【技术实现步骤摘要】
本技术涉及安装定位装置，具体为一种溅射电源面板安装定位装置。
技术介绍
1、溅射电源是一种经过调节的高压直流电源，广泛应用于半导体工艺中的离子注入、薄膜沉积等过程，溅射电源主要是通过高能离子的撞击，产生靶材物质的溅射，将薄膜材料沉积到半导体器件表面上，为了获得稳定、高精度的沉积效果，不同种类的溅射电源在性能上会有所不同，开关面板是溅射电源上用于操作控制溅射电源工作的带有按键的面板；
2、例如公告号为cn218941604u的授权专利（溅射电源）：包含有用于冷却的液冷板，构成溅射电源的电路模块贴合安装于液冷板的表面上，构成溅射电源的外壳体的安装框和安装板分别固定安装于液冷板的前端面和后端面上，构成溅射电源的外壳体的两块盖板分别位于液冷板的上方和下方，且两块盖板的一端分别与安装框的上端面和下端面固定连接，每一盖板的两侧分别弯折后固定于液冷板的侧壁上；
3、上述现有技术虽然方便结构简单且装配方便的溅射电源，但是传统开关面板大多为采用螺丝方式固定安装在溅射电源壳体上，在开关面板进行拆卸检修时，十分不便，实用性差；因此市场急需研制一种溅射电源面板安装定位装置来帮助人们解决现有的问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种溅射电源面板安装定位装置，以解决上述
技术介绍
中提出的传统开关面板大多为采用螺丝方式固定安装在溅射电源壳体上，在开关面板进行拆卸检修时，十分不便，实用性差的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种溅射电源面板安装定位装置
3、优选的，所述开关面板上方的两侧分别对称固定安装有压柱，所述压柱设置为锥台形主体，所述溅射电源壳体的内部沿安装凹槽上方设置有弹簧凹槽，且弹簧凹槽与安装凹槽连通，所述弹簧凹槽设置有两个，两个所述弹簧凹槽与压柱两个位置相对应。
4、优选的，所述弹簧凹槽内部的上方设置有第二弹簧，所述第二弹簧的下方固定安装有环板，所述环板的下方固定安装有直杆。
5、优选的，所述溅射电源壳体的内部沿滑动腔的下方设置有连接腔，且连接腔与滑动腔连通，所述溅射电源壳体的内部沿连接腔的下方设置有板槽，且板槽与连接腔连通。
6、优选的，所述连接腔的内部设置有连接板，所述板槽的内部设置有推板，所述连接板的一端与推板通过螺丝固定连接，且连接板的另一端与平移块通过螺丝固定连接。
7、优选的，所述开关面板上方的中间固定安装有定位靠板，所述开关面板的外侧固定安装有外框，所述外框的上端面、下端面和两侧端面均倒角设置。
8、优选的，所述溅射电源壳体的前端面上沿开关面板的两侧分别对称转动安装有防护板。
9、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
10、1.该技术通过在溅射电源壳体前端设置安装凹槽能够方便开关面板的定位安放，并在开关面板的后端设置有固定块，且通过固定柱、平移块和第一弹簧的设置，通过固定柱插入固定块的固定孔内，能够对开关面板进行位置固定，以实现开关面板的定位安装，且安装方式不需要使用螺丝，在拆卸时通过驱动固定柱远离固定块，使开关面板能够进行取下，极大提高了开关面板拆装的便利性，方便开关面板的拆卸检修工作，增加了溅射电源的开关面板的实用性。
11、2.该技术通过在开关面板的后端设置压柱，在开关面板安装时，压柱会对弹簧凹槽内部的直杆进行压动，使第二弹簧受压进行压缩，进而在开关面板拆卸时，通过第二弹簧的弹性张力作用，使得开关面板能够向前弹动，方便将开关面板从安装凹槽内取出，提高了实用性。
12、3.该技术通过在开关面板的外侧设置外框，且外框的上端面、下端面和两侧端面均倒角设置，提高了将开关面板放入安装凹槽内的平顺，增加实用性。
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1.一种溅射电源面板安装定位装置，包括开关面板（2），开关面板（2）的安装依托于溅射电源壳体（1），其特征在于：所述溅射电源壳体（1）的前端面上设置有安装凹槽（101），所述开关面板（2）设置于安装凹槽（101）的内部，所述开关面板（2）上方的两侧分别对称固定安装有固定块（7），所述固定块（7）的内部设置有固定孔，所述溅射电源壳体（1）的内部沿安装凹槽（101）的两侧分别对称设置有滑动腔（102），且滑动腔（102）与安装凹槽（101）连通，所述滑动腔（102）的内部设置有第一弹簧（10），所述第一弹簧（10）的一侧固定安装有平移块（9），所述平移块（9）的一侧固定安装有固定柱（8），所述固定柱（8）远离平移块（9）的一端通过固定孔贯穿固定块（7）。
2.根据权利要求1所述的一种溅射电源面板安装定位装置，其特征在于：所述开关面板（2）上方的两侧分别对称固定安装有压柱（6），所述压柱（6）设置为锥台形主体，所述溅射电源壳体（1）的内部沿安装凹槽（101）上方设置有弹簧凹槽（105），且弹簧凹槽（105）与安装凹槽（101）连通，所述弹簧凹槽（105）设置有两个，两个所述
3.根据权利要求2所述的一种溅射电源面板安装定位装置，其特征在于：所述弹簧凹槽（105）内部的上方设置有第二弹簧（15），所述第二弹簧（15）的下方固定安装有环板（14），所述环板（14）的下方固定安装有直杆（13）。
4.根据权利要求1所述的一种溅射电源面板安装定位装置，其特征在于：所述溅射电源壳体（1）的内部沿滑动腔（102）的下方设置有连接腔（103），且连接腔（103）与滑动腔（102）连通，所述溅射电源壳体（1）的内部沿连接腔（103）的下方设置有板槽（104），且板槽（104）与连接腔（103）连通。
5.根据权利要求4所述的一种溅射电源面板安装定位装置，其特征在于：所述连接腔（103）的内部设置有连接板（11），所述板槽（104）的内部设置有推板（12），所述连接板（11）的一端与推板（12）通过螺丝固定连接，且连接板（11）的另一端与平移块（9）通过螺丝固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种溅射电源面板安装定位装置，其特征在于：所述开关面板（2）上方的中间固定安装有定位靠板（5），所述开关面板（2）的外侧固定安装有外框（3），所述外框（3）的上端面、下端面和两侧端面均倒角设置。
7.根据权利要求1所述的一种溅射电源面板安装定位装置，其特征在于：所述溅射电源壳体（1）的前端面上沿开关面板（2）的两侧分别对称转动安装有防护板（4）。
...【技术特征摘要】
1.一种溅射电源面板安装定位装置，包括开关面板（2），开关面板（2）的安装依托于溅射电源壳体（1），其特征在于：所述溅射电源壳体（1）的前端面上设置有安装凹槽（101），所述开关面板（2）设置于安装凹槽（101）的内部，所述开关面板（2）上方的两侧分别对称固定安装有固定块（7），所述固定块（7）的内部设置有固定孔，所述溅射电源壳体（1）的内部沿安装凹槽（101）的两侧分别对称设置有滑动腔（102），且滑动腔（102）与安装凹槽（101）连通，所述滑动腔（102）的内部设置有第一弹簧（10），所述第一弹簧（10）的一侧固定安装有平移块（9），所述平移块（9）的一侧固定安装有固定柱（8），所述固定柱（8）远离平移块（9）的一端通过固定孔贯穿固定块（7）。
2.根据权利要求1所述的一种溅射电源面板安装定位装置，其特征在于：所述开关面板（2）上方的两侧分别对称固定安装有压柱（6），所述压柱（6）设置为锥台形主体，所述溅射电源壳体（1）的内部沿安装凹槽（101）上方设置有弹簧凹槽（105），且弹簧凹槽（105）与安装凹槽（101）连通，所述弹簧凹槽（105）设置有两个，两个所述弹簧凹槽（105）与压柱（6）两个位置相对应。
3.根据权利要求2所述的一种溅射电源面板安装定位装置，其特征在于：所述弹簧凹槽（...
【专利技术属性】
技术研发人员：任锋，陈星庆，任浩鑫，司国斌，陈嵩，
申请(专利权)人：江阴市天马电源制造有限公司，
类型：新型
国别省市：
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