【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及陶瓷基板隔离层，特别是涉及一种用于氮化硅陶瓷基板表面隔离浆料的制备方法。
技术介绍
1、陶瓷生坯排胶是陶瓷基板制造过程中的一个重要环节，它主要涉及到去除陶瓷生坯中的有机物成分，如粘合剂、塑化剂等，以确保陶瓷在后续烧结过程中能够达到理想的致密化和性能。陶瓷生坯排胶时，需将多层陶瓷生坯堆叠后加压送进排胶炉内加热排胶，为了防止陶瓷生坯之间出现粘连，通常在各陶瓷生坯表面涂上隔离浆料。
2、现有技术中，氮化硼粉体浆料中氮化硼粉体颗粒分散性效果不佳，易导致粉体颗粒团聚，形成的隔离粉层密度不均。氮化硼粉料浆料层厚度不均，影响基板烧结过程中层间的热传导，基板易出现色差、抗弯不稳定的问题。而且，氮化硼水性浆料体系存在稳定性差，易沉降的问题，需要添加稳定剂或定期搅拌以保持均匀。
技术实现思路
1、本专利技术所要解决的技术问题是：为了克服现有技术中氮化硼粉体浆料分散性和稳定性差，容易导致浆料层厚度不均的不足，本专利技术提供一种用于氮化硅陶瓷基板表面隔离浆料的制备方法。
2、本专利技术解决其技术问题所要采用的技术方案是：一种用于氮化硅陶瓷基板表面隔离浆料的制备方法，包括以下步骤：
3、a、将94-106份油性溶剂和2-5份胶粉加入行星球磨机内混合，以300r/min的转速球磨0.5h；
4、b、将63-72份隔离粉体和1-4份分散剂加入步骤a的浆料中，以300r/min的转速继续球磨0.5h；
5、c、将制备好的浆料用真空消泡机消泡
6、65000～67000mpa*s；
7、d、将消泡好的浆料在15～20℃的温度下均匀刮覆在陶瓷基板表面，形成8～10um厚度的薄膜。
8、进一步，所述溶剂为松油醇。
9、进一步，所述隔离粉体为氮化硼粉。
10、进一步，所述胶粉为丙烯酸树脂。
11、进一步，所述分散剂为三油酸山梨糖醇酐。
12、本专利技术提供的一种用于氮化硅陶瓷基板表面隔离浆料的制备方法，具有以下有益效果：
13、1、使用行星球磨工艺，磨筒在公转的同时还进行自转，这样可以使公转转速突破普通球磨机临界转速的限制，带动磨球做复杂的运动，对物料进行更有效的撞击、研磨，提高浆料的分散效率。满足研磨后浆料粒径1.3-1.5μm，粒径分布窄，浆料均一性高。
14、2、使用松油醇作为溶剂载体，松油醇含有不饱和双键，作为溶剂载体可以加强胶体的稳定性和悬浮性，更好的分散氮化硼粒子；丙烯酸树脂提供隔离粉悬浮稳定剂，轻度交联的丙烯酸树脂可以形成三维网络结构，增加其在介质中的稳定性有助于维持悬浮体系的稳定而且丙烯酸树脂具有优异的流变改良能力，可以作为增稠剂使用。其假塑性(剪切变稀)特性使得在静止状态下粘度较高，有助于悬浮颗粒，而在流动状态下粘度降低，便于加工和应用，也具有良好的热稳定性，可以在加工和应用过程中承受一定的温度变化，而不失去其悬浮稳定性三油酸山梨糖醇酐作为分散剂，其分子含有亲水的山梨糖醇酐头部和疏水的油酸链。当加入到液体中时，它可以降低液体的表面张力，使分散过程更容易进行，从而有助于隔离粉颗粒在液体中的分散性，并且其分子吸附在颗粒表面其亲水头部朝向水相，增加了颗粒间的静电排斥力，防止颗粒聚集，从而提高分散稳定性，在颗粒表面形成的吸附层可以作为一种保护膜，防止颗粒间的接触和聚集，同时增加分散介质的粘度，从而减缓颗粒的沉降速度，维持分散体系的稳定性。
15、3、使用氮化硼作为隔离粉体，氮化硼具有高热导率，可以有效地从氮化硅基板传递热量，从而在基板和隔离粉体之间形成良好的热传导通道，氮化硼在高温下具有良好的化学稳定性，不会与氮化硅发生化学反应，这有助于保持基板和隔离粉体之间的界面清晰和稳定。而且，氮化硼的热膨胀系数与氮化硅相近，使用氮化硼作为隔离粉体，这有助于减少氮化硅陶瓷基板热循环过程中由于热膨胀不匹配引起的应力和裂纹。氮化硼具有层状结构，这种结构有助于形成均匀的隔离层，并且可以通过层间距调控来优化其性能，烧结后的陶瓷基板可以通过抛刷及超声波清洗轻松去除表面的氮化硼层，方便后处理。
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1.一种用于氮化硅陶瓷基板表面隔离浆料的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的一种用于氮化硅陶瓷基板表面隔离浆料的制备方法，其特征在于：所述溶剂为松油醇。
3.如权利要求1所述的一种用于氮化硅陶瓷基板表面隔离浆料的制备方法，其特征在于：所述隔离粉体为氮化硼粉。
4.如权利要求1所述的一种用于氮化硅陶瓷基板表面隔离浆料的制备方法，其特征在于：所述胶粉为丙烯酸树脂。
5.如权利要求1所述的一种用于氮化硅陶瓷基板表面隔离浆料的制备方法，其特征在于：所述分散剂为三油酸山梨糖醇酐。
【技术特征摘要】
1.一种用于氮化硅陶瓷基板表面隔离浆料的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的一种用于氮化硅陶瓷基板表面隔离浆料的制备方法，其特征在于：所述溶剂为松油醇。
3.如权利要求1所述的一种用于氮化硅陶瓷基板表面隔离浆料的制备方法，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙伟，姜益，尹江，
申请(专利权)人：江苏海古德半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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