【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及石英摆片加工，具体涉及一种用于提高石英摆片可靠性的加工方法。
技术介绍
1、现代惯导系统对加速度计的精度和可靠性的要求越来越高，而石英挠性加速度计成本低、结构简单，被广泛应用于各种惯导系统中。
2、石英挠性加速度计中的石英摆片为其核心敏感部件，挠性陀螺的精度及稳定性受石英摆片的质量稳定性和一致性影响较大；石英挠性加速度计中的石英摆片在加速度作用下摆片质量产生惯性力矩，并由石英挠性加速度计中的电路系统将理学信号转化为电信号，进而计算出加载的加速度值；由此可以看出，石英挠性加速度计的量程、分辨率、偏值重复性、标度因素重复性等性能与石英摆片的性能密切相关。
3、目前加工石英摆片的方法通过采用激光切割与化学刻蚀相结合对石英摆片进行加工，但在化学刻蚀成型过程中会存在因清洗不干净而造成石英摆片表面存在高点、刻蚀不均匀等问题，若石英摆片化学刻蚀中清洗不干净会在摆梁、凸台等部位产生高点、凹坑等缺陷；由于在真空蒸镀过程中因膜层与基体应力不同，会产生内应力，影响膜层结合力。石英摆片真空蒸镀前由于在真空蒸镀过程中石英摆片因膜层与基体应力不同，会对其产生内应力，清洗不干净同时也会对后续镀膜的结合力、阻值等性能产生一定影响，无法保证石英摆片质量稳定性，因此需要对石英摆片进行清洗。
4、目前，通常采用超声波的清洗方法对石英摆片进行清洗，首先在清洗时采用吊装的方法将石英摆片放入超声波清洗机中，清洗后利用无水乙醇对石英摆片进行脱水处理，从而完成对石英摆片的清洗。但超声波清洗方法存在以下缺陷：①超声波清洗时可能会
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于为了解决现有石英摆片的清洗方法会对石英摆片造成损坏、其清洗效果无法满足生产使用要求，以及无法保证石英摆片的膜层的结合力与导通性等问题，而提出一种用于提高石英摆片可靠性的加工方法。
2、为实现上述目的，本专利技术提出的技术解决方案为：
3、一种用于提高石英摆片可靠性的加工方法，其特殊之处在于，包括以下步骤：
4、s1、根据设计要求对石英摆片进行多次刻蚀，每完成一次刻蚀后均通过下述步骤s2-s7对刻蚀后的石英摆片进行清洗处理；
5、s2、通过泡胶剂对刻蚀后的石英摆片进行去胶处理；
6、s3、对超声波清洗机中的超声波清洗剂槽和热水槽进行加热；
7、s4、将去胶后的石英摆片通过清洗工装进行固定，然后放入超声波清洗机中的超声波清洗剂槽内进行清洗剂超声波清洗；
8、s5、将通过清洗剂超声波清洗后的石英摆片放入超声波清洗机中的热水槽内进行超声波热水清洗；
9、s6、将通过超声波热水清洗后的石英摆片依次放入多道去离子水中进行清洗，直至石英摆片表面呈现均匀分布的水膜状后进行步骤s7；
10、s7、将去离子水清洗后的石英摆片放入慢拉烘烤设备中进行烘干处理；
11、s8、将经多次刻蚀和清洗处理后成型的石英摆片放入真空干燥箱中进行第一次时效处理；
12、s9、将第一次时效处理后的石英摆片按照步骤s3-s7再次进行清洗处理，然后将清洗处理后的石英摆片放入真空蒸镀机中进行真空蒸镀；
13、s10、将通过真空蒸镀后的石英摆片再次放入真空干燥箱中进行第二次时效处理，从而完成石英摆片的加工。
14、进一步地，步骤s2中，所述石英摆片的泡胶温度为室温，泡胶时长为8min～15min。
15、进一步地，步骤s3中，所述超声波清洗机中的超声波清洗剂槽和热水槽内的温度均为40℃～50℃。
16、进一步地，步骤s4中，所述石英摆片放入超声波清洗剂槽内的清洗时长为3min～5min，超声波清洗机的超声波频率为1.0amp～1.2amp。
17、进一步地，步骤s4中，所述清洗工装包括支撑架和多个压板，支撑架的上端等间隔设置有多个顶部支撑条，位于相邻两个顶部支撑条之间的支撑架的下端设置有底部支撑条，两个相邻的顶部支撑条上相对设置有齿间相对的第一锯齿支撑条和第二锯齿支撑条，底部支撑条上设置有齿间向上的第三锯齿支撑条，所述第一锯齿支撑条、第二锯齿支撑条和第三锯齿支撑条上对应位置的三个齿间位于同一平面上，石英摆片安装在第一锯齿支撑条、第二锯齿支撑条和第三锯齿支撑条上位于同一平面的齿间内；
18、所述压板设置在第一锯齿支撑条和第二锯齿支撑条上，用于与顶部支撑条相互配合将第一锯齿支撑条和第二锯齿支撑条进行压紧。进一步地，步骤s5中，所述石英摆片放入热水槽内进行超声波热水清洗的时长为60s～90s。
19、进一步地，步骤s6中，所述石英摆片依次放入七道去离子水中进行清洗。
20、进一步地，步骤s7中，所述慢拉烘烤设备对石英摆片进行烘干处理的烘烤温度为85℃～88℃，烘烤时长15min～25min。
21、进一步地，步骤s8中，所述真空干燥箱对石英摆片进行第一次时效处理的干燥温度为100℃～140℃，干燥时长为48h。
22、进一步地，步骤s10中，所述真空干燥箱对石英摆片进行第二次时效处理的干燥温度为100℃～140℃，干燥时长为24h。
23、本专利技术的有益效果：
24、【1】本专利技术一种用于提高石英摆片可靠性的加工方法通过优化石英摆片的去胶方法和超声波清洗方法，能够在化学刻蚀前后、真空蒸镀前得到表面洁净度高的石英摆片，降低了石英摆片表面高点、凹点、刻蚀不均匀等问题，同时增加了真空蒸镀前后对石英摆片进行时效处理，可以有效提高石英摆片的膜层结合力、降低阻值，进一步提高了石英摆片质量稳定性，节约了生产成本和时间成本。
25、【2】本专利技术一种用于提高石英摆片可靠性的加工方法的清洗方法操作简单，易实现，不仅可以大幅度提高石英摆片表面的洁净度，还可以提高真空蒸镀膜层的结合力、降低膜层阻值，适用于批量生产；通过将石英摆片放置在清洗工装进行超声波清洗，有效避免了石英摆片在清洗过程中出现摆片振落、断裂等问题，节约生产成本，使得石英加速度计中石英摆片的合格率和质量稳定性大幅度提高，同时也提高了石英挠性加速度计的测控精度。
26、【3】本专利技术将石英摆片依次通过超声波清洗剂槽、热水槽和多道去离子水清洗，可以有效确保石英摆片表面的洁净度、质量一致性和稳定性，确保加工后的石英摆片表面无高点、刻蚀均匀、膜层结合力良好。
27、【4】本专利技术将石英摆片经超声波清洗后采用慢拉烘干的方法进行烘干处理，确保了石英摆片表面清洗干净。
28、【5】本专利技术的石英摆片通过两次时效处理可以有效降低其膜层与基体之间的内应力，提高石英摆片质量的稳定性。
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1.一种用于提高石英摆片可靠性的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述一种用于提高石英摆片可靠性的加工方法，其特征在于：
3.根据权利要求2所述一种用于提高石英摆片可靠性的加工方法，其特征在于：
4.根据权利要求3所述一种用于提高石英摆片可靠性的加工方法，其特征在于：
5.根据权利要求4所述一种用于提高石英摆片可靠性的加工方法，其特征在于：
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9.根据权利要求8所述一种用于提高石英摆片可靠性的加工方法，其特征在于：
10.根据权利要求9所述一种用于提高石英摆片可靠性的加工方法，其特征在于：
【技术特征摘要】
1.一种用于提高石英摆片可靠性的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述一种用于提高石英摆片可靠性的加工方法，其特征在于：
3.根据权利要求2所述一种用于提高石英摆片可靠性的加工方法，其特征在于：
4.根据权利要求3所述一种用于提高石英摆片可靠性的加工方法，其特征在于：
5.根据权利要求4所述一种用于提高石英摆片可靠性的加工方法，其特征在于：
<...【专利技术属性】
技术研发人员：陈晓惠，杨婕，李海飞，孙志刚，朱欣妍，
申请(专利权)人：西安航天时代精密机电有限公司，
类型：发明
国别省市：
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