【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及石英晶片加工，尤其涉及一种用于加工石英晶片的磨边机。
技术介绍
1、石英晶圆衬底作为半导体行业的重要组成部分，其加工精度和质量对于整个产品的性能具有至关重要的影响。在石英晶圆的制造过程中，衬底的边缘打磨是一道不可或缺的工序，它旨在达到晶片载体的统一规格条件，确保后续工序的顺利进行。
2、具体来说，边缘打磨的过程是通过精密的机械操作，对石英晶圆衬底的边缘进行细致的修整。这一步骤不仅要求去除边缘的毛刺和不规则部分，还需要确保打磨后的边缘光滑、平整，以符合统一的规格标准。这样的处理不仅有助于提高晶圆的外观质量，更重要的是，它对于保证晶圆的物理性能和稳定性具有重要意义。
3、然而，在现有的石英晶圆衬底初加工过程中，研磨机的应用虽然广泛，但其加工方式仍存在一些局限性。目前，大多数研磨机采用逐一打磨的方式对石英晶圆衬底进行加工，即每次只处理一片晶圆。这种方式的效率相对较低，尤其是在面对大规模生产需求时，难以满足高效率、高质量的生产要求。
4、为了提高加工效率，可以考虑对现有的研磨机进行技术升级和改造。
技术实现思路
1、为了克服现有技术对于石英晶圆衬底的初加工较为低效，仅能通过单个打磨的方式进行，其生产效率有待提高的缺点，技术问题为：提供一种多工位的用于加工石英晶片的磨边机。
2、技术方案是：一种用于加工石英晶片的磨边机，包括有外部框架、打磨台、安装架、主电机和转轴，外部框架顶部开放且底部封闭，转轴转动连接于外部框架的封底中点处，主
3、进一步，打磨单元还包括有螺纹端头、控制环、升降环和连杆，转轴顶部固接有螺纹端头，控制环通过螺纹连接于螺纹端头，控制环底部通过花键转动连接有升降环，升降环与滑动支架向心端铰接有连杆。
4、进一步，固定单元还包括有将石英晶片衬底校正至转盘中心的校正组件，校正组件包括有移动环和拨杆，移动环转动式嵌于放置支架内，移动环内开设有斜向槽，限位杆限位径向滑动于放置支架且同时限位滑动于斜向槽，拨杆固接于移动环，拨杆穿过放置支架。
5、进一步，打磨头可通过固定螺栓进行更换。
6、进一步，电动推杆伸缩端设置有转动的橡胶头，转盘上设置有橡胶垫片。
7、进一步，还包括有第二同步齿轮组和毛刷轴，毛刷轴转动连接于打磨台，毛刷轴外部设置有毛刷板，转轴通过第二同步齿轮组对毛刷轴传动，第二同步齿轮组由中心齿轮b和行星齿轮b组成，中心齿轮b固定在转轴中部，行星齿轮b连接在毛刷轴下端，中心齿轮b与行星齿轮b相互啮合。
8、进一步，还包括有螺纹杆、锥块和楔块，毛刷板通过滑杆滑动穿接于毛刷轴，毛刷板与毛刷轴之间连接有弹簧，滑杆内端固接有楔块，螺纹杆通过螺纹穿接于毛刷轴顶部，螺纹杆下端转动连接有锥块，锥块的斜面摩擦接触于楔块斜面。
9、进一步，还包括有波浪板、球轴和复位弹簧，毛刷轴为伸缩杆结构，且毛刷轴上部分与下部分之间连接有复位弹簧，波浪板固接于打磨台且位于毛刷轴外部，毛刷轴上部固接有球轴，球轴能够滑动嵌于波浪板。
10、进一步，还包括有凸轴、传动齿轮和限位环，限位环转动连接在外部框架内，传动齿轮转动连接于外部框架的内底面，传动齿轮与第一同步齿轮组中的行星齿轮a相啮合，限位环底部设置有齿圈，齿圈啮合于传动齿轮，限位环上部开设有导向槽，放置支架固接有凸轴，凸轴限位滑动于导向槽内，导向槽内设置有高度递减但平滑连通的第一滑槽、第二滑槽和第三滑槽。
11、有益效果为：1、将多个石英晶片衬底分别置于放置支架内，再通过主电机通过转轴带动打磨台中部的打磨头转动，与此同时，转轴通过第一同步齿轮组对万向联轴器传动，万向联轴器将带动放置支架内转盘转动，由此，打磨头能够对旋转的石英晶片衬底边缘进行打磨，相较于现有的采用逐一打磨对石英晶片衬底进行加工的方式，本装置能够同时对四个石英晶片进行打磨加工，且打磨效果统一，提高了石英晶片的生产力。
12、2、转轴通过第二同步齿轮组带动毛刷轴转动，毛刷轴外部的毛刷板能够对摩擦接触的打磨头进行清洁，减少石英碎屑对打磨的影响，通过转动螺纹杆能够调整毛刷板伸出长度，使用十分便捷且实用。
13、3、限位环上部开设有高度递减但平滑连通的第一滑槽、第二滑槽和第三滑槽，通过对固接于放置支架的凸轴进行限位导向，能够自动调整放置支架的倾斜角度，达到了打磨头对石英晶片衬底边缘的上沿、侧面和下沿的均匀打磨，将打磨面的边缘部分进行完美过渡，提高石英晶片衬底的成品质量，提高市场竞争力。
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1.一种用于加工石英晶片的磨边机，包括有外部框架（1）、打磨台（2）、安装架（12）、主电机（3）和转轴（4），转轴（4）转动连接于外部框架（1），主电机（3）对转轴（4）提供动力，安装架（12）固接于外部框架（1）内，安装架（12）上部固接有打磨台（2），转轴（4）穿过打磨台（2），其特征在于，还包括有打磨单元和固定单元，打磨单元包括有滑轨（402）、滑动支架（9）和打磨头（10），转轴（4）上部径向设置有滑轨（402），滑动支架（9）滑动连接在滑轨（402）内，滑动支架（9）离心端连接有打磨头（10），固定单元包括有放置支架（13）、电动推杆（14）、限位杆（15）、第一同步齿轮组（19）、万向联轴器（20）和转盘（21），放置支架（13）转动连接在安装架（12）顶部，放置支架（13）上部通过支架连接有电动推杆（14），放置支架（13）内转动连接有转盘（21），放置支架（13）内侧面设置有能够水平滑动的限位杆（15），限位杆（15）能够对转盘（21）上的石英晶片衬底进行限位，第一同步齿轮组（19）设置在外部框架（1）内，转轴（4）对第一同步齿轮组（19）传动，第一同步齿轮组（
2.根据权利要求1所述的一种用于加工石英晶片的磨边机，其特征在于，打磨单元还包括有螺纹端头（401）、控制环（6）、升降环（7）和连杆（8），转轴（4）顶部固接有螺纹端头（401），控制环（6）通过螺纹连接于螺纹端头（401），控制环（6）底部通过花键转动连接有升降环（7），升降环（7）与滑动支架（9）向心端铰接有连杆（8）。
3.根据权利要求2所述的一种用于加工石英晶片的磨边机，其特征在于，固定单元还包括有将石英晶片衬底校正至转盘（21）中心的校正组件，校正组件包括有移动环（16）和拨杆（17），移动环（16）转动式嵌于放置支架（13）内，移动环（16）内开设有斜向槽（1601），限位杆（15）限位径向滑动于放置支架（13）且同时限位滑动于斜向槽（1601），拨杆（17）固接于移动环（16），拨杆（17）穿过放置支架（13）。
4.根据权利要求3所述的一种用于加工石英晶片的磨边机，其特征在于，打磨头（10）可通过固定螺栓（11）进行更换。
5.根据权利要求4所述的一种用于加工石英晶片的磨边机，其特征在于，电动推杆（14）伸缩端设置有转动的橡胶头（1401），转盘（21）上设置有橡胶垫片（2101）。
6.根据权利要求5所述的一种用于加工石英晶片的磨边机，其特征在于，还包括有第二同步齿轮组（22）和毛刷轴（23），毛刷轴（23）转动连接于打磨台（2），毛刷轴（23）外部设置有毛刷板（2301），转轴（4）通过第二同步齿轮组（22）对毛刷轴（23）传动。
7.根据权利要求6所述的一种用于加工石英晶片的磨边机，其特征在于，还包括有螺纹杆（24）、锥块（25）和楔块（26），毛刷板（2301）通过滑杆滑动穿接于毛刷轴（23），毛刷板（2301）与毛刷轴（23）之间连接有弹簧，滑杆内端固接有楔块（26），螺纹杆（24）通过螺纹穿接于毛刷轴（23）顶部，螺纹杆（24）下端转动连接有锥块（25），锥块（25）的斜面摩擦接触于楔块（26）斜面。
8.根据权利要求7所述的一种用于加工石英晶片的磨边机，其特征在于，还包括有波浪板（27）、球轴（28）和复位弹簧（29），毛刷轴（23）为伸缩杆结构，且毛刷轴（23）上部分与下部分之间连接有复位弹簧（29），波浪板（27）固接于打磨台（2）且位于毛刷轴（23）外部，毛刷轴（23）上部固接有球轴（28），球轴（28）能够滑动嵌于波浪板（27）。
9.根据权利要求8所述的一种用于加工石英晶片的磨边机，其特征在于，还包括有凸轴（30）、传动齿轮（32）和限位环（31），限位环（31）转动连接在外部框架（1）内，传动齿轮（32）转动连接于外部框架（1）的内底面，传动齿轮（32）与第一同步齿轮组（19）相啮合，限位环（31）底部设置有齿圈，齿圈啮合于传动齿轮（32），限位环（31）上部开设有导向槽，放置支架（13）固接有凸轴（30），凸轴（30）限位滑动于导向槽内，导向槽内设置有高度递减但平滑连通的第一滑槽（3101）、第二滑槽（3102）和第三滑槽（3103）。
...【技术特征摘要】
1.一种用于加工石英晶片的磨边机，包括有外部框架（1）、打磨台（2）、安装架（12）、主电机（3）和转轴（4），转轴（4）转动连接于外部框架（1），主电机（3）对转轴（4）提供动力，安装架（12）固接于外部框架（1）内，安装架（12）上部固接有打磨台（2），转轴（4）穿过打磨台（2），其特征在于，还包括有打磨单元和固定单元，打磨单元包括有滑轨（402）、滑动支架（9）和打磨头（10），转轴（4）上部径向设置有滑轨（402），滑动支架（9）滑动连接在滑轨（402）内，滑动支架（9）离心端连接有打磨头（10），固定单元包括有放置支架（13）、电动推杆（14）、限位杆（15）、第一同步齿轮组（19）、万向联轴器（20）和转盘（21），放置支架（13）转动连接在安装架（12）顶部，放置支架（13）上部通过支架连接有电动推杆（14），放置支架（13）内转动连接有转盘（21），放置支架（13）内侧面设置有能够水平滑动的限位杆（15），限位杆（15）能够对转盘（21）上的石英晶片衬底进行限位，第一同步齿轮组（19）设置在外部框架（1）内，转轴（4）对第一同步齿轮组（19）传动，第一同步齿轮组（19）通过万向联轴器（20）对转盘（21）传动，进而带动石英晶片衬底转动，打磨头（10）随转轴（4）转动并对石英晶片衬底进行便于打磨。
2.根据权利要求1所述的一种用于加工石英晶片的磨边机，其特征在于，打磨单元还包括有螺纹端头（401）、控制环（6）、升降环（7）和连杆（8），转轴（4）顶部固接有螺纹端头（401），控制环（6）通过螺纹连接于螺纹端头（401），控制环（6）底部通过花键转动连接有升降环（7），升降环（7）与滑动支架（9）向心端铰接有连杆（8）。
3.根据权利要求2所述的一种用于加工石英晶片的磨边机，其特征在于，固定单元还包括有将石英晶片衬底校正至转盘（21）中心的校正组件，校正组件包括有移动环（16）和拨杆（17），移动环（16）转动式嵌于放置支架（13）内，移动环（16）内开设有斜向槽（1601），限位杆（15）限位径向滑动于放置支架（13）且同时限位滑动于斜向槽（1601），拨杆（17）固接于移动环（16），拨杆（17）穿过放...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘兴波，郭洪，谢超平，
申请(专利权)人：珠海东精大电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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