一种可拆卸等离子电极板安装结构制造技术

技术编号:43373157 阅读:9 留言:0更新日期:2024-11-19 17:53
本申请公开了一种可拆卸等离子电极板安装结构,涉及等离子设备技术领域,其包括竖直设置的多个相互平行的电极板和设置在所述电极板上的导电结构,所述电极板上开设有多个放电孔,多个所述放电孔呈矩形阵列分布,还包括用于承托多个所述电极板的承托底板;还包括用于限制所述电极板竖向滑脱所述承托底板的限位组件以及用于驱使所述承托底板升降以使所述导电结构插接或远离导电横梁的升降组件。本申请具有腔体内的电极板整体取下打磨或更换时效率较低的效果。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及等离子设备技术的领域,尤其是涉及一种可拆卸等离子电极板安装结构


技术介绍

1、等离子体指部分或完全电离的气体,且自由电子和离子所带正、负电荷的总和完全抵消,宏观上呈现中性电。等离子又叫做电浆,是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质,它广泛存在于宇宙中,常被认为是除去固、液、气外,物质存在的第四态。等离子设备主要适用于各种材料的表面改性处理。

2、其中一种平板垂直电极式真空等离子清洗机的电极结构包括多个垂直设置且等间距的电极板,各电极板上均连接有导电结构,导电结构包括扣接在电极板顶部的导电片,导电片与电极板固定连接,导电片上设置有导电插杆,将导电插杆插接在导电横梁中的插孔中以实现等离子的放电。设备腔体顶部至少固定有两根横梁,电极板与横梁通过多组螺栓固定连接。

3、由于等离子与材料表面发生物理或者化学反应,虽然大部分气化的东西都会被真空泵抽走,但也有极少的物质会粘在电极表面,日积月累之下,电极表面容易被污染物遮挡,当电极表面已经不能通过人工擦拭的方式达到清洁要求或者电极表面已经产生肉眼看得见的污染层,就需要取下电极进行打磨或者更换电极,但由于电极板与横梁之间通过多组螺栓固定连接,将腔体内的电极板整体取下打磨或更换时效率较低,故此有待改进。


技术实现思路

1、为了改善腔体内的电极板整体取下打磨或更换时效率较低的问题,本申请提供一种可拆卸等离子电极板安装结构。

2、本申请提供的一种可拆卸等离子电极板安装结构采用如下的技术方案:

3、一种可拆卸等离子电极板安装结构,包括竖直设置的多个相互平行的电极板和设置在所述电极板上的导电结构,所述电极板上开设有多个放电孔,多个所述放电孔呈矩形阵列分布,还包括用于承托多个所述电极板的承托底板;

4、还包括用于限制所述电极板竖向滑脱所述承托底板的限位组件以及用于驱使所述承托底板升降以使所述导电结构插接或远离导电横梁的升降组件。

5、通过采用上述技术方案,在对电极板拆卸打磨或者更换时,升降组件驱使承托底板下降,由于限位组件的作用,将承托底板和多个电极板连接为一个整体,因此当承托底板下降时,多个电极板同步下降直至电极板上的导电结构远离导电横梁,而后再将电极板从承托底板上逐一取下,提高了安拆速度,大大改善了腔体内的电极板整体取下打磨或更换时效率较低的问题。

6、优选的,所述承托底板上沿其高度方向开设有多个与所述电极板数量相对应的定位槽,所述定位槽的延伸方向与所述电极板的长度方向一致,且多个所述电极板一一对应的插接至所述定位槽中。

7、通过采用上述技术方案,定位槽的开设既对电极板起预定位的效果,也使更换后的各电极板的间距保持相等,以保持电极板良好的放电效果。

8、优选的,所述升降组件包括位于所述承托底板下方并与所述承托底板相平行的基板,所述基板上设置有千斤顶,所述千斤顶的底座与所述基板固定连接,所述千斤顶的顶座与所述承托底板的底面固定连接。

9、通过采用上述技术方案,在驱使各电极板上升时,驱使千斤顶作用于承托底板上,进而实现多个电极板的整体升降,千斤顶结构简单、使用方便,且承重能力强,适用于对多个电极板的整体举升。

10、优选的,所述基板的底面上间隔设置有若干滑轨,所述滑轨的长度方向与所述电极板的长度方向相平行,设备腔体内底壁上开设有与所述滑轨数量相对应的滑槽,若干所述滑轨一一对应的滑移安装至若干所述滑槽中。

11、通过采用上述技术方案,滑轨和滑槽的配合使基板可移动的安装于腔体内,扩大了电极板安拆空间,可以进一步的加快电极板的安拆速度,改善了腔体内的电极板整体取下打磨或更换时效率较低的问题。

12、优选的,还包括开设在设备腔体内底壁上的限位槽,所述限位槽的延伸方向与所述电极板的宽度方向一致,所述限位槽内插接有用于限制所述基板沿所述电极板长度方向移动的限位挡板。

13、通过采用上述技术方案,滑轨和滑槽的配合限制了基板的横向移动,限位槽和限位挡板的配合则限制了基板的纵向移动,当限位挡板插接在限位槽中时,基板保持稳定,也使电极板上的导电结构与导电横梁上的插孔精准对应。

14、优选的,所述限位组件包括限位杆,所述限位杆同步穿设于多个所述电极板靠近所述承托底板的所述放电孔中;

15、所述限位组件还包括用于连接所述限位杆端部与所述承托底板的连接件。

16、通过采用上述技术方案,在对电极板进行竖向限位固定时,将限位杆穿设在多个电极板靠近承托底板的放电孔中,再利用连接件对限位杆的两端进行固定,限位杆与连接件的配合实现了对多个电极板的整体限位,进一步的提高了电极板的安拆效率。

17、优选的,所述连接件包括扣接安装在所述限位杆端部的锁止杆,所述锁止杆与所述承托底板通过螺栓固定连接。

18、通过采用上述技术方案,在将限位杆安装完毕之后,将锁止杆扣接在限位杆端部上,并利用螺栓将锁止杆固定在承托底板上,操作简单便捷。

19、优选的,所述滑轨远离所述基板的一侧上设置有若干滚珠。

20、通过采用上述技术方案,滚珠的设置降低了滑轨与设备腔体表面的摩擦,便于基板的移进移出。

21、综上所述,本申请包括以下至少一种有益技术效果:

22、1.在对电极板拆卸打磨或者更换时,升降组件驱使承托底板下降,由于限位组件的作用,将承托底板和多个电极板连接为一个整体,因此当承托底板下降时,多个电极板同步下降直至电极板上的导电结构远离导电横梁,而后再将电极板从承托底板上逐一取下,提高了安拆速度,大大改善了腔体内的电极板整体取下打磨或更换时效率较低的问题;

23、2.定位槽的开设既对电极板起预定位的效果,也使更换后的各电极板的间距保持相等,以保持电极板良好的放电效果;

24、3.滑轨和滑槽的配合使基板可移动的安装于腔体内,扩大了电极板安拆空间,可以进一步的加快电极板的安拆速度,改善了腔体内的电极板整体取下打磨或更换时效率较低的问题。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种可拆卸等离子电极板安装结构,包括竖直设置的多个相互平行的电极板(1)和设置在所述电极板(1)上的导电结构(2),其特征在于:所述电极板(1)上开设有多个放电孔(3),多个所述放电孔(3)呈矩形阵列分布,还包括用于承托多个所述电极板(1)的承托底板(4);还包括用于限制所述电极板(1)竖向滑脱所述承托底板(4)的限位组件(5)以及用于驱使所述承托底板(4)升降以使所述导电结构(2)插接或远离导电横梁的升降组件(6)。

2.根据权利要求1所述的一种可拆卸等离子电极板安装结构,其特征在于:所述承托底板(4)上沿其高度方向开设有多个与所述电极板(1)数量相对应的定位槽(11),所述定位槽(11)的延伸方向与所述电极板(1)的长度方向一致,且多个所述电极板(1)一一对应的插接至所述定位槽(11)中。

3.根据权利要求1所述的一种可拆卸等离子电极板安装结构,其特征在于:所述升降组件(6)包括位于所述承托底板(4)下方并与所述承托底板(4)相平行的基板(61),所述基板(61)上设置有千斤顶(62),所述千斤顶(62)的底座与所述基板(61)的固定连接,所述千斤顶(62)的顶座与所述承托底板(4)的底面固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种可拆卸等离子电极板安装结构,其特征在于:所述基板(61)的底面上间隔设置有若干滑轨(9),所述滑轨(9)的长度方向与所述电极板(1)的长度方向相平行,设备腔体内底壁上开设有与所述滑轨(9)数量相对应的滑槽(10),若干所述滑轨(9)一一对应的滑移安装至若干所述滑槽(10)中。

5.根据权利要求4所述的一种可拆卸等离子电极板安装结构,其特征在于:还包括开设在设备腔体内底壁上的限位槽(7),所述限位槽(7)的延伸方向与所述电极板(1)的宽度方向一致,所述限位槽(7)内插接有用于限制所述基板(61)沿所述电极板(1)长度方向移动的限位挡板(8)。

6.根据权利要求1所述的一种可拆卸等离子电极板安装结构,其特征在于:所述限位组件(5)包括限位杆(51),所述限位杆(51)同步穿设于多个所述电极板(1)靠近所述承托底板(4)的所述放电孔(3)中;所述限位组件(5)还包括用于连接所述限位杆(51)端部与所述承托底板(4)的连接件(52)。

7.根据权利要求6所述的一种可拆卸等离子电极板安装结构,其特征在于:所述连接件(52)包括扣接安装在所述限位杆(51)端部的锁止杆(521),所述锁止杆(521)与所述承托底板(4)通过螺栓固定连接。

8.根据权利要求4所述的一种可拆卸等离子电极板安装结构,其特征在于:所述滑轨(9)远离所述基板(61)的一侧上设置有若干滚珠。

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【技术特征摘要】

1.一种可拆卸等离子电极板安装结构,包括竖直设置的多个相互平行的电极板(1)和设置在所述电极板(1)上的导电结构(2),其特征在于:所述电极板(1)上开设有多个放电孔(3),多个所述放电孔(3)呈矩形阵列分布,还包括用于承托多个所述电极板(1)的承托底板(4);还包括用于限制所述电极板(1)竖向滑脱所述承托底板(4)的限位组件(5)以及用于驱使所述承托底板(4)升降以使所述导电结构(2)插接或远离导电横梁的升降组件(6)。

2.根据权利要求1所述的一种可拆卸等离子电极板安装结构,其特征在于:所述承托底板(4)上沿其高度方向开设有多个与所述电极板(1)数量相对应的定位槽(11),所述定位槽(11)的延伸方向与所述电极板(1)的长度方向一致,且多个所述电极板(1)一一对应的插接至所述定位槽(11)中。

3.根据权利要求1所述的一种可拆卸等离子电极板安装结构,其特征在于:所述升降组件(6)包括位于所述承托底板(4)下方并与所述承托底板(4)相平行的基板(61),所述基板(61)上设置有千斤顶(62),所述千斤顶(62)的底座与所述基板(61)的固定连接,所述千斤顶(62)的顶座与所述承托底板(4)的底面固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种可拆卸等离子电极板安装结构,其特征在于:所述基板(61)的底面上...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘华光
申请(专利权)人:深圳市奥普斯等离子体科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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