体的顶块5和底块5. 1上；16个绝缘子组在氧 化炉炉体内圆周上均匀分布，顶部绝缘子的厚度在圆周方向上依次减少，相对应的底部绝 缘子的厚度则依次增加，以保证炉体上下底面水平。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种３００ｍｍ立式氧化炉炉体炉丝固定装置，其特征在于：该固定装置由数个绝缘子组构成，每个绝缘子组设有支撑杆（１）、顶部绝缘子（２）、中部绝缘子（３）、底部绝缘子（４），该顶部绝缘子、中部绝缘子、底部绝缘子穿在所述支撑杆上，上下相邻两个绝缘子的凹凸部分相互吻合，并各设有一个半圆凹槽相对，形成空隙，该空隙的直径大于炉丝的直径，炉丝支撑在该绝缘子间的空隙中，支撑杆的上下两端分别固定在氧化炉炉体的顶块（５）和底块（５．１）上；数个绝缘子组在氧化炉炉体内圆周上均匀分布，顶部绝缘子的厚度及底部绝缘子的厚度在圆周上依次递增或递减。以保证炉体上下底面水平。

【技术特征摘要】
一种300mm立式氧化炉炉体炉丝固定装置，其特征在于该固定装置由数个绝缘子组构成，每个绝缘子组设有支撑杆(1)、顶部绝缘子(2)、中部绝缘子(3)、底部绝缘子(4)，该顶部绝缘子、中部绝缘子、底部绝缘子穿在所述支撑杆上，上下相邻两个绝缘子的凹凸部分相互吻合，并各设有一个半...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟华，赵星梅，胡星强，艾伦埃马米，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]