【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体检测，特别是涉及一种次品复检处理设备。
技术介绍
1、在半导体行业的检测领域，为了避免误检测，减小损失，除了第一道主要检测外，一般会配有第二道检测工序，行业上俗称复检(重复检测)。一般来说复检是利用电动3d显微镜对料片进行二次检测，用于确认料片上的芯片是否真的有缺陷。
2、对次品进行复检后发现还是有问题，需要对次品进行点墨或者割线处理。对次品进行点墨或者割线处理时往往需要设计单独的次品处理设备，该设备需要和检测设备(主检设备、复检设备)进行拼装，从而完成检测和次品处理的功能。
3、但是，检测设备和次品处理设备分别是单独的设备，需要事先拼装和调试好设备后，再把设备运输到芯片生产公司进行二次的拼装和调试，需要投入大量的人力物力成本对设备拼装和调试，拼装调试难度较大。另外，检测设备和次品处理设备均需要设计单独的钣金机架，设备成本较大，且会占用较多空间。
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问题是：针对现有的检测设备和次品处理设备拼装调试难度较大的问题，提供一种次品复检处理设备。
2、为解决上述技术问题，本技术实施例提供一种次品复检处理设备，包括机台、料片输送机构、复检机构和次品处理机构；所述料片输送机构设置在所述机台上，所述料片输送机构用于接收料片并将料片输送至所述复检机构；
3、所述复检机构包括第一升降组件、安装架及设置在所述安装架上的第一输送组件，所述第一升降组件连接在所述机台上，所述第一升降组件的输出端与所述安装架连
4、所述次品处理机构包括检测部和次品处理部，所述第一升降组件能够带动所述安装架在检测位置和输送位置之间往复移动，所述安装架位于所述检测位置时，所述检测部用于对所述复检通道上的次品料片进行复检，所述次品处理部用于在所述检测部确认次品料片的缺陷时标记次品料片；
5、所述安装架位于所述输送位置时，所述第一输送组件能够将标记的次品料片从所述复检通道送出。
6、可选地，所述复检机构还包括连接在所述安装架上的第二输送组件，所述安装架上还具有用于接收由所述料片输送机构输送的料片中的合格料片的出料通道，所述第二输送组件能够带动合格料片在所述出料通道中移动并将合格料片送出；
7、所述第一升降组件带动所述安装架上下移动，以使得所述料片输送机构将料片输送给所述复检通道或者所述出料通道。
8、可选地，所述第一输送组件包括第一驱动件和第一皮带组件，所述第一皮带组件设置在所述复检通道中，所述第一驱动件的输出端连接所述第一皮带组件，所述第一皮带组件用于传送次品料片；
9、所述第二输送组件包括第二驱动件和第二皮带组件，所述第二皮带组件设置在所述出料通道中，所述第二驱动件的输出端连接所述第二皮带组件，所述第二皮带组用于传送合格料片。
10、可选地，所述安装架包括底板、第一连接板和第二连接板，所述第一升降组件的输出端连接所述底板，所述第一连接板和所述第二连接板相对设置在所述底板上，所述复检通道及所述出料通道形成在所述第一连接板和所述第二连接板之间。
11、可选地，所述复检机构还包括用于推动次品料片脱离所述复检通道的第一推料组件和用于推动合格料片脱离所述出料通道的第二推料组件；
12、所述第一推料组件包括第三驱动件、第一滑块和第一推料板，所述第一滑块滑动连接在所述安装架上，所述第三驱动件连接所述第一滑块，所述第一推料板连接在所述第一滑块上，所述第一推料板在所述第一输送组件带动次品料片移动时抵接在次品料片上；
13、所述第二推料组件包括第四驱动件、第二滑块和第二推料板，所述第二滑块滑动连接在所述安装架上，所述第四驱动件连接所述第二滑块，所述第二推料板连接在所述第二滑块上，所述第二推料板在所述第二输送组件带动合格料片移动时抵接在合格料片上。
14、可选地，所述第一推料组件还包括第一凸轮杆及第一弹性件，所述第一凸轮杆设置在所述复检通道的进入端，所述第一弹性件连接在所述第一滑块和所述第一推料板之间，所述第一推料板转动连接在所述第一滑块上，所述第三驱动件能够带动所述第一推料板抵接所述第一凸轮杆，以使得所述第一推料板转动并在次品料片进入所述复检通道时进行避让；
15、所述第二推料组件还包括第二凸轮杆及第二弹性件，所述第二凸轮杆设置在所述出料通道的进入端，所述第二弹性件连接在所述第二滑块和所述第二推料板之间，所述第二推料板转动连接在所述第二滑块上，所述第四驱动件能够带动所述第二推料板抵接所述第二凸轮杆，以使得所述第二推料板转动并在合格料片进入所述出料通道时进行避让。
16、可选地，所述次品处理机构还包括安装在所述机台上的运动模组，所述检测部和所述次品处理部连接在所述运动模组上，所述运动模组能够带动所述检测部和所述次品处理部向着所述复检通道上的次品料片移动。
17、可选地，所述料片输送机构包括支撑座、第五驱动件和第五皮带组件，所述支撑座设置在所述机台上，所述第五驱动件和所述第五皮带组件设置在所述支撑座上，所述第五驱动件的输出端连接所述第五皮带组件，所述第五皮带组件用于输送料片。
18、可选地，还包括料片缓存机构，所述料片缓存机构包括第二升降组件和料架，所述第二升降组件的输出端与所述料架连接，所述支撑座滑动连接在所述料架上；
19、所述第二升降组件适于带动所述料架向上移动，以带动所述第五皮带组件上的次品料片存储在所述料架中，所述第二升降组件适于带动所述料架向下移动，以将所述料架中的次品料片转移到所述第五皮带组件上并输送到所述复检通道。
20、可选地，所述料架包括架体、第一支架和第二支架，所述支撑座包括相对设置的第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板滑动连接在所述第一支架上，所述第二支撑板滑动连接在所述第二支架上；
21、所述第一支架上设置有多个第一支撑柱，所述第二支架上设置有多个第二支撑柱，位于相同高度的所述第一支撑柱与所述第二支撑柱能够支撑料片。
22、本技术实施例提供的次品复检处理设备，通过料片输送机构对复检机构的复检通道进行对接，能够将次品料片输送到复检通道中，通过第一升降组件带动安装架移动，从而将次品料片移动到检测位置处进行复检，并通过次品处理部对次品料片标记完成次品料片的复检和处理，本实施例中将复检机构、检测部和次品处理部集成在一个机台上，能够节省二次拼装和调试的过程，降低复检机构和次品处理机构的调试难度，且能够减少钣金机架的使用，提高集成度，减少占用空间，降低成本。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种次品复检处理设备，其特征在于，包括机台、料片输送机构、复检机构和次品处理机构；所述料片输送机构设置在所述机台上，所述料片输送机构用于接收料片并将料片输送至所述复检机构；
2.如权利要求1所述的次品复检处理设备，其特征在于，所述复检机构还包括连接在所述安装架上的第二输送组件，所述安装架上还具有用于接收由所述料片输送机构输送的料片中的合格料片的出料通道，所述第二输送组件能够带动合格料片在所述出料通道中移动并将合格料片送出；
3.如权利要求2所述的次品复检处理设备，其特征在于，所述第一输送组件包括第一驱动件和第一皮带组件，所述第一皮带组件设置在所述复检通道中，所述第一驱动件的输出端连接所述第一皮带组件，所述第一皮带组件用于传送次品料片；
4.如权利要求2所述的次品复检处理设备，其特征在于，所述安装架包括底板、第一连接板和第二连接板，所述第一升降组件的输出端连接所述底板，所述第一连接板和所述第二连接板相对设置在所述底板上，所述复检通道及所述出料通道形成在所述第一连接板和所述第二连接板之间。
5.如权利要求2所述的次品复检处理设备，其
6.如权利要求5所述的次品复检处理设备，其特征在于，所述第一推料组件还包括第一凸轮杆及第一弹性件，所述第一凸轮杆设置在所述复检通道的进入端，所述第一弹性件连接在所述第一滑块和所述第一推料板之间，所述第一推料板转动连接在所述第一滑块上，所述第三驱动件能够带动所述第一推料板抵接所述第一凸轮杆，以使得所述第一推料板转动并在次品料片进入所述复检通道时进行避让；
7.如权利要求1所述的次品复检处理设备，其特征在于，所述次品处理机构还包括安装在所述机台上的运动模组，所述检测部和所述次品处理部连接在所述运动模组上，所述运动模组能够带动所述检测部和所述次品处理部向着所述复检通道上的次品料片移动。
8.如权利要求2所述的次品复检处理设备，其特征在于，所述料片输送机构包括支撑座、第五驱动件和第五皮带组件，所述支撑座设置在所述机台上，所述第五驱动件和所述第五皮带组件设置在所述支撑座上，所述第五驱动件的输出端连接所述第五皮带组件，所述第五皮带组件用于输送料片。
9.如权利要求8所述的次品复检处理设备，其特征在于，还包括料片缓存机构，所述料片缓存机构包括第二升降组件和料架，所述第二升降组件的输出端与所述料架连接，所述支撑座滑动连接在所述料架上；
10.如权利要求9所述的次品复检处理设备，其特征在于，所述料架包括架体、第一支架和第二支架，所述支撑座包括相对设置的第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板滑动连接在所述第一支架上，所述第二支撑板滑动连接在所述第二支架上；
...【技术特征摘要】
1.一种次品复检处理设备，其特征在于，包括机台、料片输送机构、复检机构和次品处理机构；所述料片输送机构设置在所述机台上，所述料片输送机构用于接收料片并将料片输送至所述复检机构；
2.如权利要求1所述的次品复检处理设备，其特征在于，所述复检机构还包括连接在所述安装架上的第二输送组件，所述安装架上还具有用于接收由所述料片输送机构输送的料片中的合格料片的出料通道，所述第二输送组件能够带动合格料片在所述出料通道中移动并将合格料片送出；
3.如权利要求2所述的次品复检处理设备，其特征在于，所述第一输送组件包括第一驱动件和第一皮带组件，所述第一皮带组件设置在所述复检通道中，所述第一驱动件的输出端连接所述第一皮带组件，所述第一皮带组件用于传送次品料片；
4.如权利要求2所述的次品复检处理设备，其特征在于，所述安装架包括底板、第一连接板和第二连接板，所述第一升降组件的输出端连接所述底板，所述第一连接板和所述第二连接板相对设置在所述底板上，所述复检通道及所述出料通道形成在所述第一连接板和所述第二连接板之间。
5.如权利要求2所述的次品复检处理设备，其特征在于，所述复检机构还包括用于推动次品料片脱离所述复检通道的第一推料组件和用于推动合格料片脱离所述出料通道的第二推料组件；
6.如权利要求5所述的次品复检处理设备，其特征在于，所述第一推料组件还包括第一凸轮杆及...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗炜桓，陈林才，李刁龙，
申请(专利权)人：深圳市华拓半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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