【技术实现步骤摘要】
本技术涉及危险废物处理系统，具体涉及一种含磷烷清洗废液的安全处理工艺装置。
技术介绍
1、磷烷又称磷化氢，为无色无臭剧毒性气体。纯净的磷化氢气体是无色无味的，但在金属磷化物产生磷化氢气体时常带有乙炔味或者大蒜味或者腐鱼味。如果遇到痕量其他磷的氢化物如乙磷化氢，会引起自燃。吸入磷化氢会对心脏、呼吸系统、肾、肠胃、神经系统和肝脏造成影响。
2、在半导体材料和器件的研究和生产中经常要使用各种具有易燃易爆、剧毒、腐蚀性的特种气体，磷烷（ph3）便是其中一种典型。在半导体制造中，这种气体需通过特气系统设备输送供气，参与到制程工艺中，主要用作半导体外延材料的生长源，在气相外延（vpe）、金属有机物气相外延（movpe）等广泛应用。在生产过程中，磷烷输送管道需要进行清洗，由于磷烷微溶于水，清洗后产生含磷烷的清洗废液，此类含磷烷清洗废液需进行安全处理后，方可进入污水处理系统进一步处理，否则容易造成生化系统微生物受毒性影响，出水指标不达标。
技术实现思路
1、本技术要解决的技术问题是提供一种含磷烷清洗废液的安全处理工艺装置，是一种能针对采用水清洗磷烷管道所产生废液的处理工艺装置。通过添加氢氧化钙溶液，使废液体系的ph值保持在8.0-9.0，避免水中溶解的磷烷遇酸后逸出。并采用多级反应（氧化、中和、絮凝沉淀）的工艺实现含磷烷废液的安全处理。在反应全程对体系的三废进行有效的收集和处理，达到处置磷烷清洗废液时操作环境安全的一种组合式处置装置及处理方法。为解决上述问题，本技术采用如下技术方案：一
2、进一步的，所述的第一加药装置、第二加药装置、第三加药装置分别设置于酸碱调节装置、氧化装置、絮凝沉淀装置的内部。
3、再进一步的，所述的氧化装置设置ph计、搅拌器，氧化装置上部连接防泄漏吸收装置，并依次设置高锰酸钾溶液吸收液、硫酸铜溶液吸收液，避免磷烷气体的逸出，氧化装置与防泄漏吸收装置所连接管道上设置气体快速检测仪器，并设置磷烷报警器，当出现磷烷气体逸出时，报警装置启动，同时管路阀门、氧化装置搅拌器与报警装置联动，可自动关闭。
4、再进一步的，所述的尾气处理装置与各装置的上部连接，所述的废气处理装置包括沿排气方向依次设置的高锰酸钾溶液吸收装置、硫酸铜溶液吸收装置、氢氧化钠溶液吸收装置、真空泵。
5、再进一步的，所述氧化反应器的外壁上设置第一冷却水循环装置，所述的第一冷却水循环装置包括自氧化反应器中部外壁至其下部外壁设置的第一冷却水循环腔，第一冷却水循环腔的侧部开设第一冷却液进口，第一冷却水循环腔的底部开设第一冷却液出口。
6、再进一步的，所述的废液储槽的输出端设置输入泵，输入泵的输出端经过篮式过滤器后与酸碱调节装置的上部连接；所述的酸碱调节装置的下部设置有第一反应物出口，第一反应物出口的输出端设置第一抽泵，第一抽泵的输出端与氧化装置的上部连接；所述的氧化装置的下部设置有第二反应物出口，第二反应物出口的输出端设置第二抽泵，第二抽泵的输出端与絮凝沉淀的上部连接；
7、再进一步的，输入泵的输出端与酸碱调节装置之间设置篮式过滤器；絮凝沉淀装置的下部设置有第三反应物出口，第三反应物出口的输出端设置第三抽泵，第三抽泵的输出端与固液分离装置连接，分离后的污水进入污水处理装置连接，分离后的残渣及污水产生的盐渣交由具有资质的企业处置。
8、本技术的有益效果：本技术提供的处理工艺装置，是一种能针对含磷烷清洗废液（磷含量10-50mg/l）的多级预处理工艺装置。通过控制体系酸碱度，用多级反应（氧化、中和、絮凝沉淀）的工艺来实现含磷烷清洗废液的处理，在反应全程对体系三废进行有效的收集和处理，来达到含磷烷清洗废液的安全处理，保障了后续污水处理稳定运行的一种组合式处置装置。
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1.一种含磷烷清洗废液的安全处理工艺装置，其特征在于：包括左到右依次设置的酸碱调节装置（1）、氧化装置（2）、絮凝沉淀装置（3）、固液分离装置（4）、防泄漏吸收装置（5），所述酸碱调节装置（1）上设置有氢氧化钠溶液加药装置（6），所述酸碱调节装置（1）的下端与所述氧化装置（2）的上端相连，所述氧化装置（2）上设置有硫酸铜溶液加药装置（7），所述氧化装置（2）的下端与所述絮凝沉淀装置（3）的上端相连，所述絮凝沉淀装置（3）上设置有氢氧化钠溶液加药装置（6）、聚合硫酸铁溶液加药装置（8），所述絮凝沉淀装置（3）的下端连接固液分离装置（4）。
2.根据权利要求1所述的一种含磷烷清洗废液的安全处理工艺装置，其特征在于：所述的氧化装置（2）设置pH计、搅拌器，氧化装置（2）上部连接防泄漏吸收装置（5），并依次设置高锰酸钾溶液吸收液、硫酸铜溶液吸收液，避免磷烷气体的逸出，氧化装置（2）与防泄漏吸收装置（5）所连接管道上设置气体快速检测仪器（18），并设置磷烷报警器（19），当出现磷烷气体逸出时，报警装置启动，同时管路阀门、氧化装置搅拌器与报警装置联动，可自动关闭。
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4.根据权利要求1所述的一种含磷烷清洗废液的安全处理工艺装置，其特征在于：所述磷烷清洗废液的预处理装置还包括设置在所述酸碱调节装置（1）、氧化装置（2）上的尾气吸收装置（17），所述尾气吸收装置（17）内依次设置有高锰酸钾溶液吸收液、硫酸铜溶液吸收液、氢氧化钠溶液吸收液和真空泵，通过真空泵将微量的磷化氢泵入尾气吸收装置，高锰酸钾溶液吸收液和硫酸铜溶液吸收液用于对磷化氢进行氧化还原。
5.根据权利要求1所述的一种含磷烷清洗废液的安全处理工艺装置，其特征在于：所述磷烷清洗废液的预处理装置还包括冷却水循环装置（11），所述冷却水循环装置（11）与所述氧化装置（2）的外壁围合形成冷却水循环腔，所述冷却水循环腔的侧壁上设置有冷却液进口（12），所述冷却水循环腔的底部设置有冷却液出口（13）。
6.根据权利要求1所述的一种含磷烷清洗废液的安全处理工艺装置，其特征在于：所述酸碱调节装置（1）的出口的输出端设置第一抽泵（14），所述第一抽泵（14）的输出端经过与氧化装置（2）的上部连接。
7.根据权利要求1所述的一种含磷烷清洗废液的安全处理工艺装置，其特征在于：所述氧化装置（2）的出口的输出端设置有第二抽泵（15），所述第二抽泵（15）的输出端与所述絮凝沉淀装置（3）连接。
8.根据权利要求1所述的一种含磷烷清洗废液的安全处理工艺装置，其特征在于：所述絮凝沉淀装置（3）的出口的输出端设置有第三抽泵（16），所述第三抽泵（16）的输出端与所述固液分离装置（4）连接。
...【技术特征摘要】
1.一种含磷烷清洗废液的安全处理工艺装置，其特征在于：包括左到右依次设置的酸碱调节装置（1）、氧化装置（2）、絮凝沉淀装置（3）、固液分离装置（4）、防泄漏吸收装置（5），所述酸碱调节装置（1）上设置有氢氧化钠溶液加药装置（6），所述酸碱调节装置（1）的下端与所述氧化装置（2）的上端相连，所述氧化装置（2）上设置有硫酸铜溶液加药装置（7），所述氧化装置（2）的下端与所述絮凝沉淀装置（3）的上端相连，所述絮凝沉淀装置（3）上设置有氢氧化钠溶液加药装置（6）、聚合硫酸铁溶液加药装置（8），所述絮凝沉淀装置（3）的下端连接固液分离装置（4）。
2.根据权利要求1所述的一种含磷烷清洗废液的安全处理工艺装置，其特征在于：所述的氧化装置（2）设置ph计、搅拌器，氧化装置（2）上部连接防泄漏吸收装置（5），并依次设置高锰酸钾溶液吸收液、硫酸铜溶液吸收液，避免磷烷气体的逸出，氧化装置（2）与防泄漏吸收装置（5）所连接管道上设置气体快速检测仪器（18），并设置磷烷报警器（19），当出现磷烷气体逸出时，报警装置启动，同时管路阀门、氧化装置搅拌器与报警装置联动，可自动关闭。
3.根据权利要求1所述的一种含磷烷清洗废液的安全处理工艺装置，其特征在于：所述酸碱调节装置（1）和絮凝沉淀装置（3）内均设置有搅拌器（9），通过设置搅拌器（9）加快氧化还原和凝絮的速率；并在酸碱调节装置（1）上设置输入泵（10），所述输入泵（10）用于将磷烷清洗废液泵入所述酸碱调节装置（1）内。
4.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：王振宇，郭芳艳，王兵，杨静，李兴隆，许士林，
申请(专利权)人：安徽浩悦环境科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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