【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆测试，尤其涉及一种氟油喷涂系统。
技术介绍
1、考虑到氟油具有高电介质强度、很好的热稳定性和热导率，因此，在半导体晶圆(wafer)的性能测试中，在晶圆上喷涂氟油可以极大帮助提高测试的精度和效率。特别在高压(600v以上)测试中，必须喷涂氟油以避免发生打火等问题，从而确保测试的安全性和准确性。
2、目前，在晶圆测试过程中，仍依赖手动喷涂氟油操作进行晶圆测试。由于氟油的挥发性极强，一片晶圆测试过程常常需多次喷涂，才能避免打火等问题，这种方法效率不高且人工成本显著。
技术实现思路
1、为减轻人工喷涂氟油负担，提高晶圆测试效率，本技术提出了一种氟油喷涂系统。
2、该系统包括：氟油喷涂装置、探针台装置和测试机；
3、测试机，通过第一通讯线与氟油喷涂装置连接，以实现对氟油喷涂装置的控制；
4、测试机，通过第二通讯线与探针台装置连接，以实现对探针台装置的控制。
5、在上述系统中，将测试机分别与氟油喷涂装置、探针台装置相连，在晶圆处于干燥状态时，通过第二通讯线控制探针台装置移动晶圆至氟油喷涂位置，测试机通过第一通讯线控制氟油喷涂装置以实现对晶圆进行氟油喷涂，在晶圆被喷涂氟油后，测试机通过第二通讯线控制探针台装置移动晶圆以实现对晶圆的性能测试，在晶圆性能测试过程中，无需人工进行氟油喷涂，减少工作量，提高晶圆检测效率。
6、在一种可选的实施方式中，氟油喷涂装置包括喷嘴和供油设备。
7、在一种可选的实施方
8、在一种可选的实施方式中，固定面板上设置有开孔，喷嘴通过开孔向晶圆喷涂氟油。
9、通过上述实施方式，在探针台装置的固定面板上设置开孔，以便氟油喷涂装置可以通过该开孔向晶圆喷涂氟油。
10、在一种可选的实施方式中，测试机包括探针，探针用于实现对晶圆的性能测试。
11、在一种可选的实施方式中，探针台装置还包括针卡，针卡用于固定探针。
12、在一种可选的实施方式中，供油设备外挂于探针台装置上。
13、在一种可选的实施方式中，喷嘴将氟油以雾化的形式喷向晶圆。
14、在一种可选的实施方式中，喷嘴位于开孔的上方。
15、在一种可选的实施方式中，喷嘴和供油设备通过油管连接。
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1.一种氟油喷涂系统，其特征在于，所述系统包括：氟油喷涂装置、探针台装置和测试机；
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述测试机包括探针，所述探针用于实现对晶圆的性能测试。
6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述探针台装置还包括针卡，所述针卡用于固定所述探针。
7.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述供油设备外挂于所述探针台装置上。
8.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述喷嘴将氟油以雾化的形式喷向晶圆。
9.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述喷嘴位于所述开孔的上方。
10.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述喷嘴和所述供油设备通过油管连接。
【技术特征摘要】
1.一种氟油喷涂系统，其特征在于，所述系统包括：氟油喷涂装置、探针台装置和测试机；
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述测试机包括探针，所述探针用于实现对晶圆的性能测试。
6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：招文浩，陈碧琴，钟有权，
申请(专利权)人：佛山市联动科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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