【技术实现步骤摘要】
本技术涉及传输设备，具体为一种化学机械抛光平坦化晶圆传输设备。
技术介绍
1、根据中国专利cn210435942u公开了一种化学机械抛光平坦化晶圆传输设备，该化学机械抛光平坦化设备包括至少一套晶圆抛光传输机械手；所述晶圆抛光传输机械手包括：水平传动机构、垂直传动机构及晶圆抓取装置；在所述晶圆抓取装置水平直线运动方向上的活动范围内布置有抛光中转台、清洗中转台及抛光装载台。该技术所提供的化学机械抛光平坦化晶圆传输设备可以将晶圆在抛光中转台、抛光装载台及清洗中转台之间直接传输，由于无需中转，减少了晶圆的中转次数，缩短了晶圆传输时间，提高了传输效率，减少晶圆因传输产生损坏的概率。
2、该技术所提供的化学机械抛光平坦化晶圆传输设备可以将晶圆在抛光中转台、抛光装载台及清洗中转台之间直接传输，由于无需中转，减少了晶圆的中转次数，缩短了晶圆传输时间，提高了传输效率，减少晶圆因传输产生损坏的概率。
3、但是上述技术方案还存在传输晶圆时，前后步骤所用机器的出料口与进料口高度以及取放方式因机器生产厂家设计会有差异，在进行拿取放置时不能够扭转一定的角度，在放置时可能会造成边角磕碰，导致晶圆受损，增加生产成本；另外该传输装置安装时安装位置与实地安装距离有所偏差，进行调节校准费时费力的问题。
4、为此，本技术提供了一种化学机械抛光平坦化晶圆传输设备。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本技术提供了一种化学机械抛光平坦化晶圆传输设备，解决了的问题。
2、为实现
3、伸展单元，安装在机械臂的内部，用于提升晶圆传输量，所述伸展单元包括支撑柱，且支撑柱的顶端固定连接有固定杆，所述支撑柱的表面固定连接有斜板，所述斜板的底部与机械臂转动连接，且机械臂围绕支撑柱转动；
4、分控单元，安装在支撑柱的表面，用于控制多个部件联合运行
5、驱动单元，安装在支撑柱的底部，用于抬高机械臂。
6、优选的，所述分控单元包括：
7、移动组件，安装在支撑柱的表面用于多部位的移动，所述移动组件包括开设在支撑柱表面的移动槽，且移动槽延伸至斜板的表面，所述移动槽内等距滑动连接有多个滚球；
8、伸缩组件，安装在滚球的表面，用于提高操作距离。
9、优选的，所述伸缩组件包括固定连接在滚球表面的推杆，所述推杆通过机械臂表面开设的滑槽向机械臂外部延伸。
10、优选的，所述驱动单元包括：
11、转动组件，安装在支撑柱的底端用于带动机械臂旋转，所述转动组件包括固定连接在机械臂底面的转盘，所述转盘的底面固定连接有电动机；
12、滑动组件，安装在转盘的表面，用于支撑柱的位移。
13、优选的，所述滑动组件包括开设在转盘中心处的凹槽，所述凹槽的底部固定连接有气缸，所述气缸通过内部滑动的活塞杆与支撑柱的底端转动连接，所述支撑柱在凹槽的内部滑动。
14、优选的，所述机械臂的顶部固定连接有防尘盖，所述推杆的延伸端转动连接有机械爪。
15、有益效果
16、本技术提供了一种化学机械抛光平坦化晶圆传输设备。与现有技术相比具备以下有益效果：
17、(1)、该化学机械抛光平坦化晶圆传输设备，通过在支撑柱的表面固定连接有斜板，所述斜板的底部与机械臂转动连接，固定连接在机械臂底面的转盘，开设在转盘中心处的凹槽，解决了传输晶圆时，前后步骤所用机器的出料口与进料口高度以及取放方式因机器生产厂家设计会有差异，在进行拿取放置时不能够扭转一定的角度，在放置时可能会造成边角磕碰，导致晶圆受损，增加生产成本的问题。
18、(2)、该化学机械抛光平坦化晶圆传输设备，通过在支撑柱表面的移动槽，移动槽内等距滑动连接有多个滚球，固定连接在滚球表面的推杆，解决了传输装置安装时安装位置与实地安装距离有所偏差，导致无法安装或者安装留存有缝隙，导致无法进行传输工作，随后进行调节校准需要不停的进行拆装测试，造成费时费力的问题。
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1.一种化学机械抛光平坦化晶圆传输设备，包括机械臂(1)，其特征在于：所述机械臂(1)的表面设置有翻转机构用于增加晶圆传输效率，所述翻转机构包括：
2.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光平坦化晶圆传输设备，其特征在于：所述分控单元(3)包括：
3.根据权利要求2所述的一种化学机械抛光平坦化晶圆传输设备，其特征在于：所述伸缩组件(32)包括固定连接在滚球(313)表面的推杆(321)，所述推杆(321)通过机械臂(1)表面的滑槽(322)向外部延伸。
4.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光平坦化晶圆传输设备，其特征在于：所述驱动单元(4)包括：
5.根据权利要求4所述的一种化学机械抛光平坦化晶圆传输设备，其特征在于：所述滑动组件(42)包括开设在转盘(411)中心处的凹槽(421)，所述凹槽(421)的底部固定连接有气缸(422)，所述气缸(422)通过内部滑动的活塞杆与支撑柱(21)的底端转动连接。
6.根据权利要求3所述的一种化学机械抛光平坦化晶圆传输设备，其特征在于：所述机械臂(1)的顶部固定连接有防尘盖(5)，
...【技术特征摘要】
1.一种化学机械抛光平坦化晶圆传输设备，包括机械臂(1)，其特征在于：所述机械臂(1)的表面设置有翻转机构用于增加晶圆传输效率，所述翻转机构包括：
2.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光平坦化晶圆传输设备，其特征在于：所述分控单元(3)包括：
3.根据权利要求2所述的一种化学机械抛光平坦化晶圆传输设备，其特征在于：所述伸缩组件(32)包括固定连接在滚球(313)表面的推杆(321)，所述推杆(321)通过机械臂(1)表面的滑槽(322)向外部延伸。
4.根据权利要求1所述的一种化...
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