一种三波长合色分色器制造技术

本发明专利技术涉及一种三波长合色分色器及其制备方法。本发明专利技术的三波长合色分色器，包括4个同尺寸同材料的等腰直角棱镜一、等腰直角棱镜二、等腰直角棱镜三和等腰直角棱镜四，等腰直角棱镜一的斜面一或者等腰直角棱镜二的斜面二上镀制有分色膜层一，等腰直角棱镜三的斜面三或者等腰直角棱镜四的斜面四上镀制有分色膜层二；分色膜层一的分色膜层指标T≥97％@450&@550nm且R≥97％@650nmAOI＝45°；分色膜层二的分色膜层指标T≥98％@550nm且R≥98％@450nmAOI＝45°。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种三波长合色分色器。

技术介绍

1、目前常见的合色分色器有两种，包括菲利浦rgb合色器和x-cube的合色器。其中菲利浦rgb合色器，由三个不同形状的棱镜组合而成，两分色膜层分别镀在不同棱镜的分色面上，然后根据设计一个分色面胶合，一个分色面设置空气隙结构，其结构复杂，加工方案难度大，加工成本高。而x-cube的合色器，它是由4个相同的等腰直角棱镜组合而成，但如图9所示，这种合色器是在四个直角等腰直角棱镜的直角面上分别镀上不同的分色膜层，然后相邻两个棱镜的直角面进行胶合形成截面为正方形的棱镜结构，该产品对胶合的精度要求很高，若是一个面的胶合出现偏差，则会影响整个分色器的效果。

技术实现思路

1、本技术提供一种三波长合色分色器，本技术提供的合色分色器结构简单，仅由3个棱镜构成，不仅结构简单，而且需要镀分色膜层的面少、胶合面少，使用时不会因其中某个面的胶合偏差而影响整个合色分色器的使用效果，可降低对胶合的精度要求、并使加工制造更加简单方便。

2、本技术通过以下技术方案实现：

3、一种三波长合色分色器，包括相同材料的等腰直角棱镜一、等腰直角棱镜二以及等腰直角棱镜三，

4、等腰直角棱镜一和等腰直角棱镜二尺寸形状均相同，等腰直角棱镜一包括直角面一、直角面二和斜面一，等腰直角棱镜二包括直角面三、直角面四和斜面二；所述的等腰直角棱镜三包括直角面五、直角面六和斜面三，所述等腰直角棱镜三的直角面五、直角面六的形状大小分别与等腰直角棱镜一的斜面一、等腰直角棱镜二的斜面二的形状大小一致；

5、所述等腰直角棱镜三的直角面五和等腰直角棱镜一的斜面一之间镀制有分色膜层一，所述的斜面一或直角面五上镀制分色膜层一后与直角面五或斜面一重叠粘合，

6、所述等腰直角棱镜三的直角面六和等腰直角棱镜二的斜面二之间镀制有分色膜层二，所述的斜面二或者直角面六上镀制分色膜层二后与直角面六或者斜面二重叠粘合，粘合后直角面二和直角面四在一个平面上，且和斜面三平行；

7、分色膜层一的分色膜层指标t≥97％@650nm且r≥97％@450&550nm aoi＝45°；分色膜层二的分色膜层指标t≥98％@450nm r≥98％@550nm aoi＝45°。

8、具体地，分色膜层一镀制于斜面一，分色膜层一包括在等腰直角棱镜一的斜面上从里至外的第一nb2o5膜层、第一sio2膜层、第二nb2o5膜层、第二sio2膜层、第三nb2o5膜层、第三sio2膜层、第四nb2o5膜层、第四sio2膜层、第五nb2o5膜层、第五sio2膜层、第六nb2o5膜层、第六sio2膜层、第七nb2o5膜层、第七sio2膜层、第八nb2o5膜层、第八sio2膜层、第九nb2o5膜层、第九sio2膜层、第十nb2o5膜层、第十sio2膜层、第十一nb2o5膜层、第十一sio2膜层、第十二nb2o5膜层、第十二sio2膜层、第十三nb2o5膜层、第十三sio2膜层和第十四nb2o5膜层；

9、分色膜层二镀制于斜面二上，分色膜层二包括在等腰直角棱镜二斜面上从里至外的第十五nb2o5膜层、第十五sio2膜层、第十六nb2o5膜层、第十六sio2膜层、第十七nb2o5膜层、第十七sio2膜层、第十八nb2o5膜层、第十八sio2膜层、第十九nb2o5膜层、第十九sio2膜层、第二十nb2o5膜层、第二十sio2膜层、第二十一nb2o5膜层、第二十一sio2膜层、第二十二nb2o5膜层、第二十二sio2膜层、第二十三nb2o5膜层、第二十三sio2膜层、第二十四nb2o5膜层、第二十四sio2膜层、第二十五nb2o5膜层、第二十五sio2膜层、第二十六nb2o5膜层、第二十六sio2膜层、第二十七nb2o5膜层和第二十七sio2膜层。

10、具体地，第一nb2o5膜层的厚度为58.13-71.05nm，第一sio2膜层的厚度为136.08-166.32nm，第二nb2o5膜层的厚度为21.88-26.74nm，第二sio2膜层的厚度为125.78-153.73nm，第三nb2o5膜层的厚度为55.03-67.25nm，第三sio2膜层的厚度为415.48-507.80nm，第四nb2o5膜层的厚度为59.931-73.25nm，第四sio2膜层的厚度为119.40-145.94nm，第五nb2o5膜层的厚度为47.35-57.87nm，第五sio2膜层的厚度为121.12-148.04nm，第六nb2o5膜层的厚度为38.86-47.50nm，第六sio2膜层的厚度为127.15-155.364nm，第七nb2o5膜层的厚度为57.06-69.740nm，第七sio2膜层的厚度为422.85-516.81nm，第八nb2o5膜层的厚度为52.45-64.14nm，第八sio2膜层的厚度为118.15-144.41nm，第九nb2o5膜层的厚度为45.91-56.02nm，第九sio2膜层的厚度为117.45-143.55nm，第十nb2o5膜层的厚度为40.18-49.10nm，第十sio2膜层的厚度为435.67-532.49nm，第十一nb2o5膜层的厚度为56.39-28.93nm，第十一sio2膜层的厚度为123.85-151.37nm，第十二nb2o5膜层的厚度为49.60-60.62nm，第十二sio2膜层的厚度为131.54-160.77nm，第十三nb2o5膜层的厚度为22.45-27.43nm，第十三sio2膜层的厚度为142.33-173.954nm，第十四nb2o5膜层的厚度为52.84-64.58nm；

11、第十五nb2o5膜层的厚度为63.96-78.18nm，第十五sio2膜层的厚度为171.26-208.10nm，第十六nb2o5膜层的厚度为41.193-50.35nm，第十六sio2膜层的厚度为141.58-173.04nm，第十七nb2o5膜层的厚度为46.73-57.11nm，第十七sio2膜层的厚度为160.04-195.60nm，第十八nb2o5膜层的厚度为43.88-53.64nm，第十八sio2膜层的厚度为154.82-189.22nm，第十九nb2o5膜层的厚度为43.94-53.70nm，第十九sio2膜层的厚度为145.16-177.42nm，第二十nb2o5膜层的厚度为46.43-56.75nm，第二十sio2膜层的厚度为150.83-184.35nm，第二十一nb2o5膜层的厚度为47.79-58.41nm，第二十一sio2膜层的厚度为149.50-182.72nm，第二十二nb2o5膜层的厚度为46.77-57.17nm，第二十二sio2膜层的厚度为144.09-176.09nm，第二十三nb2o5膜层的厚度为44.07-53.87nm，第二十三sio2膜层的厚度为156.67-191.49nm，第二十四nb2o5膜层的厚度为43.91-53.67nm，第二十四sio2膜层的厚度为158.99-19本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种三波长合色分色器，其特征在于：包括相同材料的等腰直角棱镜一、等腰直角棱镜二以及等腰直角棱镜三，

2.根据权利要求1所述的一种三波长合色分色器，其特征在于：分色膜层一镀制于等腰直角棱镜一的斜面，

3.根据权利要求2所述的一种三波长合色分色器，其特征在于：第一Nb2O5膜层的厚度为58.13-71.05nm，第一SiO2膜层的厚度为136.08-166.32nm，第二Nb2O5膜层的厚度为21.88-26.74nm，第二SiO2膜层的厚度为125.78-153.73nm，第三Nb2O5膜层的厚度为55.03-67.25nm，第三SiO2膜层的厚度为415.48-507.80nm，第四Nb2O5膜层的厚度为59.931-73.25nm，第四SiO2膜层的厚度为119.40-145.94nm，第五Nb2O5膜层的厚度为47.35-57.87nm，第五SiO2膜层的厚度为121.12-148.04nm，第六Nb2O5膜层的厚度为38.86-47.50nm，第六SiO2膜层的厚度为127.15-155.364nm，第七Nb2O5膜层的厚度为57.06-69.740nm，第七SiO2膜层的厚度为422.85-516.81nm，第八Nb2O5膜层的厚度为52.45-64.14nm，第八SiO2膜层的厚度为118.15-144.41nm，第九Nb2O5膜层的厚度为45.91-56.02nm，第九SiO2膜层的厚度为117.45-143.55nm，第十Nb2O5膜层的厚度为40.18-49.10nm，第十SiO2膜层的厚度为435.67-532.49nm，第十一Nb2O5膜层的厚度为56.39-28.93nm，第十一SiO2膜层的厚度为123.85-151.37nm，第十二Nb2O5膜层的厚度为49.60-60.62nm，第十二SiO2膜层的厚度为131.54-160.77nm，第十三Nb2O5膜层的厚度为22.45-27.43nm，第十三SiO2膜层的厚度为142.33-173.954nm，第十四Nb2O5膜层的厚度为52.84-64.58nm；

4.根据权利要求1所述的一种三波长合色分色器，其特征在于：所述的等腰直角棱镜三的斜面三、等腰直角棱镜一的直角面二、等腰直角棱镜二的直角面三上均镀制有增透膜层。

5.根据权利要求1所述的一种三波长合色分色器，其特征在于：所述的等腰直角棱镜一、等腰直角棱镜二、等腰直角棱镜三的基底材料为石英玻璃。

...

【技术特征摘要】

1.一种三波长合色分色器，其特征在于：包括相同材料的等腰直角棱镜一、等腰直角棱镜二以及等腰直角棱镜三，

2.根据权利要求1所述的一种三波长合色分色器，其特征在于：分色膜层一镀制于等腰直角棱镜一的斜面，

3.根据权利要求2所述的一种三波长合色分色器，其特征在于：第一nb2o5膜层的厚度为58.13-71.05nm，第一sio2膜层的厚度为136.08-166.32nm，第二nb2o5膜层的厚度为21.88-26.74nm，第二sio2膜层的厚度为125.78-153.73nm，第三nb2o5膜层的厚度为55.03-67.25nm，第三sio2膜层的厚度为415.48-507.80nm，第四nb2o5膜层的厚度为59.931-73.25nm，第四sio2膜层的厚度为119.40-145.94nm，第五nb2o5膜层的厚度为47.35-57.87nm，第五sio2膜层的厚度为121.12-148.04nm，第六nb2o5膜层的厚度为38.86-47.50nm，第六sio2膜层的厚度为127.15-155.364nm，第七nb2o5膜层的厚度为57.06-69.740nm，第七sio2膜层的厚度为422.85-516.81...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱元强，林兆忠，陈昕，
申请(专利权)人：福建福特科光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：