【技术实现步骤摘要】
本申请属于硅片生产设备制造领域，尤其涉及一种晶棒视觉检测装置及晶棒划线机。
技术介绍
1、在硅片的生产过程中，需要对拉晶工序生成的晶棒进行检测，以根据检测结果对晶棒进行划线，后道切割工序以划线作为晶棒截断的基准。
2、在对晶棒检测时，需要通过外观检测装置对晶棒进行外观检测，以检测晶棒的晶线是否断线、表面是否晶裂等。通常的检测方式是通过相机对晶棒进行拍摄，根据相机的拍摄结果对晶棒进行后续加工。
3、在相机拍摄时，为了保证拍摄质量，一般都通过设置遮光罩以减少外部光源照射到晶棒上产生的干扰。由于晶棒比较长，需要配置相机移动组件以保证相机可以沿着晶棒移动检测，为了避免遮光罩对相机移动组件的干扰，通常会将相机、相机移动组件、光源等均设置于遮光罩内，这也导致了目前的遮光罩存在体积较大和成本高的缺点。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种晶棒视觉检测装置，以解决现有技术中用于晶棒外观检测的装置存在体积大和成本高的问题；另外，本申请还提供一种包括上述晶棒视觉检测装置的晶棒划线机。
2、为实现上述目的，本申请实施例采用如下技术方案：
3、第一方面，本申请提出一种晶棒承载机构，其包括移载组件和相机组件，其中：
4、移载组件的驱动端与相机组件连接；
5、相机组件包括相机、遮光板和补光件，遮光板的长度小于晶棒的长度，遮光板形成有圆弧面，遮光板上开设有避让孔，相机的镜头通过避让孔朝向圆弧面的内侧拍摄；
6、补光件安装在
7、移载组件驱动相机、遮光板和补光件同步沿晶棒长度方向移动，以通过相机、遮光板和补光件的配合对晶棒的表面实施拍摄检测。
8、通过移载组件和相机组件的配合，实现了对晶棒表面的自动拍摄，以进行外观检测；与现有技术遮光罩需要将整个检测装置全部遮盖相比，本申请中相机组件的遮光板无需覆盖整个检测装置，体积小，成本低；同时移载组件驱动相机、遮光板和补光件同步沿晶棒长度方向移动进行拍摄，能够保证打在晶棒表面的光的均匀性和一致性，有利于提高晶棒视觉检测的精度。
9、可选的，避让孔位于遮光板的中心位置，相机固定安装在遮光板的上方或嵌入于避让孔内。
10、通过设置避让孔使遮光板不影响相机工作，以达到遮光效果，并控制装置整体体积。
11、可选的，补光件包括至少两条灯带，各条灯带沿遮光板长度方向延伸排布于圆弧面的内侧。
12、通过设置沿着遮光板长度方向延伸排布的补光，对待检测的晶棒表面实施充分补光，保证拍摄质量。
13、可选的，补光件包括沿着遮光板的长度方向延伸的至少两条灯带；
14、当灯带为两条时，两条灯带分别位于避让孔的两侧，两条灯带被单独控制打开或关闭，或者，两条灯带被同时控制打开或关闭；
15、当灯带大于两条时，位于避让孔的第一侧的第一组灯带为至少两条时，第一组灯带被控制为同时打开或关闭；位于避让孔的第二侧的第二组灯带为至少两条时，第二组灯带被控制为同时打开或关闭；第一组灯带和第二组灯带被控制为同时打开或关闭。
16、通过设置至少两条灯带分布于避让孔的两侧，均匀地为相机拍摄时晶棒的表面补光。
17、可选的，避让孔的两侧的灯带对称设置，遮光板的两侧边缘分别设有灯带安装座，灯带安装座沿遮光板的长度方向延伸布置，位于避让孔的同一侧的灯带被配置为可拆卸地安装在对应的灯带安装座上，且灯带安装座相对于避让孔之间的安装间距可调。
18、通过灯带安装座实现灯带的安装且安装位置可调，满足更多的补光要求。
19、可选的，移载组件包括机架、横移座和横移驱动组件，横移座安装在机架上，横移驱动组件的驱动端连接横移座，横移座上连接相机组件，横移驱动组件驱动横移座沿着晶棒长度方向在机架上移动。
20、通过横移驱动组件驱动横移座移动，进而控制相机组件沿着晶棒的长度方向移动，满足视觉检测的要求。
21、可选的，移载组件还包括升降驱动件，升降驱动件的固定端安装在横移座上，升降驱动件的驱动端连接相机组件，升降驱动件被配置为驱动相机组件升降。
22、通过设置升降驱动件使得相机组件的相对高度可调节，以便适配不同尺寸的晶棒，实现物理变焦。
23、可选的，横移驱动组件包括横移驱动件、齿轮和沿着晶棒长度方向延伸的齿条，齿条安装于机架上，横移驱动件的固定端安装在横移座上，横移驱动件的驱动端连接齿轮，横移驱动件被配置为驱动齿轮转动，齿轮与齿条相啮合，横移驱动件通过齿轮以及齿条驱动横移座在晶棒长度方向上移动。
24、通过齿轮与齿条配合传动，由横移驱动件驱动横移座移动，进而实现相机组件的移动，满足视觉检测的要求。
25、第二方面，本申请提出一种晶棒划线机，其包括承载装置、上述的晶棒视觉检测装置和划线打标装置，其中：
26、承载装置至少被配置为承载待划线的晶棒以及驱动待划线的晶棒旋转；
27、晶棒视觉检测装置被配置为对晶棒实施拍摄，以对晶棒的外观进行检测；
28、划线打标装置被配置为可移动，并根据晶棒视觉检测装置的检测结果，在晶棒的相应位置处划线或打标。
29、通过设置承载装置承载晶棒并实现晶棒自动旋转，通过晶棒视觉检测装置对晶棒各处实施检测，再通过设置划线打标装置在晶棒上目标位置划线或打标，实现对晶棒自动化检测及划线处理，提高了晶棒的加工效率和加工自动化程度。
30、可选的，晶棒划线机还包括直径检测装置和电阻率检测装置，其中：
31、直径检测装置被配置为可沿晶棒长度方向移动并对晶棒的直径进行检测；
32、电阻率检测装置被配置为可沿晶棒长度方向移动并对晶棒的电阻率进行检测；
33、划线打标装置还被配置为根据直径检测装置和电阻率检测装置的检测结果，在晶棒的相应位置处划线或打标。
34、在视觉检测装置的基础上，设置直径检测机构和电阻率检测机构进一步对晶棒的直径和电阻率进行检测，进而根据检测结果确定划线的目标位置，以提高划线精准度及晶棒后续的加工质量。
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1.一种晶棒视觉检测装置，其特征在于，所述晶棒视觉检测装置包括移载组件和相机组件，其中：
2.根据权利要求1所述的晶棒视觉检测装置，其特征在于，所述避让孔位于所述遮光板的中心位置，所述相机固定安装在所述遮光板的上方或嵌入于所述避让孔内。
3.根据权利要求1所述的晶棒视觉检测装置，其特征在于，所述补光件包括至少两条灯带，各条灯带沿所述遮光板长度方向延伸排布于所述圆弧面的内侧。
4.根据权利要求1所述的晶棒视觉检测装置，其特征在于，所述补光件包括沿着所述遮光板的长度方向延伸的至少两条灯带；
5.根据权利要求4所述的晶棒视觉检测装置，其特征在于，所述避让孔的两侧的所述灯带对称设置，所述遮光板的两侧边缘分别设有灯带安装座，所述灯带安装座沿所述遮光板的长度方向延伸布置，位于所述避让孔的同一侧的所述灯带被配置为可拆卸地安装在对应的所述灯带安装座上，且所述灯带安装座相对于所述避让孔之间的安装间距可调。
6.根据权利要求1所述的晶棒视觉检测装置，其特征在于，所述移载组件包括机架、横移座和横移驱动组件，所述横移座安装在所述机架上，所述横移
7.根据权利要求6所述的晶棒视觉检测装置，其特征在于，所述移载组件还包括升降驱动件，所述升降驱动件的固定端安装在所述横移座上，所述升降驱动件的驱动端连接所述相机组件，所述升降驱动件被配置为驱动所述相机组件升降。
8.根据权利要求6所述的晶棒视觉检测装置，其特征在于，所述横移驱动组件包括横移驱动件、齿轮和沿着所述晶棒长度方向延伸的齿条，所述齿条安装于所述机架上，所述横移驱动件的固定端安装在所述横移座上，所述横移驱动件的驱动端连接所述齿轮，所述横移驱动件被配置为驱动所述齿轮转动，所述齿轮与所述齿条相啮合，所述横移驱动件通过所述齿轮以及所述齿条驱动所述横移座在所述晶棒长度方向上移动。
9.一种晶棒划线机，其特征在于，所述晶棒划线机包括承载装置、如权利要求1-8任一项所述的晶棒视觉检测装置和划线打标装置，其中：
10.根据权利要求9所述的晶棒划线机，其特征在于，所述晶棒划线机还包括直径检测装置和电阻率检测装置，其中：
...【技术特征摘要】
1.一种晶棒视觉检测装置，其特征在于，所述晶棒视觉检测装置包括移载组件和相机组件，其中：
2.根据权利要求1所述的晶棒视觉检测装置，其特征在于，所述避让孔位于所述遮光板的中心位置，所述相机固定安装在所述遮光板的上方或嵌入于所述避让孔内。
3.根据权利要求1所述的晶棒视觉检测装置，其特征在于，所述补光件包括至少两条灯带，各条灯带沿所述遮光板长度方向延伸排布于所述圆弧面的内侧。
4.根据权利要求1所述的晶棒视觉检测装置，其特征在于，所述补光件包括沿着所述遮光板的长度方向延伸的至少两条灯带；
5.根据权利要求4所述的晶棒视觉检测装置，其特征在于，所述避让孔的两侧的所述灯带对称设置，所述遮光板的两侧边缘分别设有灯带安装座，所述灯带安装座沿所述遮光板的长度方向延伸布置，位于所述避让孔的同一侧的所述灯带被配置为可拆卸地安装在对应的所述灯带安装座上，且所述灯带安装座相对于所述避让孔之间的安装间距可调。
6.根据权利要求1所述的晶棒视觉检测装置，其特征在于，所述移载组件包括机架、横移座和横移驱动组件，所述横移座安装在所述机架上，所述横移驱...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：无锡松瓷机电有限公司，
类型：新型
国别省市：
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