【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体产品工艺管控，尤其是涉及一种半导体产线排程的形成方法。
技术介绍
1、半导体制造具有生产工艺复杂、周期长、规模大、多重入、多约束和多目标等特点，其排程调度问题是混合流水车间调度问题，同时也是模糊作业车间调度问题，一直是研究的难点之一。
2、现有技术中，根据预设排程对待生产的产品分配设备。
3、然而，影响排程的因素较多，例如剩余的等待时间、批次(lot)优先级、交货日期、各种设备的限制、相同制程连续和相同制程的工艺能力等等，不同的设备群组有不同的影响因素，根据产线情况也会有不同的排程方法。而生产线的排程优劣直接影响生产线的整体产能。并且生产线是动态，迭代式生产，面对产线情况的实时变化，需不断的调整和优化排程结果，以达到整条产线平稳生产。所以现有技术的排程方法不能满足复杂多变的生产线情况，不能实现的自动化系统能让排程规则制定更加灵活，不能平衡生产线的生产，不能促使产能优化。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种半导体产线排程的形成方法，可以满足复杂多变的生产线情况，可以实现的自动化系统能让排程规则制定更加灵活，可以平衡生产线的生产，可以促使产能优化。
2、为了达到上述目的，本专利技术提供了一种半导体产线排程的形成方法，包括：
3、s1：将待生产的产品分为若干个批次；
4、s2：将产线设备分为若干个设备群组，每个所述设备群组内的设备具备相同的工艺生产能力，不同的所述设备群组之间在产线上存在一定的上游
5、s3：在若干个批次中，将剩余的停留时间较短的若干批次取出，并按照剩余的停留时间的长短对取出的若干批次排序；
6、s4：在步骤s3中剩余的批次中，将批次优先级位于前列的若干批次取出，并按照批次优先级的等级对取出的若干批次排序；
7、s5：将步骤s4中剩余的批次按照交货日期排序；
8、s6：将步骤s3排序后的批次、步骤s4排序后的批次和步骤s5排序后的批次依次排列好；
9、s7：将排列好的所有批次依次取出，每次取出的批次分别完成的步骤包括：
10、s71：选择一设备群组中正在生产的产品与该批次产品的制程相同的设备，作为首选设备；
11、s72：如果步骤s71中不存在该设备，则选择同一所述设备群组中正在生产的产品与该批次产品的结构相同的设备，作为首选设备；
12、s73：如果步骤s72中不存在该设备，则选择等待时间最短的设备，作为首选设备；
13、s74：循环步骤s71～步骤s73，从所有设备群组中均分别选出首选设备；
14、s8：如果设备群组中的所述首选设备对应的批次数量差异较大，则将所述设备群组中的所述首选设备对应的批次数量均匀化处理。
15、可选的，在所述的半导体产线排程的形成方法中，每个批次包括若干片产品。
16、可选的，在所述的半导体产线排程的形成方法中，所述待生产的产品包括晶圆。
17、可选的，在所述的半导体产线排程的形成方法中，每个所述设备群组包括设备。
18、可选的，在所述的半导体产线排程的形成方法中，步骤s3中，按照剩余的停留时间的长短对取出的若干批次排序的方法包括：
19、将剩余的停留时间较短的批次排在前列。
20、可选的，在所述的半导体产线排程的形成方法中，步骤s4中，按照批次优先级的等级对取出的若干批次排序的方法包括：
21、将批次优先级较高的批次排在前列。
22、可选的，在所述的半导体产线排程的形成方法中，步骤s5中，将步骤s4中剩余的批次按照交货日期排序的方法包括：
23、将交货日期较近的批次排在前列。
24、可选的，在所述的半导体产线排程的形成方法中，步骤s71中，如果所述首选设备的数量大于1，则从中选择等待时间最短的设备，作为首选设备。
25、可选的，在所述的半导体产线排程的形成方法中，步骤s72中，如果所述首选设备的数量大于1，则从中选择等待时间最短的设备，作为首选设备。
26、可选的，在所述的半导体产线排程的形成方法中，步骤s8中，将所述设备群组中的所述首选设备对应的批次数量均匀化处理的方法包括：
27、将批次数量较多的所述首选设备的末尾部分批次挪到批次较少的首选设备中。
28、在本专利技术提供的半导体产线排程的形成方法中，根据剩余的停留时间、批次优先级和交货日期等等约束条件来计算批次的生产的先后顺序。根据设备正在生产的产品的制程和结构选择首选设备。并且这些筛选规则可以自动化进行。所以本专利技术满足了复杂多变的生产线情况，实现了的自动化系统能让排程规则制定更加灵活，平衡了生产线的生产，促使了产能优化。
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1.一种半导体产线排程的形成方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的半导体产线排程的形成方法，其特征在于，每个批次包括若干片产品。
3.如权利要求1所述的半导体产线排程的形成方法，其特征在于，所述待生产的产品包括晶圆。
4.如权利要求1所述的半导体产线排程的形成方法，其特征在于，每个所述设备群组均包括若干个设备。
5.如权利要求1所述的半导体产线排程的形成方法，其特征在于，步骤S3中，按照剩余的停留时间的长短对取出的若干批次排序的方法包括：
6.如权利要求1所述的半导体产线排程的形成方法，其特征在于，步骤S4中，按照批次优先级的等级对取出的若干批次排序的方法包括：
7.如权利要求1所述的半导体产线排程的形成方法，其特征在于，步骤S5中，将步骤S4中剩余的批次按照交货日期排序的方法包括：
8.如权利要求1所述的半导体产线排程的形成方法，其特征在于，步骤S71中，如果所述首选设备的数量大于1，则从中选择等待时间最短的设备，作为首选设备。
9.如权利要求1所述的半导体产线排程的形成方
10.如权利要求1所述的半导体产线排程的形成方法，其特征在于，步骤S8中，将所述设备群组中的所述首选设备对应的批次数量均匀化处理的方法包括：
...【技术特征摘要】
1.一种半导体产线排程的形成方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的半导体产线排程的形成方法，其特征在于，每个批次包括若干片产品。
3.如权利要求1所述的半导体产线排程的形成方法，其特征在于，所述待生产的产品包括晶圆。
4.如权利要求1所述的半导体产线排程的形成方法，其特征在于，每个所述设备群组均包括若干个设备。
5.如权利要求1所述的半导体产线排程的形成方法，其特征在于，步骤s3中，按照剩余的停留时间的长短对取出的若干批次排序的方法包括：
6.如权利要求1所述的半导体产线排程的形成方法，其特征在于，步骤s4中，按照批次优先级的等级对取出的若干批次排序...
【专利技术属性】
技术研发人员：时铭月，周超，高进峰，陆慧，张羽，朱勐，
申请(专利权)人：上海华虹宏力半导体制造有限公司，
类型：发明
国别省市：
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