【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种体弹性波(bulk elastic wave)滤波器装置。
技术介绍
1、通过使用诸如微波、毫米波及太赫兹波的高频电波，可实现高速且大容量的通信。在5g移动通信标准中，使用被称为“sub-6”的接近6ghz的频带及28ghz频带，对未来使用的100ghz频带也在进行研究。因此，需要适合于超过数ghz的高频的谐振器及带通滤波器(passband filter)。在智能手机等电子设备的谐振器或通信设备的高频滤波器中，使用利用了体声波(bulk acoustic wave:baw)的baw谐振器或baw滤波器。构成baw装置的功能层的厚度根据作为目标的频率而定，越为高频率越为薄膜。baw谐振器等的功能组件(或主动组件)，声响特性及电特性会因热而变化，因此要求能够降低热影响的结构。
2、现已知在谐振器和支撑基板之间设置由低导热层和高导热层交替层叠而成的声镜层，由热桥(heat bridge)连结谐振器与支撑基板之间的结构(例如，参照专利文献1)。
3、现有技术文献
4、专利文献
5、专利文献1：日本专利技术专利第6668347号公报
技术实现思路
1、专利技术所要解决的课题
2、伴随着电子、通信设备的高频化，组件趋于小型化发展，而组件驱动时的温度上升导致的组件功能下降随之成为问题。设置热桥的公知结构中，为了形成热桥需要复杂的加工步骤。在有热桥包围声镜(acoustic mirror)的侧方的结构中，会产生通过低热
3、本专利技术的一个方面的目的在于提供一种散热性良好的体弹性波滤波器装置。
4、用于解决课题的方法
5、在实施方式中，体弹性波滤波器装置包括：在支撑基板上，由具有规定的比声阻抗的第一层及具有比第一层低的比声阻抗的第二层交替层叠而成的声响多层膜；设置在该声响多层膜的与该支撑基板相反一侧的主动组件，该主动组件具有设置在该声响多层膜上的第一电极层、设置在该第一电极层上的压电层、及设置在该压电层上的第二电极层，该声响多层膜中的该第二层的一部分或全部具有导电性，在该声响多层膜与该第一电极层之间设置有绝缘层。
6、在优选实施例中，具有导电性的该第二层具有1.0×10^-3ωcm以下的电阻率。
7、专利技术效果
8、实现散热性良好的层叠体及采用该层叠体的高频滤波器装置。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种体弹性波滤波器装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的体弹性波滤波器装置，其中，
3.如权利要求1或2所述的体弹性波滤波器装置，其中，
4.如权利要求1至3中的任一项所述的体弹性波滤波器装置，其中，
5.如权利要求4所述的体弹性波滤波器装置，其中，
6.如权利要求1至5中的任一项所述的体弹性波滤波器装置，其中，
7.如权利要求1至6中的任一项所述的体弹性波滤波器装置，其中，
8.如权利要求1所述的体弹性波滤波器装置，其中，
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种体弹性波滤波器装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的体弹性波滤波器装置，其中，
3.如权利要求1或2所述的体弹性波滤波器装置，其中，
4.如权利要求1至3中的任一项所述的体弹性波滤波器装置，其中，
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【专利技术属性】
技术研发人员：青木优津希，中村大辅，待永广宣，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：发明
国别省市：
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