【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光刻机，具体而言，涉及一种气体阀门及光刻机。
技术介绍
1、随着5g手机、新能源汽车、物联网等领域的快速发展，半导体工业对芯片的性能及制造成本要求日益提高。光刻机工件台的温度稳定性是影响芯片精度的重要指标，而晶圆吸盘通常通过氢气来进行温度调节；同时，为了降低热应力与安装应力，还通过氢气实现硅片、吸盘与光学传感器的脱附，因此，需要对多路氢气进行调节，实现两位三通的通断或换向的功能，对气体阀门的使用要求越来越高。
2、然而，现有的气体阀门通常为普通的电磁阀，而普通的电磁阀在闭合时会产生摩擦碰撞造成颗粒释放，进而对真空环境造成污染。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种气体阀门及光刻机，以缓解现有技术中的气体阀门存在的易污染真空环境的技术问题。
2、本技术提供的气体阀门，包括框架、气道歧管、柔性铰链和维稳组件。
3、所述气道歧管通过所述柔性铰链连接于所述框架，所述柔性铰链仅允许所述气道歧管沿预定轨迹往复移动；所述框架设有多个气道口，所述气道歧管与所述框架之间存在间隙，且所述气道歧管能够沿所述预定轨迹移动至同时与两个以上的所述气道口相对的工位；所述维稳组件用于在非运动时段锁定所述气道歧管。
4、优选地，作为一种可实施方式，所述气体阀门还包括驱动机构，所述驱动机构包括定子单元和动子单元，所述定子单元安装于所述框架，所述动子单元与所述气道歧管固接，能够驱动所述气道歧管沿所述预定轨迹移动。
5、优选地，作为一种可实施方式
6、优选地，作为一种可实施方式，所述定子单元包括线圈组件，所述动子单元包括磁钢组件，所述线圈组件能够驱动所述磁钢组件沿所述预定轨迹往复移动；
7、和/或，所述框架与所述气道歧管之间安装有测量器件，所述测量器件用于检测所述气道歧管的位移。
8、优选地，作为一种可实施方式，所述线圈组件与所述框架之间设有线缆盒，所述线缆盒内设有信号接插件，所述线圈组件和所述测量器件通过线缆连接所述信号接插件，所述线缆通过所述线缆盒走线。
9、优选地，作为一种可实施方式，所述定子单元还包括水冷结构，所述水冷结构贴附于所述线圈组件设置，所述水冷结构与外部冷水源通过水冷管连接，所述水冷管通过所述线缆盒走线。
10、优选地，作为一种可实施方式，所述气道口包括第一气道口、第二气道口和第三气道口，所述第二气道口和所述第三气道口分别位于所述第一气道口的相对的两侧。
11、所述气道歧管能够在第一工位与第二工位之间移动，处于所述第一工位的所述气道歧管同时与所述第一气道口和所述第二气道口相对，处于所述第二工位的所述气道歧管同时与所述第一气道口和所述第三气道口相对。
12、优选地，作为一种可实施方式，所述柔性铰链包括两组相对设置的薄板，任一组所述薄板能够朝向或背离另一组所述薄板发生弹性形变，所述第二气道口与第三气道口的排布方向、所述薄板的形变方向均与所述预定轨迹平行。
13、优选地，作为一种可实施方式，所述薄板为平板，两组所述薄板平行设置或呈“八”字形设置；
14、或，所述薄板为弧形板，两组所述薄板的弧形凹侧相对设置；
15、和/或，两组所述薄板对称设置。
16、本技术还提供了一种光刻机，其包括所述气体阀门，所述气道口为三个，分别为氢气送气口、氢气进气口和氢气排气口，所述氢气送气口位于氢气进气口与氢气排气口之间。
17、与现有技术相比，本技术的有益效果在于：
18、当需要连通某两个或多个气道口时，可驱动气道歧管朝向需要连通的气道口的方向移动，当气道歧管移动到位后，气道歧管会同时与需要连通的两个或多个气道口相对，此时，与气道歧管相对的若干气道口便可在气道歧管的导通作用下相互连通，可实现相互之间通气的效果；需要说明的时，虽气道歧管与框架之间存在一定的间隙，但各间隙处的流阻远高于气道歧管与气道口之间的流阻，气流主要还是会在与气道歧管相对的各气道口之间流动，仅少量气体存在泄漏问题，不影响气体阀门发挥连通换向功能，相当于气道歧管与相对的各气道口之间为非接触式密封，适用于对密封要求不高的工况下的气路调节。
19、特别的是，在柔性铰链的柔性限位作用下，气道歧管只能沿预定轨迹移动，可保证气道歧管与框架始终保持一定间隙，使得气道歧管在移动时不会与框架产生摩擦碰撞，从而，在气道歧管移动实现气体阀门的换向时，不会释放颗粒且无发热，不易污染所处环境，且有利于保证安装环境的温度稳定性；因气道歧管移动时无摩擦，故还可节省动力能源或人力。柔性铰链的存在，还可使得气体阀门无需进行润滑和使用其他的导向结构，不但进一步降低了污染所处环境的风险，而且还可使得结构更加紧凑。此外，在非动作时段，可通过维稳组件锁定气道歧管，使气道歧管平稳停留在被锁定的位置，可提高结构稳定性。
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1.一种气体阀门，其特征在于，包括框架(100)、气道歧管(200)、柔性铰链(300)和维稳组件(400)；
2.根据权利要求1所述的气体阀门，其特征在于，所述气体阀门还包括驱动机构(500)，所述驱动机构(500)包括定子单元和动子单元，所述定子单元安装于所述框架(100)，所述动子单元与所述气道歧管(200)固接，能够驱动所述气道歧管(200)沿所述预定轨迹移动。
3.根据权利要求2所述的气体阀门，其特征在于，所述维稳组件(400)包括固设于所述框架(100)的永磁铁(410)和固设于所述动子单元的铁质结构(420)，所述永磁铁(410)为两组且分别处于所述动子单元的运动行程的两个终端，所述铁质结构(420)为两组且分别与两组所述永磁铁(410)相对设置。
4.根据权利要求2所述的气体阀门，其特征在于，所述定子单元包括线圈组件(510)，所述动子单元包括磁钢组件(520)，所述线圈组件(510)能够驱动所述磁钢组件(520)沿所述预定轨迹往复移动；
5.根据权利要求4所述的气体阀门，其特征在于，所述线圈组件(510)与所述框架
6.根据权利要求5所述的气体阀门，其特征在于，所述定子单元还包括水冷结构(700)，所述水冷结构(700)贴附于所述线圈组件(510)设置，所述水冷结构(700)与外部冷水源通过水冷管连接，所述水冷管通过所述线缆盒(600)走线。
7.根据权利要求1-6任一项所述的气体阀门，其特征在于，所述气道口包括第一气道口(110)、第二气道口(120)和第三气道口(130)，所述第二气道口(120)和所述第三气道口(130)分别位于所述第一气道口(110)的相对的两侧；
8.根据权利要求7所述的气体阀门，其特征在于，所述柔性铰链(300)包括两组相对设置的薄板(310)，任一组所述薄板(310)能够朝向或背离另一组所述薄板(310)发生弹性形变，所述第二气道口(120)与第三气道口(130)的排布方向、所述薄板(310)的形变方向均与所述预定轨迹平行。
9.根据权利要求8所述的气体阀门，其特征在于，所述薄板(310)为平板，两组所述薄板(310)平行设置或呈“八”字形设置；
10.一种光刻机，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的气体阀
...【技术特征摘要】
1.一种气体阀门，其特征在于，包括框架(100)、气道歧管(200)、柔性铰链(300)和维稳组件(400)；
2.根据权利要求1所述的气体阀门，其特征在于，所述气体阀门还包括驱动机构(500)，所述驱动机构(500)包括定子单元和动子单元，所述定子单元安装于所述框架(100)，所述动子单元与所述气道歧管(200)固接，能够驱动所述气道歧管(200)沿所述预定轨迹移动。
3.根据权利要求2所述的气体阀门，其特征在于，所述维稳组件(400)包括固设于所述框架(100)的永磁铁(410)和固设于所述动子单元的铁质结构(420)，所述永磁铁(410)为两组且分别处于所述动子单元的运动行程的两个终端，所述铁质结构(420)为两组且分别与两组所述永磁铁(410)相对设置。
4.根据权利要求2所述的气体阀门，其特征在于，所述定子单元包括线圈组件(510)，所述动子单元包括磁钢组件(520)，所述线圈组件(510)能够驱动所述磁钢组件(520)沿所述预定轨迹往复移动；
5.根据权利要求4所述的气体阀门，其特征在于，所述线圈组件(510)与所述框架(100)之间设有线缆盒(600)，所述线缆盒(600)内设有信号接插件，所述线圈组件(510...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：北京华卓精科科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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