【技术实现步骤摘要】
本技术涉及钢传动杆，尤其涉及一种低压钢传动杆工装。
技术介绍
1、化学气相掺杂是指在化学气相沉积(cvd)薄膜的同时通过气相将杂质元素掺入薄膜的工艺。该工艺中在导入气体时通常会使用到一个钢传动杆部件，钢传动杆既要满足旋转电机与石墨中心气管之间的旋转传动，又要保证从法兰主工艺气体管路气体能均匀的通过钢传动杆导入石墨中心气管，无其他接口泄露。
2、现有的钢传动杆结构，气体进入石墨中心气管均匀性差，且新的低压工艺需要氨气，氨气与其他工艺气体共用一个入口，导致氨气与其他工艺气需提前汇合，易提前反应生成副产物影响产品质量；
3、为解决上述技术问题，本申请提出一种低压钢传动杆工装。
技术实现思路
1、本技术提供一种低压钢传动杆工装，以解决上述技术问题。
2、为解决上述技术问题，本技术提供的一种低压钢传动杆工装，包括主管，所述主管外端开设有多个工艺气进入口，所述主管底部固定连接有连接杆，所述主管顶部一体成型连接有增高管，所述增高管外端开设有多个氨气进入口，所述增高管顶部一体成型连接有传动圈，所述传动圈两侧顶部分别开设有一个夹持槽。
3、优选的，所述工艺气进入口和氨气进入口的数量均设为六个，且六个所述工艺气进入口和六个氨气进入口分别以主管和增高管的中轴线呈环形阵列分布，所述主管和增高管中轴线重合。
4、优选的，所述传动圈底部外棱角处加工有斜坡面，且所述斜坡面表面加工为光滑面。
5、与相关技术相比较，本技术提供的一种低压钢传动杆
6、通过在原钢传动杆的基础上增设了增高管以及开设在增高管上的氨气进入口，可使得氨气和其他工艺气体分开，各自以单独管路进入反应室中心石墨气管，避免工艺气提前反应生成副产物的质量问题，同时在传动圈上开设的夹持槽，也便于在钢传动杆与石墨件卡死后通过工具夹持取出。
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1.一种低压钢传动杆工装，包括主管(1)，其特征在于：所述主管(1)外端开设有多个工艺气进入口(2)，所述主管(1)底部固定连接有连接杆(3)，所述主管(1)顶部一体成型连接有增高管(4)，所述增高管(4)外端开设有多个氨气进入口(5)，所述增高管(4)顶部一体成型连接有传动圈(6)，所述传动圈(6)两侧顶部分别开设有一个夹持槽(8)。
2.根据权利要求1所述的一种低压钢传动杆工装，其特征在于，所述工艺气进入口(2)和氨气进入口(5)的数量均设为六个，且六个所述工艺气进入口(2)和六个氨气进入口(5)分别以主管(1)和增高管(4)的中轴线呈环形阵列分布，所述主管(1)和增高管(4)中轴线重合。
3.根据权利要求1所述的一种低压钢传动杆工装，其特征在于，所述传动圈(6)底部外棱角处加工有斜坡面(7)，且所述斜坡面(7)表面加工为光滑面。
【技术特征摘要】
1.一种低压钢传动杆工装，包括主管(1)，其特征在于：所述主管(1)外端开设有多个工艺气进入口(2)，所述主管(1)底部固定连接有连接杆(3)，所述主管(1)顶部一体成型连接有增高管(4)，所述增高管(4)外端开设有多个氨气进入口(5)，所述增高管(4)顶部一体成型连接有传动圈(6)，所述传动圈(6)两侧顶部分别开设有一个夹持槽(8)。
2.根据权利要求1所述的一种低压...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯磊，
申请(专利权)人：常州艾恩希纳米镀膜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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