【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开内容的实施方式一般涉及制造系统并且更特别地涉及用于在制造系统处运输物体的基于夹持的(grip-based)运输速度。
技术介绍
1、制造系统处的一个或多个机器人可以在制造系统的站(例如，工艺腔室、传送腔室、装载锁定、工厂接口等)之间运输物体(例如，基板、工艺配件等)。例如，可以将基板放置在机器人的机械臂的终端受动器上，并且机器人可以经由机械臂在制造系统的一个或多个站之间运输基板。在一些系统中，可以经由提供到在基板和终端受动器之间的空间的真空压力将基板固定于终端受动器。真空压力可以经由终端受动器的一个或多个真空夹持垫提供，真空夹持垫经由一个或多个真空管线(例如通过机器人的机械臂馈送)连接到真空压力源(如真空泵)。在一些情况下，用于终端受动器的真空夹持垫、真空管线和/或真空压力源可能有缺陷或以其他方式无法向基板和终端受动器之间的空间提供真空压力。在其他或类似的情况下，物体(例如基板)可能翘曲(warp)或以其他方式变形，使得物体没有与终端受动器的每个真空夹持垫对接(interface with)。相应地，物体可能无法充分地(adequately)固定于终端受动器，且可能在制造系统内运输基板期间掉落或以其他方式从终端受动器移去(dislodge)。制造系统的物体和/或其他设备可能损坏。
技术实现思路
1、所描述的一些实施方式涵盖包括机械臂的制造系统。机械臂包括终端受动器并且经配置在制造系统内运输物体。所述系统还可以包括操作地耦接到机械臂的控制器。控制器用于检测放置在机械臂的终端受动
2、在一些实施方式中，一种方法包括以下步骤：检测放置在机械臂的终端受动器上的物体的存在。所述方法进一步包括以下步骤：经由终端受动器的一个或多个真空夹持垫向物体和终端受动器之间的空间施加真空压力。施加真空压力以将物体固定于终端受动器。所述方法进一步包括以下步骤：通过所述机械臂的一个或多个压力传感器获得指示所述物体与所述终端受动器之间的真空压力的量的真空压力测量结果。所述方法进一步包括以下步骤：确定所获得的所述真空压力测量结果是否满足真空压力标准。所述方法进一步包括以下步骤：基于所获得的所述真空压力测量结果是否满足所述真空压力标准来确定针对使用所述机械臂运输所述物体的运输速度设定。所述方法进一步包括以下步骤：根据所述运输速度设定引起所述机械臂移动所述物体。
3、在一些实施方式中，用于制造系统的机械臂包括终端受动器。所述终端受动器包括一个或多个真空夹持垫，所述一个或多个真空夹持垫经配置将真空施加于所述真空夹持垫和物体之间的空间，以将所述物体固定于所述终端受动器。所述终端受动器进一步包括用于检测物体在终端受动器上的存在的检测器。检测器可以包括光学传感器和/或电容传感器。所述终端受动器可以进一步包括压力传感器，所述压力传感器用于测量一个或多个真空夹持垫与所述基板之间的所述空间的压力。所述机械臂可以经配置响应于所述真空夹持垫和所述基板之间的所述空间的所述压力满足压力标准而根据第一运动曲线(motionprofile)移动，和响应于所述真空夹持垫和所述物体之间的所述空间的所述压力未能满足所述压力标准而根据第二运动曲线移动。
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1.一种制造系统，包括：
2.如权利要求1所述的制造系统，其中确定所述运输速度设定的步骤包括以下步骤：
3.如权利要求2所述的制造系统，其中确定所述运输速度设定的步骤包括以下步骤：
4.如权利要求1所述的制造系统，其中确定所述运输速度设定的步骤包括以下步骤：
5.如权利要求1所述的制造系统，其中所述控制器进一步用于：
6.如权利要求5所述的制造系统，其中所述控制器进一步用于：
7.如权利要求1所述的制造系统，其中为了确定所获得的所述真空压力测量结果是否满足所述真空压力标准，所述控制器用于：
8.如权利要求1所述的制造系统，其中所述控制器基于所述终端受动器的存在传感器的一个或多个读数来检测放置的所述物体的所述存在，其中所述存在传感器包括以下各者中的至少一者：对射式传感器、光学传感器、反射传感器、电容传感器、哈利法克斯(Halifax)传感器、超声波传感器或基于重量的传感器。
9.如权利要求1所述的制造系统，其中所述物体包括以下各者中的至少一者：基板、工艺配件环、工艺配件环载体、诊断晶片或
10.一种方法，包括以下步骤：
11.如权利要求10所述的方法，其中确定所述运输速度设定的步骤包括以下步骤：
12.如权利要求11所述的方法，其中确定所述运输速度设定的步骤包括以下步骤：
13.如权利要求10所述的方法，其中确定所述运输速度设定的步骤包括以下步骤：
14.如权利要求10所述的方法，进一步包括以下步骤：
15.如权利要求14所述的方法，其中进一步包括以下步骤：
16.如权利要求10所述的方法，其中确定所获得的所述真空压力测量结果是否满足所述真空压力标准的步骤包括以下步骤：
17.如权利要求10所述的方法，其中基于所述终端受动器的存在传感器的一个或多个读数来检测所述物体的所述存在，其中所述存在传感器包括以下各者中的至少一者：对射式传感器、光学传感器、反射传感器、电容传感器、哈利法克斯传感器、超声波传感器或基于重量的传感器。
18.一种用于制造系统的机械臂，包括：
19.如权利要求18所述的机械臂，其中所述终端受动器进一步包括一个或多个摩擦夹持垫，所述摩擦夹持垫经配置以接触所述物体以固定所述物体。
20.如权利要求18所述的机械臂，其中所述第一运动曲线对应于第一运输速度，且所述第二运动曲线对应于第二运输速度，其中所述第二运输速度足够慢，使得所述物体基于在所述物体与所述终端受动器之间的摩擦力而固定于所述终端受动器，且其中所述第一运输速度比所述第二运输速度快。
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种制造系统，包括：
2.如权利要求1所述的制造系统，其中确定所述运输速度设定的步骤包括以下步骤：
3.如权利要求2所述的制造系统，其中确定所述运输速度设定的步骤包括以下步骤：
4.如权利要求1所述的制造系统，其中确定所述运输速度设定的步骤包括以下步骤：
5.如权利要求1所述的制造系统，其中所述控制器进一步用于：
6.如权利要求5所述的制造系统，其中所述控制器进一步用于：
7.如权利要求1所述的制造系统，其中为了确定所获得的所述真空压力测量结果是否满足所述真空压力标准，所述控制器用于：
8.如权利要求1所述的制造系统，其中所述控制器基于所述终端受动器的存在传感器的一个或多个读数来检测放置的所述物体的所述存在，其中所述存在传感器包括以下各者中的至少一者：对射式传感器、光学传感器、反射传感器、电容传感器、哈利法克斯(halifax)传感器、超声波传感器或基于重量的传感器。
9.如权利要求1所述的制造系统，其中所述物体包括以下各者中的至少一者：基板、工艺配件环、工艺配件环载体、诊断晶片或覆盖晶片。
10.一种方法，包括以下步骤：
11.如权利要求10所述的方法，其中确定所述运输速度设定的步骤包括以下步骤：
12.如权...
【专利技术属性】
技术研发人员：凯·T·恩戈，米雪·A·黄，海尔德·李，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：
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