【技术实现步骤摘要】
本申请涉及母线槽，具体而言，涉及一种基于母线槽提高芯片制程中无尘室安全性的方法和装置。
技术介绍
1、在芯片制程无尘室中会使用到很多特殊气体，如：氢气(h2)、甲烷(ch4)、硅烷(sih4)、磷化氢(ph3)和乙炔(c2h2)等，这些气体属于易燃易爆气体，当这些气体发生泄漏后，如果无尘室中存在温度较高的物体，则容易发生燃烧，甚至是爆炸。
2、在无尘室中，为了满足大功率用电设备的用电需求，通常使用母线槽来为设备供电，但是母线槽在使用过程中会产生大量的热，且随着使用时间的增加，由于热胀冷缩，母线槽的连接处会发生松动，松动处会有电弧现象产生，这就给无尘室的安全带来了严重隐患。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请实施例提供了一种基于母线槽提高芯片制程中无尘室安全性的方法和装置，以提高芯片制程中无尘室的安全性。
2、第一方面，本申请实施例提供了一种基于母线槽提高芯片制程中无尘室安全性的方法，所述方法针对设置在芯片制程无尘室中的母线槽系统，所述母线槽系统包括：第一母线槽和第二母线槽，所述第一母线槽和所述第二母线槽均包括：第一保护壳，冷却装置和设置在第一保护壳内的n条母线，n为正整数，所述冷却装置包括：n+1条冷却管路、循环电机和散热器，所述母线和所述冷却管路交替排布，所述循环电机的入口与所述散热器的出口通过管路连通，所述散热器的入口通过管路与每条冷却管路的一端连通，所述循环电机的出口与每条冷却管路的另一端连通，每条冷却管路中均填充满冷却剂，冷却剂在所述循环电机的作用下
3、根据所述母线槽系统的标准电流噪声信号对获取到的所述母线槽系统当前的第一电流噪声信号进行去噪处理，得到第二电流噪声信号；
4、分别对所述第二电流噪声信号和标准电弧信号进行特征提取，获得所述第二电流噪声信号对应的第一特征帧序列，以及所述标准电弧信号对应的第二特征帧序列；
5、将所述第一特征帧序列和所述第二特征帧序列对齐，生成对齐序列帧；
6、判断所述对齐序列帧中目标特征是否为连续重复出现，且重复出现时的时间间隔相等；
7、如果是，则发出所述母线槽系统中发生电弧现象的提示信息。
8、可选地，所述母线槽系统还包括第二保护壳，所述第二保护壳包围所述第一母线槽的第一连接端与所述第二母线槽的第二连接端，所述第一保护壳与所述第二保护壳固定连接。
9、可选地，所述母线槽系统还包括：温度传感器，所述温度传感器用于检测所述循环电机出口处的温度，所述循环电机的功率与所述温度成正比，所述方法还包括：
10、在获取到所述温度传感器采集到的温度值后，根据所述温度值对所述循环电机的功率进行调整。
11、可选地，所述冷却剂为天然酯绝缘油。
12、可选地，所述芯片制程无尘室中还设置有多个红外热像仪，每个所述红外热像仪与待成像的母线槽的第一位置成对设置，所述方法还包括：
13、获取各所述红外热像仪拍摄到的热红外图像；
14、针对每个热红外图像，对该热红外图像中像素点的灰度值进行两两比较，判断该热红外图像中是否存在差值超过预设阈值的像素点对；
15、如果存在，则确定超过预设阈值的像素点对中灰度值较高的像素构成的区域的第二位置；
16、将与该热红外图像对应的所述第一位置和所述第二位置进行上报。
17、第二方面，本申请实施例提供了一种基于母线槽提高芯片制程中无尘室安全性的装置，所述装置针对设置在芯片制程无尘室中的母线槽系统，所述母线槽系统包括：第一母线槽和第二母线槽，所述第一母线槽和所述第二母线槽均包括：第一保护壳，冷却装置和设置在第一保护壳内的n条母线，n为正整数，所述冷却装置包括：n+1条冷却管路、循环电机和散热器，所述母线和所述冷却管路交替排布，所述循环电机的入口与所述散热器的出口通过管路连通，所述散热器的入口通过管路与每条冷却管路的一端连通，所述循环电机的出口与每条冷却管路的另一端连通，每条冷却管路中均填充满冷却剂，冷却剂在所述循环电机的作用下进行循环流动，所述散热器对冷却剂进行散热，所述冷却管路由导热金属材料制成，所述母线和所述冷却管路的宽度相等，所述母线和所述冷却管路之间设置有导热硅胶绝缘片，所述第一母线槽和所述第二母线槽均包括第一连接端和第二连接端，n条母线的一端与所述第一连接端连接，n条母线的另一端与所述第二连接端连接，所述第一母线槽和所述第二母线槽交替连接排布，所述第一母线槽的第一连接端与所述第二母线槽的第二连接端连接，所述第一母线槽的第一连接端包括至少一个凹陷部，所述第二母线槽的第二连接端包括至少一个凸出部，所述凸出部的数量与所述凹陷部的数量相等，所述第一母线槽的第一连接端与所述第二母线槽的第二连接端通过将所述凸出部插入到所述凹陷部后接触连接，所述凸出部包括至少一个半圆形弹性定位销，所述凹陷部包括至少一个半圆形定位孔，所述定位销的数量和所述定位孔的数量相等，所述定位销和所述定位孔用于对所述第一母线槽的第一连接端与所述第二母线槽的第二连接端进行定位连接，所述装置包括：
18、处理单元，用于根据所述母线槽系统的标准电流噪声信号对获取到的所述母线槽系统当前的第一电流噪声信号进行去噪处理，得到第二电流噪声信号；
19、第一获取单元，用于分别对所述第二电流噪声信号和标准电弧信号进行特征提取，获得所述第二电流噪声信号对应的第一特征帧序列，以及所述标准电弧信号对应的第二特征帧序列；
20、对齐单元，用于将所述第一特征帧序列和所述第二特征帧序列对齐，生成对齐序列帧；
21、判断单元，用于判断所述对齐序列帧中目标特征是否为连续重复出现，且重复出现时的时间间隔相等；
22、提示单元，用于如果是，则发出所述母线槽系统中发生电弧现象的提示信息。
23、可选地，所述母线槽系统还包括第二保护壳，所述第二保护壳包围所述第一母线槽的第一连接端与所述第二母线槽的第二连接端，所述第一保护壳与所述第二保护壳本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种基于母线槽提高芯片制程中无尘室安全性的方法，其特征在于，所述方法针对设置在芯片制程无尘室中的母线槽系统，所述母线槽系统包括：第一母线槽和第二母线槽，所述第一母线槽和所述第二母线槽均包括：第一保护壳，冷却装置和设置在第一保护壳内的N条母线，N为正整数，所述冷却装置包括：N+1条冷却管路、循环电机和散热器，所述母线和所述冷却管路交替排布，所述循环电机的入口与所述散热器的出口通过管路连通，所述散热器的入口通过管路与每条冷却管路的一端连通，所述循环电机的出口与每条冷却管路的另一端连通，每条冷却管路中均填充满冷却剂，冷却剂在所述循环电机的作用下进行循环流动，所述散热器对冷却剂进行散热，所述冷却管路由导热金属材料制成，所述母线和所述冷却管路的宽度相等，所述母线和所述冷却管路之间设置有导热硅胶绝缘片，所述母线和所述冷却管路通过所述导热硅胶绝缘片相接触，所述第一母线槽和所述第二母线槽均包括第一连接端和第二连接端，N条母线的一端与所述第一连接端连接，N条母线的另一端与所述第二连接端连接，所述第一母线槽和所述第二母线槽交替连接排布，所述第一母线槽的第一连接端与所述第二母线槽的第二连接端连接，
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述母线槽系统还包括第二保护壳，所述第二保护壳包围所述第一母线槽的第一连接端与所述第二母线槽的第二连接端，所述第一保护壳与所述第二保护壳固定连接。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述母线槽系统还包括：温度传感器，所述温度传感器用于检测所述循环电机出口处的温度，所述循环电机的功率与所述温度成正比，所述方法还包括：
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述冷却剂为天然酯绝缘油。
5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述芯片制程无尘室中还设置有多个红外热像仪，每个所述红外热像仪与待成像的母线槽的第一位置成对设置，所述方法还包括：
6.一种基于母线槽提高芯片制程中无尘室安全性的装置，其特征在于，所述装置针对设置在芯片制程无尘室中的母线槽系统，所述母线槽系统包括：第一母线槽和第二母线槽，所述第一母线槽和所述第二母线槽均包括：第一保护壳，冷却装置和设置在第一保护壳内的N条母线，N为正整数，所述冷却装置包括：N+1条冷却管路、循环电机和散热器，所述母线和所述冷却管路交替排布，所述循环电机的入口与所述散热器的出口通过管路连通，所述散热器的入口通过管路与每条冷却管路的一端连通，所述循环电机的出口与每条冷却管路的另一端连通，每条冷却管路中均填充满冷却剂，冷却剂在所述循环电机的作用下进行循环流动，所述散热器对冷却剂进行散热，所述冷却管路由导热金属材料制成，所述母线和所述冷却管路的宽度相等，所述母线和所述冷却管路之间设置有导热硅胶绝缘片，所述第一母线槽和所述第二母线槽均包括第一连接端和第二连接端，N条母线的一端与所述第一连接端连接，N条母线的另一端与所述第二连接端连接，所述第一母线槽和所述第二母线槽交替连接排布，所述第一母线槽的第一连接端与所述第二母线槽的第二连接端连接，所述第一母线槽的第一连接端包括至少一个凹陷部，所述第二母线槽的第二连接端包括至少一个凸出部，所述凸出部的数量与所述凹陷部的数量相等，所述第一母线槽的第一连接端与所述第二母线槽的第二连接端通过将所述凸出部插入到所述凹陷部后接触连接，所述凸出部包括至少一个半圆形弹性定位销，所述凹陷部包括至少一个半圆形定位孔，所述定位销的数量和所述定位孔的数量相等，所述定位销和所述定位孔用于对所述第一母线槽的第一连接端与所述第二母线槽的第二连接端进行定位连接，所述装置包括：
7.如权利要求6所述的装置，其特征在于，所述母线槽系统还包括第二保护壳，所述第二保护壳包围所述第一母线槽的第一连接端与所述第二母线槽的第二连接端，所述第一保护壳与所述第二保护壳固定连接。
8.如权利要求6所述的装置，其特征在于，所述母线槽系统还包括：温度传感器，所述温度传感器用于检测所述循环电机出口处的温度，所述循环电机的功率与所述温度成正比，所述装置还包括：
9.如权利要求6所述的装置，其特征在于，所述冷却剂为天然酯绝缘油。
10.如权利要...
【技术特征摘要】
1.一种基于母线槽提高芯片制程中无尘室安全性的方法，其特征在于，所述方法针对设置在芯片制程无尘室中的母线槽系统，所述母线槽系统包括：第一母线槽和第二母线槽，所述第一母线槽和所述第二母线槽均包括：第一保护壳，冷却装置和设置在第一保护壳内的n条母线，n为正整数，所述冷却装置包括：n+1条冷却管路、循环电机和散热器，所述母线和所述冷却管路交替排布，所述循环电机的入口与所述散热器的出口通过管路连通，所述散热器的入口通过管路与每条冷却管路的一端连通，所述循环电机的出口与每条冷却管路的另一端连通，每条冷却管路中均填充满冷却剂，冷却剂在所述循环电机的作用下进行循环流动，所述散热器对冷却剂进行散热，所述冷却管路由导热金属材料制成，所述母线和所述冷却管路的宽度相等，所述母线和所述冷却管路之间设置有导热硅胶绝缘片，所述母线和所述冷却管路通过所述导热硅胶绝缘片相接触，所述第一母线槽和所述第二母线槽均包括第一连接端和第二连接端，n条母线的一端与所述第一连接端连接，n条母线的另一端与所述第二连接端连接，所述第一母线槽和所述第二母线槽交替连接排布，所述第一母线槽的第一连接端与所述第二母线槽的第二连接端连接，所述第一母线槽的第一连接端包括至少一个凹陷部，所述第二母线槽的第二连接端包括至少一个凸出部，所述凸出部的数量与所述凹陷部的数量相等，所述第一母线槽的第一连接端与所述第二母线槽的第二连接端通过将所述凸出部插入到所述凹陷部后接触连接，所述凸出部包括至少一个半圆形弹性定位销，所述凹陷部包括至少一个半圆形定位孔，所述定位销的数量和所述定位孔的数量相等，所述定位销和所述定位孔用于对所述第一母线槽的第一连接端与所述第二母线槽的第二连接端进行定位连接，所述方法包括：
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述母线槽系统还包括第二保护壳，所述第二保护壳包围所述第一母线槽的第一连接端与所述第二母线槽的第二连接端，所述第一保护壳与所述第二保护壳固定连接。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述母线槽系统还包括：温度传感器，所述温度传感器用于检测所述循环电机出口处的温度，所述循环电机的功率与所述温度成正比，所述方法还包括：
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述冷却剂为天然酯绝缘油。
5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述芯片制程无尘室中还设置有多个红外热像仪，每个所述红外热像仪与待成像的母线槽的第一位置成对设置...
【专利技术属性】
技术研发人员：鲁川，
申请(专利权)人：广东思科通用电力科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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