一种基于微波谐振腔激励的条形222nm波长紫外光源装置制造方法及图纸

技术编号:43387779 阅读:9 留言:0更新日期:2024-11-19 18:02
本技术涉及222 nm波长紫外光源的技术领域,特别涉及一种基于微波谐振腔激励的条形222 nm波长紫外光源装置。本技术提供的一种基于微波谐振腔激励的条形222 nm波长紫外光源装置,包括圆柱形谐振腔外导体和与所述圆柱形谐振腔外导体同轴设置的内导体;所述内导体的顶部连接有准分子灯,在所述圆柱形谐振腔外导体的底部设置有馈电结构;所述馈电结构包括设置在所述圆柱形谐振腔外导体外部的馈电同轴外芯、设置在所述馈电同轴外芯内部的馈电同轴内芯,所述馈电同轴内芯向所述圆柱形谐振腔外导体内部延伸并与其内壁连接。其旨在解决现有技术中制备222nm的波长效率低的技术问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及222 nm波长紫外光源的,特别涉及一种基于微波谐振腔激励的条形222 nm波长紫外光源装置。


技术介绍

1、紫外光源作为一种特殊光源,被广泛应用于生产和生活中。在消杀领域,紫外光照射杀菌的常用光源为254 nm波长紫外灯,但是由于254 nm波长的紫外光会对人体的皮肤和眼睛造成较大伤害,也限制了它在有人环境下的大规模使用。随着个人卫生意识的提升以及相关应用场景的发展需求,222nm的紫外线因具有极高的安全性得到了广泛的研究。

2、文章编号为1002-8935(2019)06-0102-04,作者为易倩玉,朱铧丞的现有技术公开了一种双波导缝隙馈波的微波等离子体紫外灯装置设计,包括:半椭圆腔体、馈电波导和石英灯管。所述半椭圆腔体为反应腔体和用于汇聚紫外光的结构,腔体椭圆表面处垂直开缝;所述馈电波导为矩形波导bj26,垂直连接与半椭圆腔体外表面;所述石英灯管放置在半椭圆腔体焦点处。所述垂直缝隙耦合可以减小椭圆腔体内电磁波的互耦而得到更好的场均匀性。所述紫外灯通过双波导缝隙馈电产生电磁波能量激发紫外灯灯管中的气体产生等离子体而发光。

3、复旦学报(自然科学版)第49卷第6期,文章编号为:0427-7104(2010)06-0733-06,作者为庄晓波朱绍龙张善端,名称为正弦电源驱动下氯化氪准分子灯的特性研究的现有技术公开了一种采用介质阻挡放电 (dbd)形式激发准分子灯的222nm紫外光源,包括:石英管,内、外电极,放电间隙。所述石英管为同轴双层石英套管结构;所述内电极为高压电极,采用不锈钢箔片紧贴在双层石英管内芯内表面;所述外电极为紧贴在石英管外表面的环形不锈钢网;所述放电间隙为充有高纯氯气和氪气的同轴双层石英管间的环状间隙。所述紫外光源通过高压驱动准分子灯实现了222nm波长辐射。

4、目前,国内外普遍使用介质阻挡放电的方式制备222nm波长紫外光源,但效率较低。


技术实现思路

1、本技术的目的在于克服上述现有技术的不足,提供一种基于微波谐振腔激励的条形222 nm波长紫外光源装置,其旨在解决现有技术中制备222nm的波长效率低的技术问题。

2、为实现上述目的,本技术提出了一种基于微波谐振腔激励的条形222 nm波长紫外光源装置,包括圆柱形谐振腔外导体和与所述圆柱形谐振腔外导体同轴设置的内导体;所述内导体的顶部连接有准分子灯,在所述圆柱形谐振腔外导体的底部设置有馈电结构;所述馈电结构包括设置在所述圆柱形谐振腔外导体外部的馈电同轴外芯、设置在所述馈电同轴外芯内部的馈电同轴内芯,所述馈电同轴内芯向所述圆柱形谐振腔外导体内部延伸并与其内壁连接。

3、作为优选,所述的准分子灯为内部填充发光气体的中空石英管,所述发光气体为氪气和氯气。

4、作为优选,所述内导体的高度低于所述圆柱形谐振腔外导体,所述内导体的顶部设置有用于安装所述准分子灯的凹槽;所述圆柱形谐振腔外导体顶部开设有矩形槽。

5、作为优选,所述的馈电同轴内芯弧形弯曲接触圆柱形谐振腔外导体底部短路面内壁,馈电同轴外芯连接圆柱形谐振腔外导体底部短路面外壁。

6、作为优选,所述圆柱形谐振腔外导体为半径40.0mm,高47.0mm的空心圆柱体。

7、作为优选,所述矩形槽长l1为10-20mm,宽l2为15mm。

8、作为优选,所述的中间内导体为半径6.0mm,高为40.0mm的圆柱体,所述凹槽的的矩形结构长为6-18mm,宽小于l21-2mm,高为5mm。

9、作为优选,所述的圆柱形谐振腔外导体和内导体均为导体金属结构。

10、与现有技术相比,本技术提供的一种基于微波谐振腔激励的条形222 nm波长紫外光源装置的有益效果为:

11、该紫外光源通过在底部强磁场区域加载磁耦合馈电,结构简单方便,顶部通过采用横向放置的条形灯管增大谐振腔与准分子灯的接触面积,提高紫外灯强度,具有高强度、低功耗、小尺寸等优点。

12、本技术的特征及优点将通过实施例结合附图进行详细说明。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于微波谐振腔激励的条形222nm波长紫外光源装置,其特征在于:包括圆柱形谐振腔外导体(1)和与所述圆柱形谐振腔外导体(1)同轴设置的内导体(2);所述内导体(2)的顶部连接有准分子灯(3),在所述圆柱形谐振腔外导体(1)的底部设置有馈电结构;所述馈电结构包括设置在所述圆柱形谐振腔外导体(1)外部的馈电同轴外芯(5)、设置在所述馈电同轴外芯(5)内部的馈电同轴内芯(4),所述馈电同轴内芯(4)向所述圆柱形谐振腔外导体(1)内部延伸并与其内壁连接。

2.如权利要求1所述的一种基于微波谐振腔激励的条形222nm波长紫外光源装置,其特征在于:所述的准分子灯(3)为内部填充发光气体的中空石英管,所述发光气体为氪气和氯气。

3.如权利要求1所述的一种基于微波谐振腔激励的条形222nm波长紫外光源装置,其特征在于:所述内导体(2)的高度低于所述圆柱形谐振腔外导体(1),所述内导体(2)的顶部设置有用于安装所述准分子灯(3)的凹槽;所述圆柱形谐振腔外导体(1)顶部开设有矩形槽。

4.如权利要求1所述的一种基于微波谐振腔激励的条形222nm波长紫外光源装置,其特征在于:所述的馈电同轴内芯(4)弧形弯曲接触圆柱形谐振腔外导体(1)底部短路面内壁,馈电同轴外芯(5)连接圆柱形谐振腔外导体(1)底部短路面外壁。

5.如权利要求1所述的一种基于微波谐振腔激励的条形222nm波长紫外光源装置,其特征在于:所述圆柱形谐振腔外导体(1)为半径40.0mm,高47.0mm的空心圆柱体。

6.如权利要求3所述的一种基于微波谐振腔激励的条形222nm波长紫外光源装置,其特征在于:所述矩形槽长l1为10-20mm,宽l2为15mm。

7.如权利要求6所述的一种基于微波谐振腔激励的条形222nm波长紫外光源装置,其特征在于:所述的内导体(2)为半径6.0mm,高为40.0mm的圆柱体,所述凹槽的矩形结构长为6-18mm,宽小于l21-2mm,高为5mm。

8.如权利要求1所述的一种基于微波谐振腔激励的条形222nm波长紫外光源装置,其特征在于:所述的圆柱形谐振腔外导体(1)和内导体(2)均为导体金属结构。

...

【技术特征摘要】

1.一种基于微波谐振腔激励的条形222nm波长紫外光源装置,其特征在于:包括圆柱形谐振腔外导体(1)和与所述圆柱形谐振腔外导体(1)同轴设置的内导体(2);所述内导体(2)的顶部连接有准分子灯(3),在所述圆柱形谐振腔外导体(1)的底部设置有馈电结构;所述馈电结构包括设置在所述圆柱形谐振腔外导体(1)外部的馈电同轴外芯(5)、设置在所述馈电同轴外芯(5)内部的馈电同轴内芯(4),所述馈电同轴内芯(4)向所述圆柱形谐振腔外导体(1)内部延伸并与其内壁连接。

2.如权利要求1所述的一种基于微波谐振腔激励的条形222nm波长紫外光源装置,其特征在于:所述的准分子灯(3)为内部填充发光气体的中空石英管,所述发光气体为氪气和氯气。

3.如权利要求1所述的一种基于微波谐振腔激励的条形222nm波长紫外光源装置,其特征在于:所述内导体(2)的高度低于所述圆柱形谐振腔外导体(1),所述内导体(2)的顶部设置有用于安装所述准分子灯(3)的凹槽;所述圆柱形谐振腔外导体(1)顶部开设有矩形槽。

4.如权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员:李盛沈建国何含笑程何林涵挺
申请(专利权)人:浙江师范大学
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1