一种镀膜机用镀膜夹具制造技术

本技术公开了一种镀膜机用镀膜夹具，包括底座，其特征在于：所述底座的顶部固定安装有镀膜仓，所述镀膜仓的内壁固定连接有滑槽板，所述滑槽板的内壁滑动连接有底部滑轮，所述底部滑轮的顶部固定安装有多个连接杆，通过设置夹持翻转组件，依次对镀膜件进行夹持和翻转，使装置在一次转动中对镀膜件两面皆完成镀膜，达到了在不停机的状态下进行连续作业的效果，根据镀膜件选取翻转板安装于翻转杆上，拉动拉伸块，拉伸块带动拉伸杆在拉伸槽中滑动，将其中一个夹板拉至最大限度，将镀膜件从另一个夹板的内壁放入限位槽中，松开拉伸块，使两个夹板在限位弹簧的作用下对镀膜件进行夹持，依次将翻转板上的限位槽放满。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及镀膜机，具体为一种镀膜机用镀膜夹具。

技术介绍

1、镀膜机一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面，通过成膜过程,形成薄膜，镀膜机中都有一个用于装载工件的转架，转架上设置有用于固定光学元件或者其他平板状基材的多个夹具。

2、现有的镀膜夹具普遍只对单个基片进行镀膜，效率较慢，且镀膜喷口只有一个，转架将基片翻转后还需再次经过镀膜喷口进行镀膜，无法做到连续作业，也无法对多个基片同时进行镀膜。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种镀膜机用镀膜夹具，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种镀膜机用镀膜夹具，包括底座，所述底座的顶部固定安装有镀膜仓，所述镀膜仓的内壁固定连接有滑槽板，所述滑槽板的内壁滑动连接有底部滑轮，所述底部滑轮的顶部固定安装有多个连接杆，多个所述连接杆的顶部之间固定连接有顶部转轮，所述顶部转轮的底部与底部滑轮的顶部之间活动连接有夹持翻转组件。

3、通过上述结构达到在不停机的状态下进行连续作业的效果，底部滑轮通过设置的连接杆在滑槽板中转动滑行，镀膜仓对翻转板上的镀膜件进行镀膜，当两面均镀膜完成后，翻转板再次转动到操作口处，取出已镀膜的镀膜件，再放置新的镀膜件，依次反复。

4、作为本技术方案的进一步优选的，所述夹持翻转组件包括旋转气缸，所述旋转气缸固定安装于底部滑轮的内壁，所述旋转气缸的输出端固定连接有翻转杆，所述翻转杆的一端与顶部转轮的内壁转动连接，所述翻转杆的外壁固定连接有翻转板。

5、作为本技术方案的进一步优选的，所述翻转板的内壁开设有多个限位槽，所述限位槽的内壁固定连接有两组限位弹簧，每组限位弹簧的一端之间均固定连接有夹板，所述夹板的底部与限位槽的顶部滑动连接。

6、作为本技术方案的进一步优选的，其中一个所述夹板的外壁固定连接有拉伸杆，所述拉伸杆的外壁固定连接有拉伸块，所述翻转板的内壁开设有拉伸槽，所述拉伸杆的外壁与拉伸块的外壁均与拉伸槽的内壁滑动连接。

7、通过上述结构起到对镀膜件夹持和翻转的作用，根据镀膜件选取翻转板安装于翻转杆上，拉动拉伸块，拉伸块带动拉伸杆在拉伸槽中滑动，将其中一个夹板拉至最大限度，将镀膜件从另一个夹板的内壁放入限位槽中，松开拉伸块，使两个夹板在限位弹簧的作用下对镀膜件进行夹持，依次将翻转板上的限位槽放满，当翻转板转动至操作口的对面时，旋转气缸启动，旋转气缸的输出端经翻转杆将翻转板翻转至背面，再对镀膜件的背面进行镀膜。

8、作为本技术方案的进一步优选的，所述底座的顶部固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定连接有转动齿轮，所述转动齿轮的外壁与顶部转轮的内壁固定连接。

9、通过上述结构起到带动装置转动的作用，启动伺服电机，伺服电机的输出端经转动齿轮带动顶部转轮转动。

10、作为本技术方案的进一步优选的，所述底座的顶部固定连接有两个镀膜罐，所述镀膜罐的顶部固定连接有多个传输管，多个所述传输管的一端均与镀膜仓的顶部固定连接。

11、通过上述结构达到对镀膜件镀膜的效果，镀膜罐中的镀膜材料经传输管传送至镀膜仓对翻转板上的镀膜件正面进行镀膜。

12、作为本技术方案的进一步优选的，所述镀膜仓的内壁开设有操作口，所述操作口设置于其中一个夹持翻转组件的上方。

13、通过上述结构起到装卸镀膜件的作用，装置转动到操作口对准下一个翻转板时停止，将镀膜件依次安装。

14、本技术提供了一种镀膜机用镀膜夹具，具备以下有益效果：

15、(1)本技术通过设置夹持翻转组件，依次对镀膜件进行夹持和翻转，使装置在一次转动中对镀膜件两面皆完成镀膜，达到了在不停机的状态下进行连续作业的效果，根据镀膜件选取翻转板安装于翻转杆上，拉动拉伸块，拉伸块带动拉伸杆在拉伸槽中滑动，将其中一个夹板拉至最大限度，将镀膜件从另一个夹板的内壁放入限位槽中，松开拉伸块，使两个夹板在限位弹簧的作用下对镀膜件进行夹持，依次将翻转板上的限位槽放满，当翻转板转动至操作口的对面时，旋转气缸启动，旋转气缸的输出端经翻转杆将翻转板翻转至背面，再对镀膜件的背面进行镀膜。

16、(2)本技术通过伺服电机带动顶部转轮转动，依次进行装载-镀膜-翻转-镀膜-取出的流程，达到了对多个镀膜件同时镀膜的效果，启动伺服电机，伺服电机的输出端经转动齿轮带动顶部转轮转动，底部滑轮通过设置的连接杆在滑槽板中转动滑行，当转动到操作口对准下一个翻转板时停止，将镀膜件依次安装，同时镀膜罐中的镀膜材料经传输管传送至镀膜仓对翻转板上的镀膜件正面进行镀膜，当两面均镀膜完成后，翻转板再次转动到操作口处，取出已镀膜的镀膜件，再放置新的镀膜件，依次反复。

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【技术保护点】

1.一种镀膜机用镀膜夹具，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定安装有镀膜仓(4)，所述镀膜仓(4)的内壁固定连接有滑槽板(12)，所述滑槽板(12)的内壁滑动连接有底部滑轮(7)，所述底部滑轮(7)的顶部固定安装有多个连接杆(6)，多个所述连接杆(6)的顶部之间固定连接有顶部转轮(5)，所述顶部转轮(5)的底部与底部滑轮(7)的顶部之间活动连接有夹持翻转组件(8)。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜机用镀膜夹具，其特征在于：所述夹持翻转组件(8)包括旋转气缸(801)，所述旋转气缸(801)固定安装于底部滑轮(7)的内壁，所述旋转气缸(801)的输出端固定连接有翻转杆(802)，所述翻转杆(802)的一端与顶部转轮(5)的内壁转动连接，所述翻转杆(802)的外壁固定连接有翻转板(803)。

3.根据权利要求2所述的一种镀膜机用镀膜夹具，其特征在于：所述翻转板(803)的内壁开设有多个限位槽(804)，所述限位槽(804)的内壁固定连接有两组限位弹簧(806)，每组限位弹簧(806)的一端之间均固定连接有夹板(805)，所述夹板(805)的底部与限位槽(804)的顶部滑动连接。

4.根据权利要求3所述的一种镀膜机用镀膜夹具，其特征在于：其中一个所述夹板(805)的外壁固定连接有拉伸杆(807)，所述拉伸杆(807)的外壁固定连接有拉伸块(808)，所述翻转板(803)的内壁开设有拉伸槽(809)，所述拉伸杆(807)的外壁与拉伸块(808)的外壁均与拉伸槽(809)的内壁滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种镀膜机用镀膜夹具，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定连接有伺服电机(10)，所述伺服电机(10)的输出端固定连接有转动齿轮(11)，所述转动齿轮(11)的外壁与顶部转轮(5)的内壁固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种镀膜机用镀膜夹具，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定连接有两个镀膜罐(2)，所述镀膜罐(2)的顶部固定连接有多个传输管(3)，多个所述传输管(3)的一端均与镀膜仓(4)的顶部固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种镀膜机用镀膜夹具，其特征在于：所述镀膜仓(4)的内壁开设有操作口(9)，所述操作口(9)设置于其中一个夹持翻转组件(8)的上方。

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【技术特征摘要】

1.一种镀膜机用镀膜夹具，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定安装有镀膜仓(4)，所述镀膜仓(4)的内壁固定连接有滑槽板(12)，所述滑槽板(12)的内壁滑动连接有底部滑轮(7)，所述底部滑轮(7)的顶部固定安装有多个连接杆(6)，多个所述连接杆(6)的顶部之间固定连接有顶部转轮(5)，所述顶部转轮(5)的底部与底部滑轮(7)的顶部之间活动连接有夹持翻转组件(8)。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜机用镀膜夹具，其特征在于：所述夹持翻转组件(8)包括旋转气缸(801)，所述旋转气缸(801)固定安装于底部滑轮(7)的内壁，所述旋转气缸(801)的输出端固定连接有翻转杆(802)，所述翻转杆(802)的一端与顶部转轮(5)的内壁转动连接，所述翻转杆(802)的外壁固定连接有翻转板(803)。

3.根据权利要求2所述的一种镀膜机用镀膜夹具，其特征在于：所述翻转板(803)的内壁开设有多个限位槽(804)，所述限位槽(804)的内壁固定连接有两组限位弹簧(806)，每组限位弹簧(806)的一端之间均固定连接有夹板(805)，所述夹板(805)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴钦，杨志华，
申请(专利权)人：倍特微半导体科技江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：