【技术实现步骤摘要】
本技术涉及废气处理，特别涉及一种工业废气回收装置及半导体处理系统。
技术介绍
1、在半导体制造工艺中会产生有毒的介质，例如工业液体和工业废气，这些介质如果没有经过很好的处理，不仅污染环境，影响人们的身体健康，还会造成资源的浪费。为了更安全地回收半导体制造工艺中产生有毒的介质，需要用到安全回收机制，从而保证安全正常工作。整个行业中对半导体制造工艺中产生的有毒介质进行回收，大致分为气气回收、气液回收和液液回收。但是当前的回收设备对于半导体制造工业中产生的有毒气体不易收集，气体容易扩散安全隐患较大。因此，亟需设计一种结构简单、安全、便于收集的工业废气回收装置。
技术实现思路
1、本技术的的目是提供一种工业废气回收装置及半导体处理系统，用于满足当下半导体厂工艺的实际需求。
2、为实现以上目的，本技术通过下技术方案实现：
3、一种工业废气回收装置，应用于半导体制造工艺中，包括：气体真空泵，用于抽取半导体制造生产设备中的废气；冷凝系统，与所述气体真空泵连接，用于冷凝所述废气；所述气体真空泵和所述冷凝系统之间设置背压阀；电气控制柜，与所述冷凝系统连接；终端回收系统，与所述电气控制柜连接，用于回收液体；所述电气控制柜与所述终端回收系统之间设置逆止阀；所述电气控制柜用于控制和监测所述冷凝系统，并抽取所述冷凝系统的液体将所述液体回收至所述终端回收系统。
4、可选地，所述冷凝系统包括若干冷凝桶，若干所述冷凝桶之间并联设置。
5、可选地，每一所述冷凝桶内设有
6、可选地，每一所述冷凝桶的边缘处设有液位开关，用于感知液位信号。
7、可选地，所述液位开关为电容性液位开关。
8、可选地，还包括信号分接盒，每一所述液位开关与所述信号分接盒连接，所述信号分接盒与所述电气控制柜连接。
9、可选地，所述气体真空泵与所述冷凝系统之间通过kf40的不锈钢钢管连接；所述冷凝系统与所述电气控制柜之间通过特氟龙软管连接；所述电气控制柜与所述终端回收系统之间通过特氟龙硬管连接。
10、可选地，所述电气控制柜底层设置漏液传感器。
11、再一方面，本技术还提供一种半导体处理系统，包括半导体制造生产设备和如上文所述的工业废气回收装置。
12、本技术与现有技术相比至少具有以下效果之一：
13、(1)该装置将有毒气体变成液体后再进行回收，安全可靠，相比于传统的液液回收和气气回收，效率以及安全性有着显著的提升，降低了气体扩散的风险；
14、(2)该装置能够实时监测液体液位变化情况；
15、(3)该装置内部设置的安全配置(漏液传感器)体积小、检测动作灵敏；
16、(4)该装置适用范围满足现场当下半导体厂工艺的实际需求。
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1.一种工业废气回收装置，应用于半导体制造工艺中，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的工业废气回收装置，其特征在于，所述冷凝系统包括若干冷凝桶，若干所述冷凝桶之间并联设置。
3.根据权利要求2所述的工业废气回收装置，其特征在于，每一所述冷凝桶内设有金属线圈，用于冷却所述废气。
4.根据权利要求2所述的工业废气回收装置，其特征在于，每一所述冷凝桶的边缘处设有液位开关，用于感知液位信号。
5.根据权利要求4所述的工业废气回收装置，其特征在于，所述液位开关为电容性液位开关。
6.根据权利要求4所述的工业废气回收装置，其特征在于，还包括信号分接盒，每一所述液位开关与所述信号分接盒连接，所述信号分接盒与所述电气控制柜连接。
7.根据权利要求1所述的工业废气回收装置，其特征在于，所述气体真空泵与所述冷凝系统之间通过KF40的不锈钢钢管连接；所述冷凝系统与所述电气控制柜之间通过特氟龙软管连接；所述电气控制柜与所述终端回收系统之间通过特氟龙硬管连接。
8.根据权利要求1所述的工业废气回收装置，其特征在于，
9.一种半导体处理系统，其特征在于，包括半导体制造生产设备和如权利要求1～8任一项所述的工业废气回收装置。
...【技术特征摘要】
1.一种工业废气回收装置，应用于半导体制造工艺中，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的工业废气回收装置，其特征在于，所述冷凝系统包括若干冷凝桶，若干所述冷凝桶之间并联设置。
3.根据权利要求2所述的工业废气回收装置，其特征在于，每一所述冷凝桶内设有金属线圈，用于冷却所述废气。
4.根据权利要求2所述的工业废气回收装置，其特征在于，每一所述冷凝桶的边缘处设有液位开关，用于感知液位信号。
5.根据权利要求4所述的工业废气回收装置，其特征在于，所述液位开关为电容性液位开关。
6.根据权利要求4所述的工业废气...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁彦华，冉曦，周忌，李品鑫，
申请(专利权)人：浙江亚笙半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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