【技术实现步骤摘要】
本申请涉及沉积设备，尤其是涉及一种用于安装隔热环的定心工装。
技术介绍
1、热式薄膜原子层沉积(tald)设备主要通过加热两种反应气体循环反应来制备薄膜，通过将加热器产生的热量提高反应室的温度，在热能的激励下，使反应室中的气体分子发生原子层级的反应，在衬底上沉积得到相应的膜。在热式薄膜原子层沉积设备中，反应腔室的隔热性能优异直接影响设备的质量，因此在加热过程中，对于隔热的设计尤为重要。相关技术中，采用石英质的隔热环作为热式薄膜原子层沉积设备中隔热部件，但是由于隔热环结构涉及的特殊性，难以保证隔热环在安装过程中的精度，增加了隔热环安装的难度。
技术实现思路
1、为解决上述问题，本申请提供了一种能够增加隔热环安装精度降低隔热环安装难度的定心工装。
2、为实现上述目的，本申请采用的技术方案如下：
3、本申请提供了一种定心工装，该定心工装用于将反应腔的隔热环安装至加热器，该定心工装包括本体、第一凸起和第二凸起：本体设置为环形结构，第一凸起连接至本体上，第一凸起与本体配合形成能够抵接至加热器的第一台阶，第二凸起连接至第一凸起，第二凸起与第一凸起配合形成能够对隔热环形成限位的第二台阶。
4、进一步地，第一凸起为环形结构，第二凸起为环形结构，本体、第一凸起和第二凸起为同轴设置。
5、进一步地，第一凸起的内径与加热器的外径相同。
6、进一步地，第二凸起的内径与隔热环的内环壁的外径相同。
7、进一步地，第一凸起的底部的内侧设有第
8、进一步地，在定心工装的径向上，第二凸起相对于第一凸起靠外侧设置。
9、进一步地，在定心工装的高度方向上，第一凸起高于第二凸起设置。
10、进一步地，在定心工装的径向上，第二凸宽度小于第一凸起。
11、进一步地，定心工装还包括把手，把手设置于本体远离第一凸起的一侧。
12、进一步地，定心工装中至少设有两个把手，把手在本体上均匀设置。
13、通过在定心工装上设置了与加热器相互配合的第一凸起及与隔热环相互配合的第二凸起，能够解决隔热环安装过程中安装难度大的问题，提升隔热环安装后的位置准确性，保证隔热环的安装精度，进而提升隔热环及整个热式薄膜原子层沉积设备中的隔热效果。
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1.一种用于安装隔热环的定心工装，用于将反应腔的隔热环安装至加热器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的定心工装，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的定心工装，其特征在于：
4.根据权利要求1所述的定心工装，其特征在于：
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7.根据权利要求1所述的定心工装，其特征在于：
8.根据权利要求1所述的定心工装，其特征在于：
9.根据权利要求1所述的定心工装，其特征在于：
10.根据权利要求9所述的定心工装，其特征在于：
【技术特征摘要】
1.一种用于安装隔热环的定心工装，用于将反应腔的隔热环安装至加热器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的定心工装，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的定心工装，其特征在于：
4.根据权利要求1所述的定心工装，其特征在于：
5.根据权利要求1所述的定心工装，...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹建伟，朱凌锋，罗丹，陈培杰，张华敏，胡汉彦，刘海博，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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