【技术实现步骤摘要】
本申请实施例涉及测量仪器领域，尤其涉及一种膜厚测量仪及测量方法。
技术介绍
1、薄膜在半导体、液晶显示、光学镀层等多个领域中得到广泛应用。膜的厚度和厚度均匀性会对薄膜产品的质量产生不同的影响，比如光刻胶膜厚在光刻工艺中具有至关重要的影响，它直接关系到图案的精确度、分辨率及后续蚀刻等步骤的效果，因为需要对光刻胶薄膜膜厚的数值进行监控以保证光刻胶的良品率。
2、对于一些大尺寸薄膜产品，需要对薄膜产品的成百上千个点位进行测试。若采用人工测量膜厚的方法，存在人工操作工作量大、耗时长、取样点位随机性大、效率低等问题。
技术实现思路
1、以下是对本文详细描述的主题的概述。本概述并非是为了限制权利要求的保护范围。
2、本申请的目的在于至少一定程度上解决相关技术中存在的技术问题之一，本申请实施例提供了一种膜厚测量仪及测量方法，能够实现自动化测量膜的厚度。
3、本申请的第一方面的实施例，一种膜厚测量仪，包括：
4、载物台，所述载物台用于放置待测膜；
5、探头模块，所述探头模块包括光源模块和光电转换模块，所述光源模块用于向所述待测膜发射光线，所述光电转换模块用于将所述待测膜反射的光信号转换为电信号；
6、探头驱动模块，所述探头驱动模块设置在所述载物台上，所述探头模块设置在所述探头驱动模块上，所述探头驱动模块设置有驱动器；
7、控制器，所述控制器用于获取待测膜的类型，根据所述待测膜的类型读取记录数据，从所述记录数据的检测
8、根据本申请的第一方面的某些实施例，所述探头驱动模块包括第一滑轨和两条第二滑轨，所述第一滑轨的两端分别与两条所述第二滑轨滑动连接，所述探头模块与所述第一滑轨滑动连接。
9、根据本申请的第一方面的某些实施例，所述第一滑轨包括第一电机、第一转盘、第二转盘、第一皮带、第一轨体和第一安装座；所述第一电机与所述第一转盘连接，所述第一皮带绕设在所述第一转盘和所述第二转盘之间；所述第一安装座固定在所述第一皮带上，并通过滚轮与所述第一轨体滑动连接；所述探头模块安装在所述第一安装座上。
10、根据本申请的第一方面的某些实施例，所述第二滑轨包括第二电机、第三转盘、第四转盘、第二皮带、第二轨体和第二安装座；所述第二电机与所述第三转盘连接，所述第二皮带绕设在所述第三转盘和所述第四转盘之间；所述第二安装座固定在所述第二皮带上，并通过滚轮与所述第二轨体滑动连接；所述第一滑轨安装在所述第二安装座上。
11、根据本申请的第一方面的某些实施例，所述光源模块设置有卤素灯和散热灯座，所述卤素灯安装在所述散热灯座上，所述散热灯座设置有散热风扇。
12、根据本申请的第一方面的某些实施例，所述光电转换模块包括光栅和光电探测器，所述光栅设置在所述光电转换模块的进光口和所述光电探测器之间。
13、根据本申请的第一方面的某些实施例，所述光源模块与所述光电转换模块之间通过光纤连接，所述光纤包括第一分束段、第二分束段和公共段，所述第一分束段的一端、所述第二分束段的一端和公共段的一端连接，所述第一分束段的另一端与所述光源模块的出光口连接，所述第二分束段的另一端与所述光电转换模块的进光口连接。
14、本申请的第二方面的实施例，一种膜厚测量方法，应用如本申请的第一方面的实施例所述的膜厚测量仪，所述膜厚测量方法包括：
15、获取待测膜的类型；
16、根据所述待测膜的类型读取记录数据；
17、从所述记录数据的检测坐标与驱动器运动参数的关系数据中获取驱动器运动参数；
18、根据所述驱动器运动参数控制驱动器运动，以驱动探头模块移动至检测坐标；
19、根据所述探头模块测量得到的电信号处理得到膜厚数据。
20、根据本申请的第二方面的某些实施例，所述根据所述探头模块测量得到的电信号处理得到膜厚数据，包括：
21、获取对应放置标准膜情况的参考背景光能量、对应无放置情况的暗背景光能量和对应放置待测膜情况的光能量；
22、根据所述参考背景光能量、所述暗背景光能量和所述光能量得到待测膜的反射率；
23、根据所述反射率得到反射光谱曲线相邻的波峰波谷的波长；
24、根据所述反射光谱曲线相邻的波峰波谷的波长和所述待测膜的折射率得到待测膜的膜厚数据。
25、根据本申请的第二方面的某些实施例，所述驱动器为电机；所述记录数据按照以下方法得到：
26、获取样品膜的类型、样品膜的尺寸参数和测试点数量；
27、根据样品膜的尺寸参数和所述测试点数量确定检测坐标；
28、控制所述电机运动，以驱动探头模块移动至检测坐标，由所述电机的转子的转动方向和转动圈数得到驱动器运动参数；
29、根据所述检测坐标和所述驱动器运动参数建立检测坐标与驱动器运动参数的关系数据；
30、由多个所述检测坐标与驱动器运动参数的关系数据得到记录数据。
31、上述方案至少具有以下的有益效果：将待测膜放置在载物台上，通过输入设备将多个检测坐标输入至控制器中，控制器根据待测膜的类型读取记录数据，从记录数据的检测坐标与驱动器运动参数的关系数据中获取驱动器运动参数，根据驱动器运动参数控制驱动器运动，以驱动探头模块移动至一个检测坐标，当探头模块到达检测坐标后，光源模块向待测膜发射光线，待测膜反射光源模块发射的光线，光电转换模块接收待测膜反射的光信号，并将待测膜反射的光信号转换为电信号，将电信号输出至控制器；控制器根据所述探头模块测量得到的电信号处理得到膜厚数据。当完成一个检测坐标之后，控制器控制探头驱动模块驱动所述探头模块移动至另一个检测坐标继续对待测膜进行检测，直至完成所有检测坐标的检测；实现了自动化测量膜的厚度，节省了人力成本，提高了测量精确度。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种膜厚测量仪，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种膜厚测量仪，其特征在于，所述探头驱动模块包括第一滑轨和两条第二滑轨，所述第一滑轨的两端分别与两条所述第二滑轨滑动连接，所述探头模块与所述第一滑轨滑动连接。
3.根据权利要求2所述的一种膜厚测量仪，其特征在于，所述第一滑轨包括第一电机、第一转盘、第二转盘、第一皮带、第一轨体和第一安装座；所述第一电机与所述第一转盘连接，所述第一皮带绕设在所述第一转盘和所述第二转盘之间；所述第一安装座固定在所述第一皮带上，并通过滚轮与所述第一轨体滑动连接；所述探头模块安装在所述第一安装座上。
4.根据权利要求2所述的一种膜厚测量仪，其特征在于，所述第二滑轨包括第二电机、第三转盘、第四转盘、第二皮带、第二轨体和第二安装座；所述第二电机与所述第三转盘连接，所述第二皮带绕设在所述第三转盘和所述第四转盘之间；所述第二安装座固定在所述第二皮带上，并通过滚轮与所述第二轨体滑动连接；所述第一滑轨安装在所述第二安装座上。
5.根据权利要求1所述的一种膜厚测量仪，其特征在于，所述光源模块设置有卤素灯和散热
6.根据权利要求1所述的一种膜厚测量仪，其特征在于，所述光电转换模块包括光栅和光电探测器，所述光栅设置在所述光电转换模块的进光口和所述光电探测器之间。
7.根据权利要求1所述的一种膜厚测量仪，其特征在于，所述光源模块与所述光电转换模块之间通过光纤连接，所述光纤包括第一分束段、第二分束段和公共段，所述第一分束段的一端、所述第二分束段的一端和公共段的一端连接，所述第一分束段的另一端与所述光源模块的出光口连接，所述第二分束段的另一端与所述光电转换模块的进光口连接。
8.一种膜厚测量方法，其特征在于，应用如权利要求1至7任一项所述的膜厚测量仪，所述膜厚测量方法包括：
9.根据权利要求8所述的一种膜厚测量方法，其特征在于，所述根据所述探头模块测量得到的电信号处理得到膜厚数据，包括：
10.根据权利要求8所述的一种膜厚测量方法，其特征在于，所述驱动器为电机；所述记录数据按照以下方法得到：
...【技术特征摘要】
1.一种膜厚测量仪，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种膜厚测量仪，其特征在于，所述探头驱动模块包括第一滑轨和两条第二滑轨，所述第一滑轨的两端分别与两条所述第二滑轨滑动连接，所述探头模块与所述第一滑轨滑动连接。
3.根据权利要求2所述的一种膜厚测量仪，其特征在于，所述第一滑轨包括第一电机、第一转盘、第二转盘、第一皮带、第一轨体和第一安装座；所述第一电机与所述第一转盘连接，所述第一皮带绕设在所述第一转盘和所述第二转盘之间；所述第一安装座固定在所述第一皮带上，并通过滚轮与所述第一轨体滑动连接；所述探头模块安装在所述第一安装座上。
4.根据权利要求2所述的一种膜厚测量仪，其特征在于，所述第二滑轨包括第二电机、第三转盘、第四转盘、第二皮带、第二轨体和第二安装座；所述第二电机与所述第三转盘连接，所述第二皮带绕设在所述第三转盘和所述第四转盘之间；所述第二安装座固定在所述第二皮带上，并通过滚轮与所述第二轨体滑动连接；所述第一滑轨安装在所述第二安装座上。
5.根据权利要求1所述的一种膜厚测量仪，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡晓东，黄国香，
申请(专利权)人：广州景颐光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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