【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及均流板，具体为一种改善太阳能电池氧化铝膜厚均匀性的匀流板装置。
技术介绍
1、在太阳能电池的制造过程中，氧化铝膜的质量和均匀性对于电池的性能有着至关重要的影响，氧化铝膜作为一种钝化层，能够有效减少电池表面的缺陷，提升光电转换效率。
2、均流板是一种用于调节气体或液体流动的关键部件，其作用是确保气体或液体在流经反应器或其他工艺设备时能够均匀分布，在电池氧化铝工艺中，均流板的设置旨在改善气体或液体的流动状态，避免流体在某些区域聚集或流速不均匀，通过合理设计均流板的结构和孔径分布，可以显著改善氧化铝膜的沉积过程，使膜厚分布更加均匀，从而提升太阳能电池的整体性能和稳定性。
3、中国专利（公告号：cn118332655a），该方案：分离罐包括聚磁介质填充区和在聚磁介质填充区两侧对称布置的布浆结构，所述布浆结构包括依次设置的缓冲区i、均流板、缓冲区ii和均匀孔板，所述均流板采用径向长条孔和相邻圆环形开孔区域交错开孔，并在相邻圆环型开孔区域之间的过渡区域做开孔的过渡处理。本专利技术的分离罐中，均流板采用径向长条孔和相邻圆环形开孔区域交错开孔可获得与简单模型最接近的优化指标，且在相邻圆环型开孔区域之间的过渡区域做开孔的过渡处理可显著降低流体涡旋的作用范围，使得布浆结构整体均流效果更好，并让聚磁介质填充区的长度可以更长，使得分离罐整体的分离效率大大提高。
4、现有用于电池氧化铝加工工艺中用的均流板在使用过程中，通过其上设置的多组孔径均匀分布气体，但是，当反应气体在通过均流板位置处气体流速相差较大时
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种改善太阳能电池氧化铝膜厚均匀性的匀流板装置，具备在气体流速相差较大时能够均匀分布气体的优点，解决了难以进一步保证反应气体在基片表面沉积均匀性的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种改善太阳能电池氧化铝膜厚均匀性的匀流板装置，包括基板以及其上供气体流通的多组通道管，所述通道管包括上部通道管和下部通道管，且上部通道管和下部通道管之间设有均匀气体流通量的平流结构；
3、所述基板包括一体成型的上位板和下位板，平流结构包括设置上部通道管和下部通道管之间的定位圆板和调位圆板，下部通道管的两端分别与下位板和定位圆板之间固定贯通，上部通道管顶部固定贯通有敞口管道，敞口管道与上位板之间固定贯通，上部通道管远离敞口管道的一端与调位圆板之间滑动接触；
4、所述定位圆板和调位圆板之间设有多组自由偏转的环封座，多组环封座均与定位圆板和调位圆板的相对面之间滑动接触，且多组环封座之间形成供气体流通的阻气通道；
5、所述基板上设有根据气体流速而驱使多组环封座同步偏转以改变阻气通道截面尺寸的变径组件，基板上还设有调节多组通道管处气体流通量的匀流组件。
6、优选的，所述上部通道管和下部通道管的圆心处于同一中轴线上且两者内径尺寸一致，上部通道管和下部通道管两者均与阻气通道之间气体相通。
7、优选的，所述环封座下表面固定连接有下滑块，定位圆板上开设有供下滑块滑动连接的等边限位槽，环封座上固定连接有导向销，调位圆板上开设有供导向销滑动连接的导向槽。
8、优选的，所述调位圆板上固定连接环板，环板的内壁面与上部通道管的外周面之间滑动接触，且环板与上部通道管的相对面均做光滑处理。
9、优选的，所述匀流组件包括开设在环封座上的微径孔，微径孔与阻气通道位置相对应，多组通道管在基板上呈径向阵列排布，下位板对应相邻通道管之间均固定连接有环形均气管道，多组环形均气管道之间固定贯通；
10、多组所述环封座上均固定贯通有与微径孔气体相通的毛细管道，毛细管道远离环封座的一端固定贯通在环形均气管道上。
11、优选的，所述变径组件包括固定连接在调位圆板上的衔架框，衔架框上设有在垂直方向上自由运动的多组竖向柱，竖向柱朝向衔架框的一侧固定连接有调位销，衔架框上开设有供调位销滑动连接的螺旋槽。
12、优选的，所述定位圆板上固定连接有u形伸座，u形伸座上开设有供竖向柱垂直方向滑动贯穿的通孔，竖向柱上固定连接有抵位板，且竖向柱外周面套设有复位弹簧，复位弹簧的两端分别固定连接在u形伸座和抵位板上。
13、优选的，所述敞口管道上定轴转动有多组驱气板，驱气板朝向u形伸座的一端设有内夹角移块，内夹角移块与驱气板之间抵触连接，敞口管道上开设有供内夹角移块水平滑动贯穿的矩形槽，竖向柱朝向内夹角移块的一端固定连接有同位销，内夹角移块上开设有供同位销滑动连接的斜向同位槽。
14、与现有技术相比，本专利技术的有益效果如下：
15、1、本专利技术通过设置平流结构，平流结构包括定位圆板、调位圆板和多个环封座，环封座之间形成阻气通道，气体通过该通道时，由于文丘里效应会产生速度变化，以调节气体流速，其中，基板上设有根据气体流速驱使环封座同步偏转的装置，以改变阻气通道的截面尺寸，从而调节气体流量。
16、2、本专利技术通过设置匀流组件，当通道管内气体流速过快时，产生低压现象，引导气体从流速较慢的通道管处吸入，从而实现气体流量的均衡分布。
17、3、本专利技术通过设置平流结构，可以有效地将进入反应室的气流分散开，确保气流在整个反应区内均匀分布，这有助于避免局部气流出现过强或过弱的情况，确保整个反应区内的反应条件均匀一致，从而提升氧化铝的生产效率和产品质量。
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1.一种改善太阳能电池氧化铝膜厚均匀性的匀流板装置，包括基板（1）以及其上供气体流通的多组通道管，其特征在于：所述通道管包括上部通道管（2）和下部通道管（4），且上部通道管（2）和下部通道管（4）之间设有均匀气体流通量的平流结构；
2.根据权利要求1所述的一种改善太阳能电池氧化铝膜厚均匀性的匀流板装置，其特征在于：所述上部通道管（2）和下部通道管（4）的圆心处于同一中轴线上且两者内径尺寸一致，上部通道管（2）和下部通道管（4）两者均与阻气通道之间气体相通。
3.根据权利要求2所述的一种改善太阳能电池氧化铝膜厚均匀性的匀流板装置，其特征在于：所述环封座（7）下表面固定连接有下滑块（8），定位圆板（5）上开设有供下滑块（8）滑动连接的等边限位槽（9），环封座（7）上固定连接有导向销（10），调位圆板（6）上开设有供导向销（10）滑动连接的导向槽（11）。
4.根据权利要求3所述的一种改善太阳能电池氧化铝膜厚均匀性的匀流板装置，其特征在于：所述调位圆板（6）上固定连接环板（12），环板（12）的内壁面与上部通道管（2）的外周面之间滑动接触，且环板（1
5.根据权利要求4所述的一种改善太阳能电池氧化铝膜厚均匀性的匀流板装置，其特征在于：所述匀流组件包括开设在环封座（7）上的微径孔（24），微径孔（24）与阻气通道位置相对应，多组通道管在基板（1）上呈径向阵列排布，下位板（102）对应相邻通道管之间均固定连接有环形均气管道（25），多组环形均气管道（25）之间固定贯通；
6.根据权利要求5所述的一种改善太阳能电池氧化铝膜厚均匀性的匀流板装置，其特征在于：所述变径组件包括固定连接在调位圆板（6）上的衔架框（13），衔架框（13）上设有在垂直方向上自由运动的多组竖向柱（15），竖向柱（15）朝向衔架框（13）的一侧固定连接有调位销（17），衔架框（13）上开设有供调位销（17）滑动连接的螺旋槽（18）。
7.根据权利要求6所述的一种改善太阳能电池氧化铝膜厚均匀性的匀流板装置，其特征在于：所述定位圆板（5）上固定连接有U形伸座（14），U形伸座（14）上开设有供竖向柱（15）垂直方向滑动贯穿的通孔，竖向柱（15）上固定连接有抵位板（16），且竖向柱（15）外周面套设有复位弹簧（23），复位弹簧（23）的两端分别固定连接在U形伸座（14）和抵位板（16）上。
8.根据权利要求7所述的一种改善太阳能电池氧化铝膜厚均匀性的匀流板装置，其特征在于：所述敞口管道（3）上定轴转动有多组驱气板（19），驱气板（19）朝向U形伸座（14）的一端设有内夹角移块（20），内夹角移块（20）与驱气板（19）之间抵触连接，敞口管道（3）上开设有供内夹角移块（20）水平滑动贯穿的矩形槽，竖向柱（15）朝向内夹角移块（20）的一端固定连接有同位销（21），内夹角移块（20）上开设有供同位销（21）滑动连接的斜向同位槽（22）。
...【技术特征摘要】
1.一种改善太阳能电池氧化铝膜厚均匀性的匀流板装置，包括基板（1）以及其上供气体流通的多组通道管，其特征在于：所述通道管包括上部通道管（2）和下部通道管（4），且上部通道管（2）和下部通道管（4）之间设有均匀气体流通量的平流结构；
2.根据权利要求1所述的一种改善太阳能电池氧化铝膜厚均匀性的匀流板装置，其特征在于：所述上部通道管（2）和下部通道管（4）的圆心处于同一中轴线上且两者内径尺寸一致，上部通道管（2）和下部通道管（4）两者均与阻气通道之间气体相通。
3.根据权利要求2所述的一种改善太阳能电池氧化铝膜厚均匀性的匀流板装置，其特征在于：所述环封座（7）下表面固定连接有下滑块（8），定位圆板（5）上开设有供下滑块（8）滑动连接的等边限位槽（9），环封座（7）上固定连接有导向销（10），调位圆板（6）上开设有供导向销（10）滑动连接的导向槽（11）。
4.根据权利要求3所述的一种改善太阳能电池氧化铝膜厚均匀性的匀流板装置，其特征在于：所述调位圆板（6）上固定连接环板（12），环板（12）的内壁面与上部通道管（2）的外周面之间滑动接触，且环板（12）与上部通道管（2）的相对面均做光滑处理。
5.根据权利要求4所述的一种改善太阳能电池氧化铝膜厚均匀性的匀流板装置，其特征在于：所述匀流组件包括开设在环封座（7）上的微径孔（24），微径孔（24）与阻气通道位置相对应，多组通道管在基板（1）上呈径向阵列排布，下位板（10...
【专利技术属性】
技术研发人员：杭剑，
申请(专利权)人：淮安捷泰新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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