【技术实现步骤摘要】
本申请属于半导体设备，更具体地说，是涉及一种打点装置。
技术介绍
1、在晶圆制程中，需要对晶圆进行性能测试并对晶圆上的不良芯片进行打点标记。一般的，打点标记一般是由打点机构沾墨并将墨转印至晶圆上的不良芯片上。在相关技术中，打点机构一般是由推拉式电磁铁驱动，此种驱动方式在高频打点作业过程中容易出现过热问题，从而影响打点作业效率。
技术实现思路
1、本申请实施例的目的在于提供一种打点装置，以解决现有技术中存在的打点机构在高频打点作业中容易过热的技术问题。
2、为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案是，提供一种打点装置，其设置有座体，在所述座体上设置有音圈电机；在所述座体上、位于所述音圈电机的至少一侧沿所述音圈电机的直线驱动方向设置有滑杆，在所述滑杆上套设有驱动杆，所述驱动杆与所述音圈电机的驱动端相连接，所述音圈电机用于驱动所述驱动杆沿直线上下移动；在所述座体上设置有墨斗，所述墨斗底部设置有出墨管；在所述驱动杆上固定设置有导墨丝，所述导墨丝部分位于所述墨斗中且其底部穿设于所述出墨管。
3、可选地，所述音圈电机包括圆柱形套筒、设置于所述套筒侧壁的磁铁以及套设于所述套筒中的线圈组，所述驱动杆与所述线圈组固定连接。
4、可选地，所述滑杆在所述音圈电机的两侧分别设置有两根。
5、可选地，在所述滑杆与所述驱动杆之间连接有弹簧。
6、可选地，在所述座体上设置有u型夹，在所述u型夹的开口端穿设有螺丝，所述墨斗底部插设于所述u型夹且由u型夹
7、可选地，所述u型夹包括与所述座体固定连接的连接部和两根用于夹持所述墨斗的夹臂，其中一所述夹臂与所述连接部之间开设有槽。
8、可选地，所述打点装置还包括调节组件，所述调节组件包括两块沿纵向可滑动调节的滑块，所述座体固定设置于其中一所述滑块上。
9、可选地，在两块所述滑块之间设置有微调机构，所述微调机构包括设置于其中一所述滑块上的调节螺杆和固定设置于另一所述滑块上的抵接块，所述调节螺杆底部与所述抵接块抵接。
10、可选地，其中一所述滑块侧部设置有调节板，在所述调节板上沿纵向设置有调节槽；另一所述滑块侧部设置有调节螺丝，所述调节螺丝穿设于所述调节槽。
11、本申请实施例提供的打点装置，至少具有以下有益效果：
12、通过将打点驱动机构设置为音圈电机，由音圈电机的驱动端带动驱动杆沿纵向往复移动以将导墨丝上的墨转印至晶圆的不良芯片上，如此，能够避免传统打点驱动机构容易过热的问题，进而能够提高打点作业速率。
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1.一种打点装置，用于对晶圆上的不良芯片进行打点标记，其特征在于：设置有座体，在所述座体上设置有音圈电机；在所述座体上、位于所述音圈电机的至少一侧沿所述音圈电机的直线驱动方向设置有滑杆，在所述滑杆上套设有驱动杆，所述驱动杆与所述音圈电机的驱动端相连接，所述音圈电机用于驱动所述驱动杆沿直线上下移动；在所述座体上设置有墨斗，所述墨斗底部设置有出墨管；在所述驱动杆上固定设置有导墨丝，所述导墨丝部分位于所述墨斗中且其底部穿设于所述出墨管。
2.如权利要求1所述的打点装置，其特征在于：所述音圈电机包括圆柱形套筒、设置于所述套筒侧壁的磁铁以及套设于所述套筒中的线圈组，所述驱动杆与所述线圈组固定连接。
3.如权利要求1所述的打点装置，其特征在于：所述滑杆在所述音圈电机的两侧分别设置有两根。
4.如权利要求1至3任一所述的打点装置，其特征在于：在所述滑杆与所述驱动杆之间连接有弹簧。
5.如权利要求1至3任一所述的打点装置，其特征在于：在所述座体上设置有U型夹，在所述U型夹的开口端穿设有螺丝，所述墨斗底部插设于所述U型夹中且由U型夹锁止固定。
...【技术特征摘要】
1.一种打点装置，用于对晶圆上的不良芯片进行打点标记，其特征在于：设置有座体，在所述座体上设置有音圈电机；在所述座体上、位于所述音圈电机的至少一侧沿所述音圈电机的直线驱动方向设置有滑杆，在所述滑杆上套设有驱动杆，所述驱动杆与所述音圈电机的驱动端相连接，所述音圈电机用于驱动所述驱动杆沿直线上下移动；在所述座体上设置有墨斗，所述墨斗底部设置有出墨管；在所述驱动杆上固定设置有导墨丝，所述导墨丝部分位于所述墨斗中且其底部穿设于所述出墨管。
2.如权利要求1所述的打点装置，其特征在于：所述音圈电机包括圆柱形套筒、设置于所述套筒侧壁的磁铁以及套设于所述套筒中的线圈组，所述驱动杆与所述线圈组固定连接。
3.如权利要求1所述的打点装置，其特征在于：所述滑杆在所述音圈电机的两侧分别设置有两根。
4.如权利要求1至3任一所述的打点装置，其特征在于：在所述滑杆与所述驱动杆之间连接有弹簧。
5.如权利要求1至3任一所述的打点装...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢谦，贺开慧，陈伟，陈自豪，吕杰融，谢灿，
申请(专利权)人：开辉半导体设备深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：
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