【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及干涉仪。
技术介绍
1、在专利文献1中，公开了用于取得试样放射或吸收的光的光谱信息，并基于该光谱信息分析试样中的成分等的分光分析的光学模块。该光学模块具备镜单元、分束器单元、光入射部、第一光检测器、第二光源以及第二光检测器。镜单元包括在规定方向上移动的可动镜和位置被固定的固定镜。在这样的光学模块中，由分束器单元、可动镜以及固定镜构成测定光和激光分别入射的干涉光学系统。
2、从第一光源经由测定对象入射的测定光经过光入射部在分束器单元中被分割。被分割的测定光的一部分被可动镜反射而回到分束器单元。被分割的测定光的剩余部分被固定镜反射而回到分束器单元。回到分束器单元的测量光的一部分和剩余部分由第一光检测器检测为干涉光。
3、另一方面，从第二光源射出的激光在分束器单元中被分割。被分割的激光的一部分被可动镜反射而回到分束器单元。被分割的激光的剩余部分被固定镜反射而回到分束器单元。回到分束器单元的激光的一部分和剩余部分由第二光检测器检测为干涉光。
4、在这样的光学模块中，基于激光的干涉光的检测结果来测量可动镜的位置。并且，能基于可动镜的位置的测量结果和测定光的干涉光的检测结果对测定对象进行分光分析。具体而言，通过求出可动镜的各位置处的测定光的强度，能得到被称为干涉图的波形。通过对该干涉图进行傅里叶变换，能够求出关于测定对象的光谱信息。因而，专利文献1记载的光学模块用于ftir(傅里叶变换型红外分光分析仪)。
5、专利文献1：国际公开第2019/009404号说明书
6、
7、另一方面，在傅里叶变换型分光分析仪中，从要求提高分析精度的观点出发，要求更高精度地测量可动镜的位置。因此，正在研究使用光外差干涉法测量可动镜的位置。在该情况下，由于需要使用光调制器来调制激光的频率，所以需要产生用于输入到光调制器的电信号的信号源。这样的话，分别需要用于驱动可动镜的电信号发生装置和用于驱动光调制器的电信号发生装置，担心使用光学模块的干涉仪的大型化以及功耗的增大。
8、因此，实现能够精度良好地测量移动镜的位置且实现了小型化和低功耗化的干涉仪成为课题。
技术实现思路
1、本专利技术的应用例所涉及的干涉仪
2、是具备分析部和测长部的干涉仪，其中，
3、所述分析部具备：
4、分析光学系统，具有使分析光反射的移动镜和接收所述分析光并输出第一受光信号的第一受光元件，用于通过所述分析光对试样的照射和所述分析光对试样的干涉来分析所述试样；以及
5、镜驱动部，基于镜驱动信号驱动所述移动镜，
6、所述测长部具备：
7、激光光源，射出激光；光调制器，使用振动元件调制所述激光的频率，附加调制成分；以及测长光学系统，具有第二受光元件，所述第二受光元件接收包含通过对所述移动镜照射所述激光而生成的测长成分和所述调制成分在内的所述激光，输出第二受光信号，所述测长光学系统用于通过所述激光的干涉来检测所述移动镜的位置，
8、所述振动元件是所述镜驱动信号的信号源。
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1.一种干涉仪，其特征在于，是具备分析部和测长部的干涉仪，所述分析部具备：
2.根据权利要求1所述的干涉仪，其中，
3.根据权利要求2所述的干涉仪，其中，
4.根据权利要求2或3所述的干涉仪，其中，
5.根据权利要求2或3所述的干涉仪，其中，
6.根据权利要求2或3所述的干涉仪，其中，
7.根据权利要求1或2所述的干涉仪，其中，
【技术特征摘要】
1.一种干涉仪，其特征在于，是具备分析部和测长部的干涉仪，所述分析部具备：
2.根据权利要求1所述的干涉仪，其中，
3.根据权利要求2所述的干涉仪，其中，
4.根据权...
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