一种晶圆翻转装置制造方法及图纸

本申请涉及一种晶圆翻转装置，通过机械手将晶圆放置到夹持移动座处，夹持驱动器驱动两侧的夹持移动座靠近从而夹持住晶圆，旋转驱动器驱动旋转架连同夹持着晶圆的夹持移动座旋转度，外框架底部具有接头，接头与抽气设备连接，抽气设备工作时，可以将运动部件运动时的碎屑抽走，防止碎屑对晶圆产生影响，保护晶圆安全。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于晶圆生产设备，尤其是涉及一种晶圆翻转装置。

技术介绍

1、在现有晶圆清洗工艺流程中，通常需要处理晶圆的两个面。当晶圆处理完一个面后，就需要晶圆翻转机构对晶圆进行翻转，从而对另一个面进行处理。

2、中国专利文献cn114999995a公开了一种翻转机构，包括机架和两组同步夹持多个晶圆径向两侧的夹持机构，机架包括底板和垂直连接于底板相对两侧的侧板，两组夹持机构分别穿过两个侧板并连接用于控制两组夹持机构相互靠近并夹持晶圆两侧的第一驱动装置，侧板连接用于控制两组夹持机构在平行于侧板的平面内同步枢转的驱动组件。同时还设置有承接组件来对夹持前的晶圆提供支撑和定位，晶圆需要从机械手上先进入承接组件，再由夹持机构夹持晶圆后再进行翻转。然而，该机构中由于活动组件较多，机构在运动时，不了避免地产生碎屑，容易对晶圆造成损坏。

技术实现思路

1、本技术要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种机械结构更加简单、晶圆更加安全的多传感器定位晶圆翻转装置。

2、本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：

3、一种晶圆翻转装置，包括：

4、外框架，内部具有安装空间，至少前端具有开口；

5、旋转架，转动地设置在外框架内；

6、旋转驱动器，用于驱动旋转架转动；

7、夹持移动座，分别设置在旋转架相对的两侧，每侧的所述夹持移动座上设置有至少一组夹持臂，所述夹持臂上设置有用于夹持晶圆的固定柱；

8、夹持驱动器，设置在旋转架上，用于驱动两侧的夹持移动座靠近或者远离；

9、所述外框架底部具有接头，所述接头与抽气设备连接，以将外框架内的碎屑抽走。

10、优选地，本技术的晶圆翻转装置，所述旋转驱动器能够驱动旋转架倾斜，当夹持移动座未夹持晶圆时，所述旋转架倾斜后再由抽气设备进行抽气。

11、优选地，本技术的晶圆翻转装置，所述夹持移动座为两组，分别能够对两组若干片晶圆进行翻转。

12、优选地，本技术的晶圆翻转装置，每个夹持移动座通过若干直线轴承连接在旋转架上，能够沿着直线轴承运动。

13、优选地，本技术的晶圆翻转装置，旋转架通过转轴连接在外框架上，所述夹持驱动器为气缸，所述转轴为中空以供气缸的气管从中空处穿过以与气缸连接，供气设备设置在外框架顶部。

14、优选地，本技术的晶圆翻转装置，所述旋转架外侧设置气管将所有所述夹持驱动器连接。

15、优选地，本技术的晶圆翻转装置，所述旋转架的转轴上设置有限位块，外框架上设置有阻挡块，所述限位块随转轴旋转时，接触到阻挡块时使转轴停止旋转，从而对所述旋转架旋转位置进行限制。

16、优选地，本技术的晶圆翻转装置，所述旋转驱动器通过联轴器与旋转架的转轴连接，从而驱动旋转架旋转。

17、优选地，本技术的晶圆翻转装置，所述联轴器为十字滑块联轴器。

18、本技术的有益效果是：

19、本技术的晶圆翻转装置，通过机械手将晶圆放置到夹持移动座处，夹持驱动器驱动两侧的夹持移动座靠近从而夹持住晶圆，旋转驱动器驱动旋转架连同夹持着晶圆的夹持移动座旋转度，外框架底部具有接头，接头与抽气设备连接，抽气设备工作时，可以将运动部件运动时的碎屑抽走，防止碎屑对晶圆产生影响，保护晶圆安全。

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【技术保护点】

1.一种晶圆翻转装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆翻转装置，其特征在于，所述旋转驱动器(3)能够驱动旋转架(2)倾斜，当夹持移动座(4)未夹持晶圆时，所述旋转架(2)倾斜后再由抽气设备进行抽气。

3.根据权利要求1所述的晶圆翻转装置，其特征在于，所述夹持移动座(4)为两组，分别能够对两组若干片晶圆进行翻转。

4.根据权利要求1所述的晶圆翻转装置，其特征在于，每个夹持移动座(4)通过若干直线轴承(43)连接在旋转架(2)上，能够沿着直线轴承(43)运动。

5.根据权利要求1所述的晶圆翻转装置，其特征在于，旋转架(2)通过转轴(20)连接在外框架(1)上，所述夹持驱动器(5)为气缸，所述转轴(20)为中空以供气缸的气管从中空处穿过以与气缸连接，供气设备(8)设置在外框架(1)顶部。

6.根据权利要求5所述的晶圆翻转装置，其特征在于，所述旋转架(2)外侧设置气管将所有所述夹持驱动器(5)连接。

7.根据权利要求1所述的晶圆翻转装置，其特征在于，所述旋转架(2)的转轴(20)上设置有限位块(21)，外框架(1)上设置有阻挡块(22)，所述限位块(21)随转轴旋转时，接触到阻挡块(22)时使转轴停止旋转，从而对所述旋转架(2)旋转位置进行限制。

8.根据权利要求1所述的晶圆翻转装置，其特征在于，所述旋转驱动器(3)通过联轴器(31)与旋转架(2)的转轴连接，从而驱动旋转架(2)旋转。

9.根据权利要求8所述的晶圆翻转装置，其特征在于，所述联轴器(31)为十字滑块联轴器。

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【技术特征摘要】

1.一种晶圆翻转装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆翻转装置，其特征在于，所述旋转驱动器(3)能够驱动旋转架(2)倾斜，当夹持移动座(4)未夹持晶圆时，所述旋转架(2)倾斜后再由抽气设备进行抽气。

3.根据权利要求1所述的晶圆翻转装置，其特征在于，所述夹持移动座(4)为两组，分别能够对两组若干片晶圆进行翻转。

4.根据权利要求1所述的晶圆翻转装置，其特征在于，每个夹持移动座(4)通过若干直线轴承(43)连接在旋转架(2)上，能够沿着直线轴承(43)运动。

5.根据权利要求1所述的晶圆翻转装置，其特征在于，旋转架(2)通过转轴(20)连接在外框架(1)上，所述夹持驱动器(5)为气缸，所述转轴(20)为中空以供气缸的气管从中空处...

【专利技术属性】
技术研发人员：李刚，霍召军，王建，刘川，嵇律，
申请(专利权)人：江苏亚电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：