【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体芯片生产设备，尤其是涉及光栅尺寻零方法及光刻机系统。
技术介绍
1、增量式光栅尺作为主要的测量工具，已在光刻机和数控机床等领域广泛应用。其中，光刻机在进行硅片交换过程中，主要是当触发光栅尺的零位标记点，z脉冲电信号由低电平变到高电平时，通过相关执行机构执行垂向位置校准程序，以进行硅片交换。但是，在实际应用中，由于z脉冲电信号在非零位标记点一直处于低电平，该情况下不能通过z脉冲电信号判断光栅尺是否寻零成功，使得在连续换片工况下，处于安全考虑，每个换片周期都需要寻找光栅尺的零位标记点，并依赖z脉冲电信号由低电平变到高电平，才能执行垂向位置校准程序，如果在寻零成功后的某个换片周期，在光栅尺的零位标记点z脉冲电信号没有变为高电平，则无法执行垂向位置校准，从而不能完成换片动作，导致产率降低；此外，如果在开始寻零时在光栅尺零位标记点，z脉冲电信号没有变为高电平，那么寻零单元将一直在垂向运动寻找零点标记，可能发生设备碰撞的情况。因此，如何在寻零过程中避免发生设备碰撞损坏，同时提高设备生产效率是亟需解决的问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术的目的在于提供光栅尺寻零方法及光刻机系统，以缓解上述技术问题，如果寻零失败，则控制光栅尺在预设垂向行程内重新寻零，直至寻零成功，避免了寻零失败发生设备碰撞失败的情况，保证了光刻机设备的安全性；以及，在换片过程中，如果寻零成功，后续换片过程中无需再进行寻零操作，提高了光刻机设备生产效率。
2、第一方面，本专利技术实施例提供
3、优选地，上述控制光栅尺在预设垂向行程内重新进行寻零的步骤，包括：控制光栅尺按照预设步长在预设垂向行程内重新进行寻零。
4、优选地，上述根据零位标记查找状态参数判断光栅尺是否寻零成功的步骤之前，该方法还包括：判断相对位置计数是否小于预设计数；其中，预设计数根据预设垂向行程和预设步长计算获得；如果是，控制光栅尺按照预设步长在预设垂向行程内向上运行，并根据零位标记查找状态参数确定光栅尺的寻零结果；其中，寻零结果包括寻零成功和寻零失败。
5、优选地，该方法还包括：如果相对位置计数不小于预设计数，控制光栅尺按照预设步长在预设垂向行程内向下运行，并根据零位标记查找状态参数确定光栅尺的寻零结果。
6、优选地，上述根据零位标记查找状态参数确定光栅尺的寻零结果的步骤，包括：如果零位标记查找状态参数为1，则寻零结果为寻零成功；如果零位标记查找状态参数不为1，则寻零结果为寻零失败。
7、优选地，该方法还包括：当光栅尺寻零成功后，控制光栅尺按照预设步长运行至预设垂向行程的最低点。
8、优选地，上述获取光栅尺的检测参数的步骤，包括：获取光栅尺对应的读数头输出的脉冲电信号；其中，脉冲电信号包括a脉冲电信号、b脉冲电信号和z脉冲电信号；根据a脉冲电信号和b脉冲电信号的关系，计算得到相对位置计数；根据z脉冲电信号的电平状态，确定预设零位标记位置，并根据预设零位标记位置设置零位标记查找状态参数的值。
9、优选地，上述获取光栅尺的检测参数的步骤之前，该方法还包括：当检测到光栅尺上电后，对光栅尺进行初始化操作，以使光栅尺的相对位置计数、预设零位标记位置和零位标记查找状态参数的初始值均为0。
10、第二方面，本专利技术实施例还提供一种光刻机系统，应用于上述第一方面的光栅尺寻零方法；该光刻机系统包括：控制器，以及与控制器通信连接的测量部件和执行部件，其中，测量部件包括光栅尺，以及光栅尺的读数头。
11、优选地，上述执行部件包括片爪部件定子和片爪部件动子，其中，光栅尺固定在片爪部件动子上，读数头固定在片爪部件定子上。
12、本专利技术实施例带来了以下有益效果：
13、本专利技术实施例提供了光栅尺寻零方法及光刻机系统，根据零位标记查找状态参数判断光栅尺是否寻零成功，如果寻零失败，则控制光栅尺在预设垂向行程内重新寻零，直至寻零成功，避免了寻零失败发生设备碰撞失败的情况，保证了光刻机设备的安全性；以及，在换片过程中，如果寻零成功，后续换片过程中无需再进行寻零操作，提高了光刻机设备生产效率。
14、本专利技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本专利技术而了解。本专利技术的目的和其他优点在说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
15、为使本专利技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
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1.一种光栅尺寻零方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述控制所述光栅尺在预设垂向行程内重新进行寻零的步骤，包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述零位标记查找状态参数判断所述光栅尺是否寻零成功的步骤之前，所述方法还包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
5.根据权利要求3或4所述的方法，其特征在于，所述根据所述零位标记查找状态参数确定所述光栅尺的寻零结果的步骤，包括：
6.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取光栅尺的检测参数的步骤，包括：
8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取光栅尺的检测参数的步骤之前，所述方法还包括：
9.一种光刻机系统，其特征在于，应用于上述权利要求1-8任一项所述的光栅尺寻零方法；所述光刻机系统包括：控制器，以及与所述控制器通信连接的测量部件和执行部件，其中，所述测量部件包括光栅尺，以及所述
10.根据权利要求9所述的光刻机系统，其特征在于，所述执行部件包括片爪部件定子和片爪部件动子，其中，所述光栅尺固定在所述片爪部件动子上，所述读数头固定在片爪部件定子上。
...【技术特征摘要】
1.一种光栅尺寻零方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述控制所述光栅尺在预设垂向行程内重新进行寻零的步骤，包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述零位标记查找状态参数判断所述光栅尺是否寻零成功的步骤之前，所述方法还包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
5.根据权利要求3或4所述的方法，其特征在于，所述根据所述零位标记查找状态参数确定所述光栅尺的寻零结果的步骤，包括：
6.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：
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【专利技术属性】
技术研发人员：段宏宇，刘志宏，
申请(专利权)人：北京华卓精科科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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