【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种冷却单元、物镜模块及半导体检查装置。
技术介绍
1、在专利文献1～4中，记载有在半导体器件的检查中使用的冷却单元。这些冷却单元用于一边冷却一边观察驱动中的半导体器件。在专利文献1～3所记载的冷却单元中，通过对半导体器件喷射冷却液，而冷却半导体器件。在专利文献4所记载的冷却单元中，以在冷却单元与半导体器件之间形成空间的方式配置冷却单元，自设置于冷却单元的供给流路对该空间流通冷却流体，由此冷却半导体器件。
2、现有技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：美国专利第6621275号公报
5、专利文献2：日本特表2006-519359号公报
6、专利文献3：美国专利公开2009-0095097号公报
7、专利文献4：日本特开2020-106361号公报
技术实现思路
1、专利技术所要解决的问题
2、在使用专利文献4所记载的冷却单元时，有因自冷却单元与半导体器件之间的空间排出冷却流体，而使该空间内的压力成为负压的情况。若在这样的状态下例如为了变更检查位置而要使冷却单元沿配置半导体器件的载台向侧方移动，则因负压致使冷却单元贴附于载台，有无法使冷却单元移动、或移动精度降低的担忧。
3、因此，本专利技术的一方面的目的在于提供一种可一边流通冷却流体一边使冷却单元精度良好地移动的冷却单元、物镜模块及半导体检查装置。
4、解决问题的技术手段
5、本专利技术的一方面的冷
6、在该冷却单元中，在外套，形成有能够进行外侧部的内侧与外套的外部之间的空气的流通的通气路径。由此，通过外侧部的接触部与载台接触而形成的空间与外套的外部之间的空气的流通成为可能，并可抑制该空间内的压力成为负压。其结果，在一边流通冷却流体一边使冷却单元沿载台移动时，可抑制产生因负压而使冷却单元贴附于载台的情况。由此，根据该冷却单元，可一边流通冷却流体一边使冷却单元精度良好地移动。
7、也可为，在外套的中央部与外侧部之间，形成有槽部，通气路径连接于槽部。在该情况下，因槽部不易由冷却流体填满，因而可将经由通气路径的上述空间与外套的外部之间的空气的流通可靠化。
8、也可为，通气路径经由配置于槽部的通气构件连接于槽部。在该情况下，可抑制冷却流体浸入通气路径。
9、也可为，通气构件具有连接于通气路径的内部空间，内部空间在通气构件的侧面开口并连接于槽部。在该情况下，可有效地抑制冷却流体浸入通气路径(内部空间)。
10、也可为，通气构件具有包含侧面的主体部和罩，罩以相对于侧面突出的方式配置于主体部上。在该情况下，可更有效地抑制却流体浸入通气路径(内部空间)。
11、也可为，槽部以冷却流体自中央部的上表面流下的方式构成，在槽部，连接有排出至外部的冷却流体流通的排出流路。在该情况下，在通过外侧部的接触部与载台接触而形成的空间流通冷却流体时，可抑制冷却流体至该空间的外缘部。其结果，可抑制冷却流体自该空间的外缘部泄漏，并可提高防水性能。
12、也可为，通气路径始终开放。在该情况下，可可靠地抑制通过外侧部的接触部与载台接触而形成的空间的压力成为负压。
13、本专利技术的一方面的物镜模块，具备：上述冷却单元；浸没透镜，其配置于开口；及物镜，其与浸没透镜相对。根据该物镜模块，通过上述理由，可一边流通冷却流体一边使冷却单元精度良好地移动。
14、本专利技术的一方面的物镜模块也可还具备：保持器，其安装于物镜，保持浸没透镜；第1施力构件，其设置于保持器，向物镜的相反侧对浸没透镜施力；及第2施力构件，其设置于外套，不对浸没透镜作用作用力而朝向载台对外套施力。在该情况下，可良好地实现流通冷却流体且冷却单元沿载台移动。
15、本专利技术的一方面的半导体检查装置，具备：冷却单元；浸没透镜，其配置于开口；载台，其配置半导体器件；物镜，其与浸没透镜相对；及光检测器，其经由浸没透镜及物镜检测来自半导体器件的光。根据该半导体检查装置，通过上述理由，可一边流通冷却流体一边使冷却单元精度良好地移动。
16、专利技术的效果
17、根据本专利技术的一方面，可提供一种能够一边流通冷却流体一边使冷却单元精度良好地移动的冷却单元、物镜模块及半导体检查装置。
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1.一种冷却单元，其中，
2.如权利要求1所述的冷却单元，其中，
3.如权利要求2所述的冷却单元，其中，
4.如权利要求3所述的冷却单元，其中，
5.如权利要求4所述的冷却单元，其中，
6.如权利要求2～5中任一项所述的冷却单元，其中，
7.如权利要求1～6中任一项所述的冷却单元，其中，
8.一种物镜模块，其中，
9.如权利要求8所述的物镜模块，其中，
10.一种半导体检查装置，其中，
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种冷却单元，其中，
2.如权利要求1所述的冷却单元，其中，
3.如权利要求2所述的冷却单元，其中，
4.如权利要求3所述的冷却单元，其中，
5.如权利要求4所述的冷却单元，其中，
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