【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及冶金，尤其涉及一种炉管。
技术介绍
1、在光伏制造
中，主要工艺装备多以卧式结构为主，例如扩散、退火、pecvd(plasma enhanced chemical vapor deposition，等离子体增强化学的气相沉积法)以及lpcvd(low pressure chemical vapor deposition，低压力化学气相沉积法)等；常规的卧式镀膜设备的温场和气场十字交叉现象更为明显，炉管内的反应腔顶部与底部的温场存在显著差别。
2、为解决上述问题，现有厂商则设置立式镀膜设备，工艺气体进入立式炉管内的反应腔后受热膨胀，会聚集在反应腔顶部，完成工艺反应之后再排出气体，且在工艺反应中需保证反应腔能均匀地进气，以保证反应腔内的电池片镀膜的均匀性。
3、因此，为保证立式镀膜设备能均匀进气，进而保证电池片镀膜的均匀性，不同的厂商提出了不同的设计方案，且不同的设计方案的设计理念各不相同，且产生的效果也不一样。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术提供了一种炉管，用于解决现有技术中炉管无法保证反应腔能均匀地进气，无法保证反应腔内的电池片镀膜的均匀性的问题。
2、本专利技术的技术方案为一种炉管，其内部设有放置载具的反应腔，所述炉管的顶部或底部设有多个与所述反应腔相通的进气口，所述进气口远离所述反应腔的一端连接有进气装置；
3、所述进气口位于所述反应腔的另一端连接有匀流装置，所述匀流装置包括环形喷淋进气管和/或喷淋进气
4、其中，所述环形喷淋进气管和/或所述喷淋进气管均用于将工艺气体均匀扩散至所述反应腔。
5、进一步地、所述炉管的顶部或底部均设置有外环区域和内环区域，所述外环区域和/或内环区域均周向均匀设有多个进气口。
6、进一步地、所述匀流装置包括环形喷淋进气管、匀流层和喷淋进气管；
7、位于所述内环区域或所述外环区域的进气口均与所述环形喷淋进气管相通，所述环形喷淋进气管位于所述进气口与所述载具之间，所述环形喷淋进气管和所述载具之间还匹配设有至少一层匀流层，所述匀流层均设有多个贯穿所述匀流层的通孔；所述环形喷淋进气管朝向所述匀流层的一侧设有多个第一喷淋口；
8、位于所述外环区域或所述内环区域的进气口分别连通有一喷淋进气管，所述喷淋进气管竖直设置在所述反应腔内，所述喷淋进气管朝向所述载具的一侧设有多个第二喷淋口。
9、进一步地、所述匀流装置包括环形喷淋进气管，所述环形喷淋进气管位于所述载具朝向所述进气口的一侧；
10、位于所述外环区域和/或所述内环区域的进气口均与所述环形喷淋进气管相通，所述环形喷淋进气管朝向所述载具的一侧设有多个第一喷淋口。
11、进一步地、所述匀流装置还包括与所述环形喷淋进气管匹配对应的匀流层；
12、所述环形喷淋进气管和所述载具之间至少设有一层匀流层，所述匀流层均设有多个贯穿所述匀流层的通孔；所述匀流层用于将所述工艺气体均匀分布在所述反应腔的截面上。
13、进一步地、所述匀流装置包括喷淋进气管；所述喷淋进气管竖直设置在所述反应腔内；
14、每个所述进气口均连通有一喷淋进气管，所述喷淋进气管朝向所述载具的一侧设有多个第二喷淋口。
15、进一步地、所述进气装置包括进气管、调节针阀、气动阀、流量计和截止阀；
16、每个所述进气口均连接有进气管，每个所述进气管沿其延伸方向依次设有调节针阀、气动阀、流量计和截止阀。
17、进一步地、所述进气装置包括进气管、调节针阀、气动阀、流量计和截止阀；
18、每个所述进气口均连接有进气管，每个所述进气管均设有调节针阀；
19、至少两个所述进气管与所述气动阀连通，所述气动阀还通过所述进气管依次与所述流量计和所述截止阀连通。
20、进一步地、所述炉管的底部周向设有多个与所述反应腔相通的排气口，所述排气口伸出所述炉管底部的一端连接有排气装置；所述排气装置包括排气管、流速检测装置、冷却装置、调节阀、过滤装置、控制阀和真空泵；
21、每个所述排气口均连通有一排气管，每个所述排气管沿其延伸方向均依次设有流速检测装置、冷却装置、调节阀和过滤装置；
22、至少一个所述过滤装置通过所述排气管与所述控制阀相通，所述控制阀还通过所述排气管与所述真空泵相通。
23、进一步地、所述炉管侧壁的底部周向设有多个与所述反应腔相通的排气口，所述排气口伸出所述炉管底部的一端连接有排气装置；所述排气装置包括排气管、流速检测装置、冷却装置、调节阀、过滤装置、控制阀和真空泵；
24、每个所述排气口均连通有一排气管，每个所述排气管沿其延伸方向均依次设有流速检测装置、冷却装置、调节阀和过滤装置；
25、至少一个所述过滤装置通过所述排气管与所述控制阀相通，所述控制阀还通过所述排气管与所述真空泵相通。
26、与现有技术相比，本专利技术至少具有如下有益效果：
27、本专利技术通过进气装置将工艺气体输送至进气口，然后再通过环形喷淋进气管和/或所述喷淋进气管的喷淋口喷向载具，进而均匀扩散至整个反应腔内，以提高电池片与工艺气体之间的接触效率，使两者之间的反应更加充分，以保证放置在反应腔内的电池片镀膜的均匀性。
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1.一种炉管，其内部设有放置载具(20)的反应腔(10)，其特征在于，所述炉管的顶部或底部设有多个与所述反应腔(10)相通的进气口(30)，所述进气口(30)远离所述反应腔(10)的一端连接有进气装置(40)；
2.根据权利要求1所述的炉管，其特征在于，所述炉管的顶部或底部均设置有外环区域(60)和内环区域(70)，所述外环区域(60)和/或内环区域(70)均周向均匀设有多个进气口(30)。
3.根据权利要求2所述的炉管，其特征在于，所述匀流装置(50)包括环形喷淋进气管(501)、匀流层(502)和喷淋进气管(503)；
4.根据权利要求2所述的炉管，其特征在于，所述匀流装置(50)包括环形喷淋进气管(501)，所述环形喷淋进气管(501)位于所述载具(20)朝向所述进气口(30)的一侧；
5.根据权利要求4所述的炉管，其特征在于，所述匀流装置(50)还包括与所述环形喷淋进气管(501)匹配对应的匀流层(502)；
6.根据权利要求1或2所述的炉管，其特征在于，所述匀流装置(50)包括喷淋进气管(503)；所述喷淋进气
7.根据权利要求1或2所述的炉管，其特征在于，所述进气装置(40)包括进气管(401)、调节针阀(402)、气动阀(403)、流量计(404)和截止阀(405)；
8.根据权利要求1或2所述的炉管，其特征在于，所述进气装置(40)包括进气管(401)、调节针阀(402)、气动阀(403)、流量计(404)和截止阀(405)；
9.根据权利要求1或2所述的炉管，其特征在于，所述炉管的底部周向设有多个与所述反应腔(10)相通的排气口(80)，所述排气口(80)伸出所述炉管底部的一端连接有排气装置(90)；所述排气装置(90)包括排气管(901)、流速检测装置(902)、冷却装置(903)、调节阀(904)、过滤装置(905)、控制阀(906)和真空泵(907)；
10.根据权利要求1或2所述的炉管，其特征在于，所述炉管侧壁的底部周向设有多个与所述反应腔(10)相通的排气口(80)，所述排气口(80)伸出所述炉管底部的一端连接有排气装置(90)；所述排气装置(90)包括排气管(901)、流速检测装置(902)、冷却装置(903)、调节阀(904)、过滤装置(905)、控制阀(906)和真空泵(907)；
...【技术特征摘要】
1.一种炉管，其内部设有放置载具(20)的反应腔(10)，其特征在于，所述炉管的顶部或底部设有多个与所述反应腔(10)相通的进气口(30)，所述进气口(30)远离所述反应腔(10)的一端连接有进气装置(40)；
2.根据权利要求1所述的炉管，其特征在于，所述炉管的顶部或底部均设置有外环区域(60)和内环区域(70)，所述外环区域(60)和/或内环区域(70)均周向均匀设有多个进气口(30)。
3.根据权利要求2所述的炉管，其特征在于，所述匀流装置(50)包括环形喷淋进气管(501)、匀流层(502)和喷淋进气管(503)；
4.根据权利要求2所述的炉管，其特征在于，所述匀流装置(50)包括环形喷淋进气管(501)，所述环形喷淋进气管(501)位于所述载具(20)朝向所述进气口(30)的一侧；
5.根据权利要求4所述的炉管，其特征在于，所述匀流装置(50)还包括与所述环形喷淋进气管(501)匹配对应的匀流层(502)；
6.根据权利要求1或2所述的炉管，其特征在于，所述匀流装置(50)包括喷淋进气管(503)；所述喷淋进气管(503)竖直设置在所述反应腔(10)内；
【专利技术属性】
技术研发人员：易炜，李美诗，邓金生，熊峰，罗宾，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：
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