【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及激光加工，特别涉及一种用于多光束并行加工的激光扫描装置及使用方法。
技术介绍
1、激光扫描加工是在超快激光微加工领域的常用手段；该技术利用激光高功率的特点，能够实现激光高功率的加工。然而，现有的激光加工过程中，通常利用平台移动实现移动光源或者工件；又因光源的扫描角度低，行程大，操作复杂，故存在难以大面积加工的技术问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种用于多光束并行加工的激光扫描装置及使用方法。
2、为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案是：
3、本专利技术所述的一种用于多光束并行加工的激光扫描装置，它包括有激光器、衍射分光元件、准直镜、电机和反射镜；所述激光器的出光口正对衍射分光元件的进光口设置；所述准直镜设置在反射镜与衍射分光元件之间；所述衍射分光元件将激光器发出的光线分成多束光线后照射在准直镜上；所述反射镜用于将准直镜透出的光线反射至样品上；电机的转轴固定在反射镜的侧表面上。
4、作为本专利技术的一种优选方式，所述反射镜的反射面由多片反射片组成；从准直镜射出光束的数量为光束数量；所述光束数量等于反射片的数量；每一束光束分别对应照射在一片反射片；相邻反射片设置在不相同的平面上。
5、作为本专利技术的一种优选方式，所述衍射分光元件将激光器发出的一束激光束分为能量相同的10-300条分束光。
6、作为本专利技术的一种优选方式，所述激光器发出的激光束为初始激光束；所述初
7、一种用于多光束并行加工的激光扫描装置的使用方法，包括如下步骤：
8、步骤1、将样品固定在治具上；
9、步骤2、激光器发出一束激光束进入到衍射分光元件；
10、步骤3、衍射分光元件将从激光器发出的一束激光束分成多束能量相同的激光束；
11、步骤4、准直镜将衍射分光元件发出的多束激光束进行改变方向，使得经过准直镜的各条光线相互平行地进入到反射镜的反射面；
12、步骤5、平行的多条光束分别通过对应的反射片后照射到聚焦镜的表面上；
13、步骤6、聚焦镜将从反射片反射出来的光线进行聚焦，改变光束之间的距离最后照射在样品的表面上；
14、步骤7、通过电机带动反射镜转动不间断地改变从光束与反射片的入射角，使得光束照射在样品的位置连续地发生改变，对产品7表面进行加工扫描。
15、采用上述结构后，本专利技术有益效果为：
16、1、通过电机带动反射镜旋转摆动，进行切换光束进入反射镜入射角的调整，进行调节光束的加工位置，实现激光束的连续扫描加工，转动小角度即可实现大行程的扫描，易于实现大面积激光扫描加工；
17、2、能够通过衍射形成多束相同的光线同步扫描加工，提高扫描加工的效率；
18、3、激光束在产品上的扫描速度根据电机的转速进行同步控制，易于对扫描的速度进行调试，便于获得更佳的扫描效果。
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1.一种用于多光束并行加工的激光扫描装置，其特征在于：它包括有激光器（1）、衍射分光元件（2）、准直镜（3）、电机（4）和反射镜（5）；所述激光器（1）的出光口正对衍射分光元件（2）的进光口设置；所述准直镜（3）设置在反射镜（5）与衍射分光元件（2）之间；所述衍射分光元件（2）将激光器（1）发出的光线分成多束光线后照射在准直镜（3）上；所述反射镜（5）用于将准直镜（3）透出的光线反射至样品（7）上；电机（4）的转轴固定在反射镜（5）的侧表面上。
2.根据权利要求1所述的一种用于多光束并行加工的激光扫描装置，其特征在于：所述反射镜（5）的反射面由多片反射片（501）组成；从准直镜（3）射出光束的数量为光束数量；所述光束数量等于反射片（501）的数量；每一束光束分别对应照射在一片反射片（501）；相邻反射片（501）设置在不相同的平面上。
3.根据权利要求2所述的一种用于多光束并行加工的激光扫描装置，其特征在于：所述反射镜（5）的出光方向上设置有聚焦镜（6）。
4.根据权利要求1所述的一种用于多光束并行加工的激光扫描装置，其特征在于：所述衍射分光元
5.根据权利要求1所述的一种用于多光束并行加工的激光扫描装置，其特征在于：所述激光器（1）发出的激光束为初始激光束；所述初始激光束的波长为355-1100nm；所述初始激光束的光束质量M2因子小于1.1；所述初始激光束的输出功率1-300W；所述初始激光束的脉宽为100fs-100ns；所述初始激光束的频率为1kHz-100kHz；所述初始激光束的光斑直径为1-10mm。
6.根据权利要求1至5任一权利要求所述用于多光束并行加工的激光扫描装置的使用方法，其特征在于：包括如下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种用于多光束并行加工的激光扫描装置，其特征在于：它包括有激光器（1）、衍射分光元件（2）、准直镜（3）、电机（4）和反射镜（5）；所述激光器（1）的出光口正对衍射分光元件（2）的进光口设置；所述准直镜（3）设置在反射镜（5）与衍射分光元件（2）之间；所述衍射分光元件（2）将激光器（1）发出的光线分成多束光线后照射在准直镜（3）上；所述反射镜（5）用于将准直镜（3）透出的光线反射至样品（7）上；电机（4）的转轴固定在反射镜（5）的侧表面上。
2.根据权利要求1所述的一种用于多光束并行加工的激光扫描装置，其特征在于：所述反射镜（5）的反射面由多片反射片（501）组成；从准直镜（3）射出光束的数量为光束数量；所述光束数量等于反射片（501）的数量；每一束光束分别对应照射在一片反射片（501）；相邻反射片（501）设置在不相同的平面上。
3.根据权利要求2所...
【专利技术属性】
技术研发人员：王林，王磊，杨焕，欧阳辉，曹治国，何晓雨，任杰文，吴宜翔，何承志，
申请(专利权)人：深圳市中基自动化股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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