【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体加工，具体为一种氮化硅基板裁切装置。
技术介绍
1、氮化硅基板通常具有较高的硬度和脆性，因此需要采用特定的切割技术，如钻孔切割、激光切割或者电子束切割。这些技术能够在保证裁切精度的同时，尽量减少裂纹和缺陷的产生。
2、专利公告号为cn220498088u的专利涉及基板裁切装置
，尤其涉及一种氮化硅基板裁切装置。其技术方案包括裁切台与激光裁切组件，所述裁切台一侧开设有矩形孔，所述矩形孔内转动安装有多个传送辊，所述裁切台下方设置有两个气缸，所述气缸的活塞杆固定有组装板，所述组装板上转动安装有连接杆，组装板上固定安装有伺服电机，伺服电机的输出轴与连接杆固定，所述连接杆一端固定安装有安装槽，所述安装槽内滑动安装有滑动块，所述安装槽内部设置有带动滑动块振动的振动装置，滑动块的一侧固定安装有夹持装置。本专利可以在传送基板的同时将基板上残留的切割碎屑清理干净，使生产的基板达到质量标准，防止残留的切割碎屑污染后续的加工设备。
3、上述专利中，可以在传送基板的同时将基板上残留的切割碎屑清理干净，使生产的基板达到质量标准，防止残留的切割碎屑污染后续的加工设备，但是目前测量设备存在以下问题：基板表面如果存在杂质会影响后续的工艺步骤或设备的性能，且基板在传送时如果不进行摆正会导致基板在传送过程中倾向于靠近传送带的侧边导致与传送带摩擦从而造成磨损。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种氮化硅基板裁切装置，解决了上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种氮化硅基板裁切装置，包括机架一和机架二，所述机架一的内壁设置有传送带一，所述传送带一的内部设置有传送辊一，所述机架一的右侧设置有旋转电机，所述传送辊一固定安装在旋转电机的输出端，所述传送辊一转动贯穿机架一内外壁，所述机架二的内壁设置有传送带二，所述传送带二的内部设置有传送辊二，所述机架二的表面开设有槽孔，所述机架二的内壁开设有三角凹槽，所述机架二的右侧设置有旋转电机，所述传送辊二固定安装在旋转电机的输出端，所述传送辊二转动贯穿机架二内外壁，所述机架一的上方设置有预处理装置，所述机架二的上方设置有切割装置和调节装置，所述切割装置包括压紧装置，所述压紧装置包括防压伤装置；其中，所述预处理装置包括静电毛刷、丝杆、滑动块、推动板、活塞杆、支撑架、气管和喷嘴，所述静电毛刷转动贯穿机架一内外壁，所述静电毛刷通过一号皮带与传送辊一传动连接，所述丝杆转动贯穿机架一内外壁，所述丝杆通过二号皮带与传送辊一传动连接，所述滑动块滑动安装在丝杆的圆周面，所述推动板固定安装在滑动块的内壁，所述活塞杆固定安装在滑动块的内壁，所述支撑架固定安装在机架一的内壁，所述气管固定安装在支撑架的内壁，所述活塞杆滑动安装在气管的内壁，所述喷嘴固定安装在气管的底部，通过旋转电机转动带动传送辊一转动，传送辊一转动驱动传送带一转动，基板通过传送带一进行输送，传送辊一转动通过一号皮带带动静电毛刷转动，当基板接触到静电毛刷时基板表面的灰尘和静电会被静电毛刷去除，能够有效地去除附着在基板表面的灰尘、颗粒和其他杂质。
3、根据上述技术方案，所述丝杆的两侧开设有螺旋槽，所述滑动块与丝杆的螺旋槽螺纹连接，通过两侧设置的螺旋槽带动滑动块向传送带一的中心进行左右往复水平移动，实现将基板推至传送带一中心，所述气管与喷嘴连通，所述活塞杆与气管接触，活塞杆移动会挤压气管中的气体，使得气体通过喷嘴进行喷出。
4、根据上述技术方案，所述切割装置包括放置板、支架、电动推杆、固定架、固定杆和裁切板，所述放置板固定安装在机架二的内壁，所述支架固定安装在机架二的底部，所述电动推杆的固定端固定安装在支架的底部，所述固定架固定安装在电动推杆的活动端，所述固定杆固定安装在固定架的后侧，所述裁切板滑动安装在机架二的槽孔处，电动推杆移动时带动固定架移动，固定架移动带动固定杆移动，固定杆移动会与裁切板接触使得裁切板701向下移动实现对基板进行裁切。
5、根据上述技术方案，所述放置板的表面开设有槽孔，所述裁切板与机架二之间设置有一号弹簧，所述裁切板的顶部设置有橡胶块，防止部件长时间接触造成磨损，所述裁切板的底部设置有刀片。
6、根据上述技术方案，所述压紧装置包括推板、长板、压板、二号弹簧、推进杆、限位杆和三角块，所述推板固定安装在电动推杆活动端的底部，所述长板固定安装在支架的后侧，所述压板滑动贯穿推板，所述二号弹簧设置在推板与压板之间，所述推进杆固定安装在压板的顶部，所述限位杆滑动安装在推板的顶部，所述三角块固定安装在长板的前侧，当将基板推动至于按钮接触时，电动推杆的活动端向下移动使得推板向下移动，推板向下移动带动限位杆向下移动，推板向下移动带动压板向下移动，压板向下移动实现对基板进行压紧。
7、根据上述技术方案，所述限位杆的前侧设置为斜面，所述限位杆与推板之间设置有三号弹簧，压板受到挤压会向上移动使得推进杆向上移动与限位杆的斜面接触，使得限位杆向三角块方向移动直至与长板接触。
8、根据上述技术方案，所述调节装置包括握把、阻挡板、圆弧块、四号弹簧、按钮、转杆一、转杆二、链式履带、推块和斜板，所述阻挡板滑动安装在机架二的内壁，所述握把固定安装在阻挡板的顶部，所述圆弧块滑动贯穿阻挡板，所述四号弹簧设置在圆弧块与阻挡板之间，所述按钮固定安装在阻挡板的前侧，所述转杆一通过三号皮带与传送辊二传动连接，所述转杆一转动贯穿机架二内外壁，所述转杆二通过四号皮带与转杆一传动连接，所述转杆二转动贯穿机架二内外壁，所述链式履带设置在转杆一与转杆二的圆周面，所述推块固定安装在链式履带的顶部，所述斜板固定安装在机架二的内壁，通过移动握把可将圆弧块插入其他的三角凹槽中实现对裁切尺寸进行调节。
9、根据上述技术方案，所述圆弧块与机架二的三角凹槽接触，圆弧块移动使得四号弹簧产生形变此时圆弧块脱离三角凹槽的限制，所述按钮与电动推杆电性连接。
10、本专利技术提供了一种氮化硅基板裁切装置，具备以下有益效果：
11、(1)该专利技术，通过预处理装置的设置，基板通过传送带一进行输送，传送辊一转动通过一号皮带带动静电毛刷转动，当基板接触到静电毛刷时基板表面的灰尘和静电会被静电毛刷去除，能够有效地去除附着在基板表面的灰尘、颗粒和其他杂质，这些杂质可能会影响到后续的工艺步骤或设备的性能，可以帮助中和基板表面的静电电荷，减少静电吸附效应，这有助于防止粒子或其他污染物附着在基板上，通过两侧设置的螺旋槽带动滑动块向传送带一的中心进行左右往复水平移动，实现将基板推至传送带一中心，防止基板在传送过程中倾向于靠近传送带的侧边导致与传送带摩擦从而造成磨损，延长传送带和基板的使用寿命，当基板集中在传送带的中心位置时，更容易进行后续的处理、加工或分拣，滑动块移动时带动活塞杆移动，活塞杆移动会挤压气管中的气体，使得气体通过喷嘴进行喷出，确保基板表面洁净，避免在后续工艺步骤中引入污染。
12、(2)该专利技术，通过切割装置的设置本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种氮化硅基板裁切装置，包括机架一(1)和机架二(3)，其特征在于：所述机架一(1)的内壁设置有传送带一(2)，所述传送带一(2)的内部设置有传送辊一(201)，所述机架一(1)的右侧设置有旋转电机，所述传送辊一(201)固定安装在旋转电机的输出端，所述传送辊一(201)转动贯穿机架一(1)内外壁，所述机架二(3)的内壁设置有传送带二(4)，所述传送带二(4)的内部设置有传送辊二(301)，所述机架二(3)的表面开设有槽孔，所述机架二(3)的内壁开设有三角凹槽，所述机架二(3)的右侧设置有旋转电机，所述传送辊二(301)固定安装在旋转电机的输出端，所述传送辊二(301)转动贯穿机架二(3)内外壁，所述机架一(1)的上方设置有预处理装置，所述机架二(3)的上方设置有切割装置和调节装置，所述切割装置包括压紧装置，所述压紧装置包括防压伤装置；
2.根据权利要求1所述的一种氮化硅基板裁切装置，其特征在于：所述丝杆(502)的两侧开设有螺旋槽，所述滑动块(503)与丝杆(502)的螺旋槽螺纹连接，所述气管(507)与喷嘴(508)连通，所述活塞杆(505)与气管(507)接
3.根据权利要求2所述的一种氮化硅基板裁切装置，其特征在于：所述切割装置包括放置板(601)、支架(602)、电动推杆(603)、固定架(604)、固定杆(605)和裁切板(701)，所述放置板(601)固定安装在机架二(3)的内壁，所述支架(602)固定安装在机架二(3)的底部，所述电动推杆(603)的固定端固定安装在支架(602)的底部，所述固定架(604)固定安装在电动推杆(603)的活动端，所述固定杆(605)固定安装在固定架(604)的后侧，所述裁切板(701)滑动安装在机架二(3)的槽孔处。
4.根据权利要求3所述的一种氮化硅基板裁切装置，其特征在于：所述放置板(601)的表面开设有槽孔，所述裁切板(701)与机架二(3)之间设置有一号弹簧，所述裁切板(701)的顶部设置有橡胶块，所述裁切板(701)的底部设置有刀片。
5.根据权利要求4所述的一种氮化硅基板裁切装置，其特征在于：所述压紧装置包括推板(606)、长板(607)、压板(608)、二号弹簧(609)、推进杆(610)、限位杆(611)和三角块(612)，所述推板(606)固定安装在电动推杆(603)活动端的底部，所述长板(607)固定安装在支架(602)的后侧，所述压板(608)滑动贯穿推板(606)，所述二号弹簧(609)设置在推板(606)与压板(608)之间，所述推进杆(610)固定安装在压板(608)的顶部，所述限位杆(611)滑动安装在推板(606)的顶部，所述三角块(612)固定安装在长板(607)的前侧。
6.根据权利要求5所述的一种氮化硅基板裁切装置，其特征在于：所述限位杆(611)的前侧设置为斜面，所述限位杆(611)与推板(606)之间设置有三号弹簧。
7.根据权利要求6所述的一种氮化硅基板裁切装置，其特征在于：所述调节装置包括握把(702)、阻挡板(703)、圆弧块(704)、四号弹簧(705)、按钮(706)、转杆一(707)、转杆二(708)、链式履带(709)、推块(710)和斜板(711)，所述阻挡板(703)滑动安装在机架二(3)的内壁，所述握把(702)固定安装在阻挡板(703)的顶部，所述圆弧块(704)滑动贯穿阻挡板(703)，所述四号弹簧(705)设置在圆弧块(704)与阻挡板(703)之间，所述按钮(706)固定安装在阻挡板(703)的前侧，所述转杆一(707)通过三号皮带与传送辊二(301)传动连接，所述转杆一(707)转动贯穿机架二(3)内外壁，所述转杆二(708)通过四号皮带与转杆一(707)传动连接，所述转杆二(708)转动贯穿机架二(3)内外壁，所述链式履带(709)设置在转杆一(707)与转杆二(708)的圆周面，所述推块(710)固定安装在链式履带(709)的顶部，所述斜板(711)固定安装在机架二(3)的内壁。
8.根据权利要求7所述的一种氮化硅基板裁切装置，其特征在于：所述圆弧块(704)与机架二(3)的三角凹槽接触，所述按钮(706)与电动推杆(603)电性连接。
...【技术特征摘要】
1.一种氮化硅基板裁切装置，包括机架一(1)和机架二(3)，其特征在于：所述机架一(1)的内壁设置有传送带一(2)，所述传送带一(2)的内部设置有传送辊一(201)，所述机架一(1)的右侧设置有旋转电机，所述传送辊一(201)固定安装在旋转电机的输出端，所述传送辊一(201)转动贯穿机架一(1)内外壁，所述机架二(3)的内壁设置有传送带二(4)，所述传送带二(4)的内部设置有传送辊二(301)，所述机架二(3)的表面开设有槽孔，所述机架二(3)的内壁开设有三角凹槽，所述机架二(3)的右侧设置有旋转电机，所述传送辊二(301)固定安装在旋转电机的输出端，所述传送辊二(301)转动贯穿机架二(3)内外壁，所述机架一(1)的上方设置有预处理装置，所述机架二(3)的上方设置有切割装置和调节装置，所述切割装置包括压紧装置，所述压紧装置包括防压伤装置；
2.根据权利要求1所述的一种氮化硅基板裁切装置，其特征在于：所述丝杆(502)的两侧开设有螺旋槽，所述滑动块(503)与丝杆(502)的螺旋槽螺纹连接，所述气管(507)与喷嘴(508)连通，所述活塞杆(505)与气管(507)接触。
3.根据权利要求2所述的一种氮化硅基板裁切装置，其特征在于：所述切割装置包括放置板(601)、支架(602)、电动推杆(603)、固定架(604)、固定杆(605)和裁切板(701)，所述放置板(601)固定安装在机架二(3)的内壁，所述支架(602)固定安装在机架二(3)的底部，所述电动推杆(603)的固定端固定安装在支架(602)的底部，所述固定架(604)固定安装在电动推杆(603)的活动端，所述固定杆(605)固定安装在固定架(604)的后侧，所述裁切板(701)滑动安装在机架二(3)的槽孔处。
4.根据权利要求3所述的一种氮化硅基板裁切装置，其特征在于：所述放置板(601)的表面开设有槽孔，所述裁切板(701)与机架二(3)之间设置有一号弹簧，所述裁切板(701)的顶部设置有橡胶块，所述裁切板(701)的底部设置有刀片。
5.根据权利要求4所述的一种氮...
【专利技术属性】
技术研发人员：杜建周，张继才，江春华，颜井意，
申请(专利权)人：福建美士邦精细陶瓷科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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